CN211477974U - 一种半导体光刻机设备环境净化检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公布了一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，包括电热炉主体、变频旋钮和电机，所述电热炉主体的正面设置有变频旋钮，所述电热炉主体的内部底端固定安装有电机，且电机的输出端固定安装有转轴，所述转轴的外壁固定套接有轴套，且第二导电块的外壁固定安装有扇叶，所述电热炉主体的外壁固定套接有外壳，所述外壳的内壁固定安装有隔热球。本实用新型设置有导电块和弹簧，导电块和弹簧可以在电热炉空烧时停止加热，避免空烧的情况，安全系数更高，外壳和隔热球可以防止电热炉主体内部的热量向四周扩散，在配合扇叶将热量向上散发，提升加热效果，置放座和凹槽可以使加热物品置放的更加稳定，避免发生打滑的情况，使用方便。

Description

一种半导体光刻机设备环境净化检测装置

技术领域

本实用新型涉及环境净化检测装置技术领域，具体为一种半导体光刻机设备环境净化检测装置。

背景技术

随着社会的不断发展，工业的不断进步，光刻机是生产半导体最重要的一种机器，因为其需要的精度较大，所以工作环境一般为无尘工作环境，因此在工作时，需要对工作环境进行净化检测。

但是现有在检测工作环境时，需要先进行空气灰尘量进行检测，随后在通过风扇等进行净化，使用较为麻烦，在工作时，需要定期去观看空气检测的结果，导致浪费工作时间，工作效率较低，因此亟需一种半导体光刻机设备环境净化检测装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，以解决上述背景技术中提出的需要定期去观看空气检测的结果，较为浪费工作时间，工作效率较低等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，包括底座、单片机、声光报警器、灰尘检测仪和电机，所述底座的顶端固定安装有外壳，且外壳的内部底端插设有集灰槽，所述集灰槽的左端固定安装有把手，所述集灰槽的顶端开设有嵌槽，所述外壳的左侧开设有滑槽，且滑槽的内部插设有滑杆，所述滑杆的右端固定安装有嵌棒，且嵌棒的顶端固定安装有弹簧，所述外壳的顶端左侧固定安装有进风管，且进风管的内部插设有灰尘检测仪，所述外壳的右侧顶端固定安装有出风管，所述外壳的顶端固定安装有顶座，且顶座的内部内嵌有单片机，所述顶座的顶端固定安装有声光报警器，所述外壳的内部顶端固定安装有挡板，且挡板的内部固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有第一齿轮，所述第一齿轮的外壁啮合有第二齿轮，所述第二齿轮的左端固定安装有转杆，且转杆左侧外壁固定安装有扇叶，所述外壳内部挡板的底端固定安装有过滤板，且过滤板的内部开设有通孔。

优选的，所述灰尘检测仪的输出端与单片机的输入端电性连接，所述单片机的输出端与声光报警器的输入端电性连接。

优选的，所述嵌槽的内壁直径与嵌棒的外壁直径大小相等，所述嵌棒插设在嵌槽的内部，所述嵌棒与嵌槽组成嵌入式结构。

优选的，所述弹簧的一端与滑槽固定韩焊接，所述弹簧的另一端与嵌棒固定焊接，所述弹簧与嵌棒组成弹性结构。

优选的，所述转杆和第二齿轮设置有两组，且两组第二齿轮皆与第一齿轮相啮合，两组所述转杆关于挡板中心对称。

优选的，所述通孔的形状为上大下小的圆锥性，且过滤板与挡板组成倒“T”字形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体光刻机设备环境净化检测装置设置有声光报警器和灰尘检测仪，可以对工作环境进行实时监测，节省了人力，提高了工作效率，电机和过滤板可以对空气中的灰尘进行过滤，从而对工作环境进行净化，集灰槽和嵌棒可以方便对灰尘进行集中清理，使用方便。

(1)该装置设置有单片机、声光报警器和灰尘检测仪，工作环境中的空气进入到通过进风管进入到外壳的内部，随后灰尘检测仪对进入的空气进行检测，随后将检测的数据传递到单片机的上，随后通过单片机预先设定的数值，当灰尘含量超出预先设置的数值时，单片机控制声光报警器进行报警，进而提醒工作人员，节省了工作人员的时间，提高了工作效率，使用方便。

(2)该装置设置有电机和过滤板，电机开始工作，随后电机带动第一齿轮转动，第一齿轮带动两组第二齿轮进行转动，第二齿轮带动转杆转动，转杆带动扇叶转动，进而使外界的空气从进风管处进入，从出风管处排出，随后空气通过通孔进入到外壳的内部，随后在通过通孔从出风管处排出，通孔对空气中的灰尘进行过滤，进而对工作环境内的空气进行净化，操作简单，使用方便。

