CN211376606U - 一种机台手臂前端部件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种机台手臂前端部件,包括固定装置和保护装置,保护装置通过固定装置固定在机台手臂前端,固定后的保护装置的上表面与固定装置的上表面齐平。本实用新型还公开了一种机台手臂,包括上述的手臂前端部件。本实用新型提供的技术方案,使得机台手臂前端高度减少0.5mm使之与固定螺丝锁紧状态时的高度齐平,增加了机台手臂进出缓冲区时前端与晶圆的距离,从而防止刮伤晶圆。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域,尤其是一种机台手臂前端部件。
背景技术
机台的手臂进入缓冲区送取晶圆时,由于机台力臂过长且刚性不强所以会产生抖动,从而手臂进出缓冲区时也会被带动而上下抖动,因此,会碰到晶圆的晶面和晶背,使晶圆刮伤受损。
现有技术中,机台手臂前端部件的高度为4mm,固定螺丝锁紧状态下与前端高度差为0.5mm的机台手臂,进入缓冲区会被带动而上下抖动,会出现刮伤晶圆情况。
为解决上述问题,需要对现有机台手臂前端部件进行改进,在不对机台造成结构性影响的前提下,确保机台手臂前端进出缓冲区时不存在碰到晶圆的风险。
实用新型内容
本实用新型的目的在于对现有机台手臂前端部件进行改进,在不对机台造成结构性影响的前提下,确保机台手臂前端进出缓冲区时不存在刮碰晶圆的风险。
基于上述目的,本实用新型提供一种机台手臂前端部件,包括固定装置和保护装置,保护装置通过固定装置固定在机台手臂前端,固定后的保护装置的上表面与固定装置的上表面齐平。
进一步地,保护装置端部表面为斜阶梯形状,与机台手臂前端端部表面齐平。
进一步地,保护装置的高度是3.5mm。
进一步地,保护装置中间有螺旋状槽。
进一步地,固定装置是固定螺丝。
进一步地,固定螺丝与所述保护装置中间的螺旋状槽匹配。
进一步地,固定螺丝锁紧状态高度与保护装置齐平。
进一步地,前端部件安置在机台手臂前端上。
本实用新型的另一方面,提供了一种机台手臂,包括上述的机台手臂前端部件。
进一步地,机台手臂末端与机台相连。
本实用新型具有以下有益技术效果:本实用新型提供的机台手臂前端部件,以及具有该前端部件的机台手臂,使得机台手臂前端高度减少0.5mm使之与固定螺丝锁紧状态时的高度齐平,增加了机台手臂进出缓冲区时前端与晶圆的距离,从而防止刮伤晶圆。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的实施例。
图1为现有技术中手臂前端部件的结构图;
图2为根据本实用新型的实施例提供的手臂前端部件的结构图。
其中:1-固定装置;2-保护装置;3-手臂前端。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本实用新型实施例进一步详细说明。
本实用新型的目的在于对现有机台手臂前端部件进行改进,在不对机台造成结构性影响的前提下,确保机台手臂前端进出缓冲区时不存在刮碰晶圆的风险。图2示出的是本实用新型一实施例提供的机台手臂前端部件的结构图。
基于上述目的,本实用新型提供一种机台手臂前端部件,包括固定装置1和保护装置2,保护装置2通过固定装置——在本实施例中为螺栓1——固定在手臂前端3,固定后的保护装置2的上表面与固定装置1的上表面齐平。可以理解的是,固定装置也可以为其他能够实现紧固功能的部件,包括但不限于螺栓、螺钉、膨胀销。
保护装置2端部表面为斜阶梯形状,与手臂前端3端部表面齐平。
在本实施例中,保护装置2的高度是3.5mm。可以理解的是,保护装置2的高度可以根据实际需求进行调整。
保护装置2中间有螺旋状槽,螺栓1穿过该螺旋状槽与保护装置2实现固定连接。连接后,在紧固状态下,该螺栓1的顶部表面与保护装置2的上表面齐平。
在一个实施例中,还提供了一种机台手臂,其中机台手臂的末端与机台连接,与末端相对的另一端安装有上述机台手臂前端部件。
以上是本实用新型公开的示例性实施例,但是应当注意,在不背离权利要求限定的本实用新型实施例公开的范围的前提下,可以进行多种改变和修改。尽管本实用新型实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求,但除非明确限制为单数,也可以理解为多个。
所属领域的普通技术人员应当理解:以上任何实施例的讨论仅为示例性的,并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子;在本实用新型实施例的思路下,以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合,并存在如上所述的本实用新型实施例的不同方面的许多其它变化,为了简明它们没有在细节中提供。因此,凡在本实用新型实施例的精神和原则之内,所做的任何省略、修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型实施例的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种机台手臂前端部件,其特征在于,包括固定装置和保护装置,所述保护装置通过所述固定装置固定在机台手臂前端,固定后的所述保护装置的上表面与所述固定装置的上表面齐平。
2.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件,其特征在于,所述保护装置端部表面为斜阶梯形状,与所述机台手臂前端端部表面齐平。
3.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件,其特征在于,所述保护装置的高度是3.5mm。
4.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件,其特征在于,所述保护装置中间有螺旋状槽。
5.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件,其特征在于,所述固定装置是固定螺丝。
6.根据权利要求5所述的一种机台手臂前端部件,其特征在于,所述固定螺丝与所述保护装置中间的螺旋状槽匹配。
7.根据权利要求5所述的一种机台手臂前端部件,其特征在于,所述固定螺丝锁紧状态高度与所述保护装置齐平。
8.根据权利要求1所述的一种机台手臂前端部件,其特征在于,所述前端部件安置在手臂前端上。
9.一种机台手臂,其特征在于,包括根据权利要求1-7任意一项所述的机台手臂前端部件。
10.根据权利要求9所述的一种机台手臂,其特征在于,所述机台手臂的末端与机台相连。
Priority Applications (1)
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CN201921348919.4U CN211376606U (zh) | 2019-08-19 | 2019-08-19 | 一种机台手臂前端部件 |
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Publications (1)
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CN211376606U true CN211376606U (zh) | 2020-08-28 |
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ID=72151190
Family Applications (1)
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2019
- 2019-08-19 CN CN201921348919.4U patent/CN211376606U/zh active Active
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