CN211452215U - 平行激光光束准直装置 - Google Patents
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Abstract
一种平行激光光束准直装置，包括激光器、三维位移台、多块透光板和位置传感器；所述激光器设置在三维位移台上，所述多块透光板平行固装在底板上，多块透光板上的多排透光孔相互平行准直设置，激光器发出的激光光束通过多块透光板上的透光孔照射到位置传感器上，位置传感器接收光束得到光束位置偏差。本实用新型可保证激光自混合测量技术的测量精度，具有结构简单、误差恒定、标定功能和易于数字化等特点。
Description
技术领域
本实用新型属于光学工程领域中的精密测量技术，特别涉及一种平行激光光束准直装置。
背景技术
平行光光源在光学检测、分析以及成像等领域均有广泛应用。利用激光自混合干涉在几何量测量中的干涉测量技术，是以激光作为干涉光源，通过角度转换装置将角度量转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线位移量，由此引起干涉条纹的变化，再通过相应电路对干涉条纹进行一系列处理，从而实现了对转动角度的精密测量。在激光自混合干涉技术中光源的的平行尤为重要，而传统的准直装置经常会出现由于被射光偏离而导致测量误差的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于克服上述现有技术中存在的不足，而提供一种平行激光光束准直装置，该装置可保证激光自混合测量技术的测量精度，具有结构简单、误差恒定、标定功能和易于数字化等特点。
如上构思，本实用新型的技术方案是：一种平行激光光束准直装置，其特征在于：包括激光器、三维位移台、多块透光板和位置传感器；所述激光器设置在三维位移台上，所述多块透光板平行固装在底板上，多块透光板上的多排透光孔相互平行准直设置，激光器发出的激光光束通过多块透光板上的透光孔照射到位置传感器上，位置传感器接收光束得到光束位置偏差。
所述激光器、三维位移台、透光板和位置传感器均为两个。
所述激光器为半导体激光器，其内部封装有LD光源、PD光电探测器和准直透镜。
所述位置传感器采用横向传感器。
所述PD光电探测器连接有温度控制器。
所述LD光源利用激光驱动器驱动。
所述准直透镜采用非球面透镜。
所述横向传感器采用利用基于硅光电二极管的枕形网格横向传感器。
本实用新型具有如下的优点和积极效果：
1、本实用新型通过调整激光器，使激光光束通过多块平行设置的透光板上的透光孔照射到位置传感器上，再利用位置传感器测量光束位置变化，使检测、测量等系统实现快速准直，从而提高测量精度。
2、本实用新型由于设置多块平行设置的透光板，可提供平行度良好的激光平行光光源，因此能够避免被入射光偏离而导致测量误差的严重问题，进而具有在相同工作距离下增加平行自准直工作范围或在相同工作范围下增加工作距离的优势。
3、本实用新型激光器内部的PD光电探测器连接有温度控制器，可保证PD光电探测器性能的稳定，从而可监测测量环境的稳定性。
4、本实用新型具有体积小，便于便携。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型准直光路示意图；
图3是本实用新型发光光路示意图。
具体实施方式
下面结合实施示例和附图对本实用新型进一步说明，但不应以此限制本实用新型的保护范围。
如图1、2所示：一种平行激光光束准直装置，包括两个半导体激光器1、两个三维位移台2、两块透光板3和两个位置传感器4。所述激光器1设置在三维位移台2上，所述两块透光板3平行固装在底板11上，两块透光板3上的两排相对的透光孔10相互平行准直设置，激光器1发出的激光光束通过两块透光板3上的透光孔照射到位置传感器4上，位置传感器4接收光束得到光束位置偏差。
所述位置传感器采用利用基于硅光电二极管的枕形网格横向传感器，可精确测量入射光相对校准中心之间的位移，通过透光孔和位置传感器的双重准直测量，更好地调节出平行垂直光源。横向传感器可以提供探测区域内光点的位置信息，与光束形状、尺寸和功率分布无关，对应的探测误差为0.750μm。
本装置的工作过程是：通过调节三维位移台来微调整激光器，激光器发出的激光光束通过两块透光板上的透光孔照射到位置传感器上，位置传感器接收光束得到光束位置偏差。
如图3所示：激光器内部封装有的LD光源8、PD光电探测器9 和准直透镜7。PD光电探测器9连接温度控制器5，可保证其性能的稳定，PD光电探测器接收回馈光形成自混合干涉信号。激光驱动器6 驱动LD光源电流，LD光源首先通过准直透镜水平发出激光，准直透镜微调形成发光光路。所述准直透镜采用非球面透镜对LD光源的输出光进行准直。
尽管上文对本实用新型的具体实施方式给予了详细描述和说明，但是应该指明的是，我们可以依据本实用新型的构想对上述实施方式进行各种等效改变和修改，其所产生的功能作用仍未超出说明书及附图所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种平行激光光束准直装置，其特征在于：包括激光器、三维位移台、多块透光板和位置传感器；所述激光器设置在三维位移台上，所述多块透光板平行固装在底板上，多块透光板上的多排透光孔相互平行准直设置，激光器发出的激光光束通过多块透光板上的透光孔照射到位置传感器上，位置传感器接收光束得到光束位置偏差。
2.根据权利要求1所述的一种平行激光光束准直装置，其特征在于：所述激光器、三维位移台、透光板和位置传感器均为两个。
3.根据权利要求1所述的一种平行激光光束准直装置，其特征在于：所述激光器为半导体激光器，其内部封装有LD光源、PD光电探测器和准直透镜。
4.根据权利要求1所述的一种平行激光光束准直装置，其特征在于：所述位置传感器采用横向传感器。
5.根据权利要求3所述的一种平行激光光束准直装置，其特征在于：所述PD光电探测器连接有温度控制器。
6.根据权利要求3所述的一种平行激光光束准直装置，其特征在于：所述LD光源利用激光驱动器驱动。
7.根据权利要求3所述的一种平行激光光束准直装置，其特征在于：所述准直透镜采用非球面透镜。
8.根据权利要求4所述的一种平行激光光束准直装置，其特征在于：所述横向传感器采用利用基于硅光电二极管的枕形网格横向传感器。
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN211452215U (zh) |
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2019
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