(3)该装置设置有集灰槽和嵌棒，拉动滑杆，滑杆带动嵌棒进行移动，进而使嵌棒脱离嵌槽的内部，随后可以使集灰槽脱离外壳的内部，进而方便对集灰槽内部的灰尘进行集中清理，节省了工作时间，操作简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的俯视剖面结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处的放大结构示意图；

图4为本实用新型图1中B处的放大结构示意图。

图中：1、底座；2、外壳；3、集灰槽；4、把手；5、顶座；6、单片机；7、声光报警器；8、灰尘检测仪；9、进风管；10、出风管；11、嵌槽；12、滑杆；13、滑槽；14、弹簧；15、嵌棒；16、挡板；17、电机；18、第一齿轮；19、第二齿轮；20、转杆；21、扇叶；22、过滤板；23、通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，包括底座1、单片机6、声光报警器7、灰尘检测仪8和电机17，底座1的顶端固定安装有外壳2，且外壳2的内部底端插设有集灰槽3，集灰槽3的左端固定安装有把手4，集灰槽3的顶端开设有嵌槽11，外壳2的左侧开设有滑槽13，且滑槽13的内部插设有滑杆12，滑杆12的右端固定安装有嵌棒15，嵌槽11的内壁直径与嵌棒15的外壁直径大小相等，嵌棒15插设在嵌槽11的内部，嵌棒15与嵌槽11组成嵌入式结构，拉动滑杆12，滑杆12带动嵌棒15进行移动，随后使嵌棒15脱离嵌槽11的内部，进而可以使集灰槽3脱离外壳2的内部，方便对集灰槽3内部的灰尘进行集中处理，节省了工作时间，操作简单，使用方便。

嵌棒15的顶端固定安装有弹簧14，弹簧14的一端与滑槽13固定韩焊接，弹簧14的另一端与嵌棒15固定焊接，弹簧14与嵌棒15组成弹性结构，拉动滑杆12，使滑杆12带动嵌棒15上升，随后将清理后的集灰槽3插入到外壳2的内部，随后松开滑杆12，弹簧14开始进行反弹，进而使弹簧14带动嵌棒15嵌入到嵌槽11的内部进行固定，进而使集灰槽3在外壳2的内部固定，方便对集灰槽3对空气中的灰尘进行收集，操作简单，使用方便。

外壳2的顶端左侧固定安装有进风管9，且进风管9的内部插设有灰尘检测仪8，灰尘检测仪8的输出端与单片机6的输入端电性连接，单片机6的输出端与声光报警器7的输入端电性连接，单片机6的型号可以为HT66F018，声光报警器7的型号可以为FMD-116，灰尘检测仪8的型号可以为JC-KC(A)，其基本原理是光学传感器的探测激光经尘埃粒子散射后被光敏元件接收并产生脉冲信号，该脉冲信号被输出并放大，然后进行数字信号处理，通过与标准粒子信号进行比较，将对比结果用不同的参数表示出来，工作环境中的空气进入到通过进风管9进入到外壳2的内部，随后灰尘检测仪8对进入的空气进行检测，随后灰尘检测仪8将检测的数据传递到单片机6上，随后通过单片机6预先设定的数值，当灰尘含量超出预先设置的数值时，单片机6控制声光报警器7进行报警，进而声光来提醒工作人员，节省了工作人员的时间，提高了工作效率，使用方便。

外壳2的右侧顶端固定安装有出风管10，外壳2的顶端固定安装有顶座5，且顶座5的内部内嵌有单片机6，顶座5的顶端固定安装有声光报警器7，外壳2的内部顶端固定安装有挡板16，且挡板16的内部固定安装有电机17，电机17的输出端固定安装有第一齿轮18，第一齿轮18的外壁啮合有第二齿轮19，第二齿轮19的左端固定安装有转杆20，且转杆20左侧外壁固定安装有扇叶21，转杆20和第二齿轮19设置有两组，且两组第二齿轮19皆与第一齿轮18相啮合，两组转杆20关于挡板16中心对称，电机17开始工作，随后电机17带动第一齿轮18转动，第一齿轮18带动两组第二齿轮19进行转动，第二齿轮19带动转杆20转动，转杆20带动扇叶21转动，进而使外界的空气从进风管9处进入，从出风管10处排出，方便对工作环境内的空气进行净化，操作简单，方便对工作环境局部进行集中净化，使用方便。

