CN211394706U - 单晶炉石英坩埚的升降装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了单晶炉石英坩埚的升降装置，包括炉体以及设置在炉体内的保温层，所述炉体内设置有一坩埚，所述炉体的内壁固定连接有一U形架，所述U形架上螺旋设置有电热管，所述炉体的下端固定连接有两个支撑腿，两个所述支撑腿之间通过连接杆固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述炉体的内底部位于中心处贯穿设置有通孔，所述螺纹杆上螺纹连接有套筒。本实用新型通过驱动电机转动带动螺纹杆转动，螺纹杆转动带动套筒上移，进而使抵板将坩埚炉体内推出，从而便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉内的坩埚技术领域，尤其涉及单晶炉石英坩埚的升降装置。
背景技术
现有的单晶炉中，石英坩埚固定安装在单晶炉内，石英坩埚在竖直方向上的高度无法进行调节，因此当石英坩埚内液体较少时，析出的单晶硅位于单晶炉内较低的位置，造成单晶硅的取出困难。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的单晶炉石英坩埚的升降装置，其通过驱动电机转动带动螺纹杆转动，螺纹杆转动带动套筒上移，进而使抵板将坩埚炉体内推出，从而便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
单晶炉石英坩埚的升降装置，包括炉体以及设置在炉体内的保温层，所述炉体内设置有一坩埚，所述炉体的内壁固定连接有一U形架，所述U形架上螺旋设置有电热管，所述炉体的下端固定连接有两个支撑腿，两个所述支撑腿之间通过连接杆固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述炉体的内底部位于中心处贯穿设置有通孔，所述螺纹杆上螺纹连接有套筒，所述套筒位于炉体内的一端安装有抵板，所述套筒上安装有导向机构。
优选地，所述导向机构包括固定连接在套筒两侧的导向条，所述通孔相对的内壁开设有与导向条相配合的导向槽。
优选地，所述坩埚的两侧设置有固定把手，所述固定把手可搭在U形架的两个支臂上。
优选地，所述支撑腿通过膨胀螺钉与地面固定连接。
优选地，所述抵板的上端开设有多道防滑槽，多道所述防滑槽均布在所述抵板的上端。
本实用新型具有以下有益效果：
1、通过驱动电机转动带动螺纹杆转动，螺纹杆转动带动套筒上移，进而使抵板将坩埚炉体内推出，从而便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。
附图说明
图1为本实用新型提出的单晶炉石英坩埚的升降装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的单晶炉石英坩埚的升降装置炉体的内底部结构示意图。
图中：1炉体、2保温层、3坩埚、4固定把手、5 U形架、6电热管、7抵板、8导向条、9套筒、10螺纹杆、11驱动电机、12连接杆、13支撑腿、14通孔。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
参照图1-2，单晶炉石英坩埚的升降装置，包括炉体1以及设置在炉体1内的保温层2，炉体1内设置有一坩埚3，炉体1的内壁固定连接有一U形架5，U形架5上螺旋设置有电热管6，炉体1的下端固定连接有两个支撑腿13，两个支撑腿13之间通过连接杆12固定连接有驱动电机11，驱动电机11的输出轴固定连接有螺纹杆10，炉体1的内底部位于中心处贯穿设置有通孔14，螺纹杆10上螺纹连接有套筒9，套筒9位于炉体1内的一端安装有抵板7。
套筒9上安装有导向机构，导向机构包括固定连接在套筒9两侧的导向条8，通孔14相对的内壁开设有与导向条8相配合的导向槽。
坩埚3的两侧设置有固定把手4，固定把手4可搭在U形架5的两个支臂上，固定把手4上设置有与U形架5的两个支臂位置对应的限位槽。
该单晶炉石英坩埚在使用时，可通过打开驱动电机11的开关，驱动电机11转动带动螺纹杆10转动，螺纹杆10转动带动套筒9上移，进而使抵板7将坩埚3炉体1内推出，从而便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.单晶炉石英坩埚的升降装置，包括炉体（1）以及设置在炉体（1）内的保温层（2），所述炉体（1）内设置有一坩埚（3），其特征在于，所述炉体（1）的内壁固定连接有一U形架（5），所述U形架（5）上螺旋设置有电热管（6），所述炉体（1）的下端固定连接有两个支撑腿（13），两个所述支撑腿（13）之间通过连接杆（12）固定连接有驱动电机（11），所述驱动电机（11）的输出轴固定连接有螺纹杆（10），所述炉体（1）的内底部位于中心处贯穿设置有通孔（14），所述螺纹杆（10）上螺纹连接有套筒（9），所述套筒（9）位于炉体（1）内的一端安装有抵板（7），所述套筒（9）上安装有导向机构。
2.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，所述导向机构包括固定连接在套筒（9）两侧的导向条（8），所述通孔（14）相对的内壁开设有与导向条（8）相配合的导向槽。
3.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，所述坩埚（3）的两侧设置有固定把手（4），所述固定把手（4）可搭在U形架（5）的两个支臂上。
4.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，所述支撑腿（13）通过膨胀螺钉与地面固定连接。
5.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，所述抵板（7）的上端开设有多道防滑槽，多道所述防滑槽均布在所述抵板（7）的上端。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922296748.1U CN211394706U (zh) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | 单晶炉石英坩埚的升降装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201922296748.1U CN211394706U (zh) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | 单晶炉石英坩埚的升降装置 |
Publications (1)
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| CN211394706U true CN211394706U (zh) | 2020-09-01 |
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ID=72224265
Family Applications (1)
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| CN201922296748.1U Active CN211394706U (zh) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | 单晶炉石英坩埚的升降装置 |
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| CN (1) | CN211394706U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112501683A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-03-16 | 连城凯克斯科技有限公司 | 一种用于半导体设备单晶炉内石英坩埚的高度调节装置 |
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2019
- 2019-12-19 CN CN201922296748.1U patent/CN211394706U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112501683A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-03-16 | 连城凯克斯科技有限公司 | 一种用于半导体设备单晶炉内石英坩埚的高度调节装置 |
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