CN211394623U - 一种pecvd镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PECVD镀膜装置，包括镀膜室、加热板和排气管，所述镀膜室的内壁上下两端均固接有加热板，所述镀膜室的外壁左侧内部插接有排气管，所述镀膜室的底端安装有送气构件，所述镀膜室的内部底端安装有镀膜构件。该PECVD镀膜装置，通过镀膜室、加热板和排气管的配合，达到了可以对镀膜室内部的温度进行调节工作，同时可以将尾气排出，通过圆环、管道、插管和送气管的配合，达到了可以对镀膜室的内部输送材料气体，通过支架、石墨框、电极、插座、插头和电源线的配合，达到了可以进行镀膜工作，同时可以进行断电工作，通过盖板、弹簧、卡块、拉块和竖杆的配合，达到了可以对石墨框进行拆卸更换的工作。

Description

一种PECVD镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及PECVD镀膜技术领域，具体为一种PECVD镀膜装置。

背景技术

太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源.也是清洁能源，不产生任何的环境污染，在太阳能的有效利用当中；太阳能光电利用是近些年来发展最快，最具活力的研究领域，是其中最受瞩目的项目之一，为此，人们研制和开发了太阳能电池，制作太阳能电池主要是以半导体材料为基础，其工作原理是利用光电材料吸收光能后发生光电子转换反应，根据所用材料的不同，现有生产过程中使用的PECVD镀膜装置在使用时，无法做到断电工作，同时在长时间使用时需要对石墨框维修更换时，无法将石墨框进行维修更换工作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PECVD镀膜装置，以解决上述背景技术中提出现有生产过程中使用的PECVD镀膜装置在使用时，无法做到断电工作，同时在长时间使用时需要对石墨框维修更换时，无法将石墨框进行维修更换工作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PECVD镀膜装置，包括镀膜室、加热板和排气管，所述镀膜室的内壁上下两端均固接有加热板，所述镀膜室的外壁左侧内部插接有排气管，所述镀膜室的底端安装有送气构件，所述镀膜室的内部底端安装有镀膜构件，所述镀膜构件的右侧安装有套管，所述镀膜室的顶端安装有固定构件；

优选的，所述镀膜构件包括支架、石墨框、电极、插座、插头和电源线，所述支架的顶端放置有石墨框，所述石墨框的两侧均固接有电极，右侧所述电极的右侧固接有两个插座，所述插座的内部插接有插头，所述插头的右侧固接有电源线，所述电源线与套管插接相连。

优选的，所述电源线与外界电源相连接。

优选的，所述支架为对称设置。

优选的，所述送气构件包括圆环、管道、插管和送气管，所述圆环的内壁固接有管道，所述管道的两侧均固接有插管，所述管道的前表面固接有送气管。

优选的，所述固定构件包括盖板、弹簧、卡块和拉块，所述盖板的内部左右两侧均固接有弹簧，所述弹簧的内侧固接有卡块，所述卡块的顶端固接有拉块，所述卡块与竖杆卡接相连。

优选的，所述盖板通过螺栓与镀膜室螺纹相连。

优选的，所述弹簧、卡块和拉块均为对称设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该PECVD镀膜装置，通过镀膜室、加热板和排气管的配合，达到了可以对镀膜室内部的温度进行调节工作，同时可以将尾气排出，通过圆环、管道、插管和送气管的配合，达到了可以对镀膜室的内部输送材料气体，通过支架、石墨框、电极、插座、插头和电源线的配合，达到了可以进行镀膜工作，同时可以进行断电工作，通过盖板、弹簧、卡块、拉块和竖杆的配合，达到了可以对石墨框进行拆卸更换的工作。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中弹簧、卡块和拉块的连接结构示意图；

图3为图1中电极、插座和插头的连接结构示意图。

图中：1、镀膜室，2、加热板，3、排气管，4、送气构件，401、圆环， 402、管道，403、插管，404、送气管，5、镀膜构件，501、支架，502、石墨框，503、电极，504、插座，505、插头，506、电源线，6、套管，7、固定构件，701、盖板，702、弹簧，703、卡块，704、拉块，8、竖杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种PECVD镀膜装置，包括镀膜室1、加热板2和排气管3，镀膜室1的内壁上下两端均固接有加热板2，加热板2可以使镀膜室1内部进行加热工作，镀膜室1的外壁左侧内部插接有排气管3，尾气通过排气管3排出，镀膜室1的底端安装有送气构件4，送气构件4可以向镀膜室1的内部进行送气工作，镀膜室1的内部底端安装有镀膜构件5，镀膜构件5可以进行镀膜工作，镀膜构件5的右侧安装有套管6，镀膜室 1的顶端安装有固定构件7，固定构件7可以使石墨框502进行稳定工作，同时可以将石墨框502从镀膜室1的内部取出；