外壳2内部挡板16的底端固定安装有过滤板22，且过滤板22的内部开设有通孔23，通孔23的形状为上大下小的圆锥性，且过滤板22与挡板16组成倒“T”字形，外界的空气通过进风管9进入到外壳2的内部，随后空气通过通孔23进入到外壳2的底端，随后空气随着灰尘一起通过通孔23进入到外壳2的内部，通过另一组扇叶21将过滤板22底端的空气排出，随后通孔23对空气中的灰尘进行过滤，使得排出的空气中不含有灰尘，进而对外界的空气起到净化的作用，操作简单，使用方便。

工作原理：使用时，通过外界电源使装置整体开始工作，电机17开始工作，随后电机17带动第一齿轮18转动，第一齿轮18带动两组第二齿轮19进行转动，第二齿轮19带动转杆20转动，转杆20带动扇叶21转动，进而使外界的空气从进风管9处进入，从出风管10处排出，工作环境中的空气进入到通过进风管9进入到外壳2的内部，随后灰尘检测仪8对进入的空气进行检测，随后将检测的数据传递到单片机6的上，随后通过单片机6预先设定的数值，当灰尘含量超出预先设置的数值时，单片机6控制声光报警器7进行报警，进而提醒工作人员，节省了工作人员的时间，提高了工作效率，使用方便。

随后空气通过通孔23进入到外壳2的内部，随后在通过通孔23从出风管10处排出，通过另一组扇叶21将过滤板22底端的空气排出，随后通孔23对空气中的灰尘进行过滤，使的排出的空气中不含有灰尘，进而对外界的空气起到净化的作用，操作简单，使用方便，随后拉动滑杆12，滑杆12带动嵌棒15进行移动，随后使嵌棒15脱离嵌槽11的内部，进而可以使集灰槽3脱离外壳2的内部，方便对集灰槽3内部的灰尘进行集中处理，节省了工作时间，随后拉动滑杆12，使滑杆12带动嵌棒15上升，随后将清理后的集灰槽3插入到外壳2的内部，随后松开滑杆12，弹簧14开始进行反弹，进而使弹簧14带动嵌棒15嵌入到嵌槽11的内部进行固定，进而使集灰槽3在外壳2的内部固定，方便对集灰槽3对空气中的灰尘进行收集，操作简单，使用方便。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，包括底座(1)、单片机(6)、声光报警器(7)、灰尘检测仪(8)和电机(17)，其特征在于：所述底座(1)的顶端固定安装有外壳(2)，且外壳(2)的内部底端插设有集灰槽(3)，所述集灰槽(3)的左端固定安装有把手(4)，所述集灰槽(3)的顶端开设有嵌槽(11)，所述外壳(2)的左侧开设有滑槽(13)，且滑槽(13)的内部插设有滑杆(12)，所述滑杆(12)的右端固定安装有嵌棒(15)，且嵌棒(15)的顶端固定安装有弹簧(14)，所述外壳(2)的顶端左侧固定安装有进风管(9)，且进风管(9)的内部插设有灰尘检测仪(8)，所述外壳(2)的右侧顶端固定安装有出风管(10)，所述外壳(2)的顶端固定安装有顶座(5)，且顶座(5)的内部内嵌有单片机(6)，所述顶座(5)的顶端固定安装有声光报警器(7)，所述外壳(2)的内部顶端固定安装有挡板(16)，且挡板(16)的内部固定安装有电机(17)，所述电机(17)的输出端固定安装有第一齿轮(18)，所述第一齿轮(18)的外壁啮合有第二齿轮(19)，所述第二齿轮(19)的左端固定安装有转杆(20)，且转杆(20)左侧外壁固定安装有扇叶(21)，所述外壳(2)内部挡板(16)的底端固定安装有过滤板(22)，且过滤板(22)的内部开设有通孔(23)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，其特征在于：所述灰尘检测仪(8)的输出端与单片机(6)的输入端电性连接，所述单片机(6)的输出端与声光报警器(7)的输入端电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，其特征在于：所述嵌槽(11)的内壁直径与嵌棒(15)的外壁直径大小相等，所述嵌棒(15)插设在嵌槽(11)的内部，所述嵌棒(15)与嵌槽(11)组成嵌入式结构。

4.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，其特征在于：所述弹簧(14)的一端与滑槽(13)固定韩焊接，所述弹簧(14)的另一端与嵌棒(15)固定焊接，所述弹簧(14)与嵌棒(15)组成弹性结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，其特征在于：所述转杆(20)和第二齿轮(19)设置有两组，且两组第二齿轮(19)皆与第一齿轮(18)相啮合，两组所述转杆(20)关于挡板(16)中心对称。

6.根据权利要求1所述的一种半导体光刻机设备环境净化检测装置，其特征在于：所述通孔(23)的形状为上大下小的圆锥性，且过滤板(22)与挡板(16)组成倒“T”字形。

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