镀膜构件5包括支架501、石墨框502、电极503、插座504、插头505和电源线506，支架501的顶端放置有石墨框502，支架501可以度石墨架502进行支撑工作，石墨框502的两侧均固接有电极503，右侧电极503的右侧固接有两个插座504，插座504与电极503为电性相连，插座504的内部插接有插头 505，插头505可以从插座504的内部插入拔出，可以进行通电断电的工作，插头505的右侧固接有电源线506，电源线506与套管6插接相连，套管6与镀膜室1固定相连，电源线506与外界电源相连接，外界电源可以为电源线506提供电能，支架501为对称设置。

送气构件4包括圆环401、管道402、插管403和送气管404，圆环401的内壁固接有管道402，圆环401可以将管道402进行支撑固定的工作，管道402 的两侧均固接有插管403，插管403可以从镀膜室1的内部插入拔出，管道402 的前表面固接有送气管404，送气管404与外界送气装置相连接。

固定构件7包括盖板701、弹簧702、卡块703和拉块704，盖板701的内部左右两侧均固接有弹簧702，盖板701可以从镀膜室1的顶端扣合打开，弹簧 702的弹性系数为：10N/CM-100N/CM，弹簧702的内侧固接有卡块703，拉块703 可以对弹簧702进行挤压工作，卡块703的顶端固接有拉块704，拉动拉块704 可以使卡块703对弹簧702进行挤压工作，拉块704可以在盖板701的内部左右滑动，卡块703与竖杆8卡接相连，卡块703可以将竖杆8进行卡接固定，盖板701通过螺栓与镀膜室1螺纹相连，转动螺栓可以将盖板701从镀膜室1 上打开，弹簧702、卡块703和拉块704均为对称设置。

当PECVD镀膜装置开始使用时，使用者先将硅片放入到石墨框502的内部，放入后使用者将石墨框502插入到镀膜室1的内部，放置到支架501的内部，放置好后使用者将插头505插入到插座504的内部，插入后使用者将盖板701 扣合到镀膜室1的顶端，扣合时使用者向外侧拉动拉块704向外侧移动，拉块704 向外侧移动时可以带动卡块703向外侧移动对弹簧702进行挤压工作，卡块703 对弹簧702挤压时，使用者将盖板701扣合到镀膜室1的顶端，同时竖杆8插入到盖板704的内部，扣合后转动螺栓将盖板701螺纹固定在镀膜室1的顶端，开始工作时，材料气体通过送气管、管道和插管进入到镀膜室1的内部，进入后穿过石墨框502与硅片接触，接触后通过电源线、插头和插座向电极503提供电能，通过电极503放电进行镀膜工作，当需要对石墨框502更换时，使用者转动螺栓取消盖板与镀膜室1之间的螺纹固定，取消固定后向外侧拉动拉块 704使卡块703对弹簧702进行挤压工作，取消对竖杆8的卡接固定，取消卡接固定后将盖板701从镀膜室1的顶端打开，打开口将插头505和插座504分离，分离后使用者再将盖板701插入到竖杆8的外壁，进行卡接工作卡接后向上拉起可以将石墨块502从镀膜室1的内部取出，进行更换工作。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种PECVD镀膜装置，包括镀膜室(1)、加热板(2)和排气管(3)，所述镀膜室(1)的内壁上下两端均固接有加热板(2)，所述镀膜室(1)的外壁左侧内部插接有排气管(3)，其特征在于：所述镀膜室(1)的底端安装有送气构件(4)，所述镀膜室(1)的内部底端安装有镀膜构件(5)，所述镀膜构件(5)的右侧安装有套管(6)，所述镀膜室(1)的顶端安装有固定构件(7)；

所述镀膜构件(5)包括支架(501)、石墨框(502)、电极(503)、插座(504)、插头(505)和电源线(506)，所述支架(501)的顶端放置有石墨框(502)，所述石墨框(502)的两侧均固接有电极(503)，右侧所述电极(503)的右侧固接有两个插座(504)，所述插座(504)的内部插接有插头(505)，所述插头(505)的右侧固接有电源线(506)，所述电源线(506)与套管(6)插接相连。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD镀膜装置，其特征在于：所述电源线(506)与外界电源相连接。

3.根据权利要求1所述的一种PECVD镀膜装置，其特征在于：所述支架(501)为对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种PECVD镀膜装置，其特征在于：所述送气构件(4)包括圆环(401)、管道(402)、插管(403)和送气管(404)，所述圆环(401)的内壁固接有管道(402)，所述管道(402)的两侧均固接有插管(403)，所述管道(402)的前表面固接有送气管(404)。

5.根据权利要求1所述的一种PECVD镀膜装置，其特征在于：所述固定构件(7)包括盖板(701)、弹簧(702)、卡块(703)和拉块(704)，所述盖板(701)的内部左右两侧均固接有弹簧(702)，所述弹簧(702)的内侧固接有卡块(703)，所述卡块(703)的顶端固接有拉块(704)，所述卡块(703)与竖杆(8)卡接相连。

6.根据权利要求5所述的一种PECVD镀膜装置，其特征在于：所述盖板(701)通过螺栓与镀膜室(1)螺纹相连。

7.根据权利要求5所述的一种PECVD镀膜装置，其特征在于：所述弹簧(702)、卡块(703)和拉块(704)均为对称设置。

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