CN211374246U - 一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，包括采样管道、输入端与采样通道一端连通的抽气装置、气体流速传感器以及采样头，其特征在于：所述采样管道包括具有运输通道的套管、可拆卸安装在套管内壁上且具有运输通道的膜套；所述膜套与套管之间形成密闭空间；所述套管上设置有充气接口；所述充气接口处设置有气压监测装置；所述采样头外设置有套筒；所述套筒一端面开设有进气槽；所述进气槽的底板上开设有与采样头适配的安装口且套筒通过该安装口可拆卸安装在采样头上；所述进气槽的内壁上设置有台阶且台阶远离底板的一面上安装有过滤网。本实用新型实用性强，易于推广。

Description

一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置

技术领域

本实用新型涉及气体采集设备加工装置技术领域，尤其是涉及一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置。

背景技术

在很多化工企业，尤其是生产高纯/超纯气体的化工厂，需要对精品罐中的气体进行采集，然后通过色谱仪等装置对气体内的金属离子等组分进行分析；现阶段通常是采用采样装置将精品罐中的气体抽出进行检测分析，经过一段时间使用发现，现有的采样装置还存在这一些问题，

第一，采样头容易碰损，导致采样的气体量不准确，对检测结果有影响；

第二，现有的采样管道通常采用金属管，金属管上有轻微的裂缝并且不能自动检测出，若使用有裂纹的金属管的话，会出现三氯硅烷气体外漏，由于三氯硅烷对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用，因此极不安全；且金属管容易氧化腐蚀，导致采样的气体质量下降。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，包括采样管道、输入端与采样通道一端连通的抽气装置、用于检测采样管道内气体流量的气体流速传感器以及用于伸进精品罐中的采样头，其特征在于：所述采样管道包括具有运输通道的套管、可拆卸安装在套管内壁上且具有运输通道的膜套；所述膜套与套管之间形成密闭空间；所述套管上设置有充气接口；所述充气接口处设置有用于检测密闭空间的气压监测装置；所述采样头外设置有用于防止采样头碰伤的套筒；所述套筒一端面开设有进气槽；所述进气槽的底板上开设有与采样头适配的安装口且套筒通过该安装口可拆卸安装在采样头上；所述进气槽的内壁上设置有台阶且台阶远离底板的一面上安装有过滤网。

优选为：所述进气槽远离底板的一端的内壁上设置有内螺纹，且螺纹连接有用于将过滤网压紧的压盖；所述压盖的中部具有供气体流通的通道。

优选为：所述套筒的侧壁上开设有若干均匀分布的通气孔。

优选为：所述气压监测装置包括充气泵、进气管、气体流量计以及安装在套管外壁上用于检测密闭空间内气压的气压表；所述充气泵的输出端通过进气管与密闭空间连通；所述气体流量计安装在进气管上。

优选为：所述套筒的外壁上套设有橡胶网。

与现有技术相比较，本实用新型带来的有益效果为：将采样通过的形式设置成膜套的形式，膜套是可拆卸安装在套管上的，可以定期更换，这样的设置，可以避免套管内表面被腐蚀；所述膜套与套管之间形成密闭空间，通过气压监测装置可以检测其气密性，确保保证可以正常采样；其次，在采样头上设置有套筒，这样的设置，可以对采样头进行保护，防止采样头碰伤，通过设置有过滤网，可以防止杂质进行采样头中，避免采样头发生堵塞；

1、通过设置有压盖，可以将过滤网的边缘闭合，防止杂质沿边缘进入采样通道内，压盖通过螺纹连接，便于拆卸，同时便于对过滤网进行维护、维修以及更换。

2、所述套筒的外壁上套设有橡胶网，可以进一步对套筒进行保护，防止套筒碰损。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施方式结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型公开了一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，包括采样管道、输入端与采样通道一端连通的抽气装置2、用于检测采样管道内气体流量的气体流速传感器3以及用于伸进精品罐中的采样头4，在本实用新型具体实施方式中，所述采样管道包括具有运输通道的套管11、可拆卸安装在套管11内壁上且具有运输通道的膜套12；所述膜套12与套管11之间形成密闭空间13；所述套管11上设置有充气接口；所述充气接口处设置有用于检测密闭空间13的气压监测装置15；所述采样头4外设置有用于防止采样头4碰伤的套筒 41；所述套筒41一端面开设有进气槽42；所述进气槽42的底板43上开设有与采样头4适配的安装口且套筒41通过该安装口可拆卸安装在采样头4上；所述进气槽42的内壁上设置有台阶44且台阶44远离底板43的一面上安装有过滤网45。

在本实用新型具体实施方式中，所述进气槽42远离底板43的一端的内壁上设置有内螺纹，且螺纹连接有用于将过滤网压紧的压盖46；所述压盖46的中部具有供气体流通的通道。

在本实用新型具体实施方式中，所述套筒41的侧壁上开设有若干均匀分布的通气孔。

在本实用新型具体实施方式中，所述气压监测装置15包括充气泵151、进气管152、气体流量计153以及安装在套管11外壁上用于检测密闭空间13内气压的气压表；所述充气泵151的输出端通过进气管152与密闭空间13连通；所述气体流量计153安装在进气管152上。

在本实用新型具体实施方式中，所述套筒41的外壁上套设有橡胶网。

与现有技术相比较，本实用新型带来的有益效果为：将采样通过的形式设置成膜套的形式，膜套是可拆卸安装在套管上的，可以定期更换，这样的设置，可以避免套管内表面被腐蚀；所述膜套与套管之间形成密闭空间，通过气压监测装置可以检测其气密性，确保保证可以正常采样；其次，在采样头上设置有套筒，这样的设置，可以对采样头进行保护，防止采样头碰伤，通过设置有过滤网，可以防止杂质进行采样头中，避免采样头发生堵塞；

1、通过设置有压盖，可以将过滤网的边缘闭合，防止杂质沿边缘进入采样通道内，压盖通过螺纹连接，便于拆卸，同时便于对过滤网进行维护、维修以及更换。

2、所述套筒的外壁上套设有橡胶网，可以进一步对套筒进行保护，防止套筒碰损。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，包括采样管道、输入端与采样通道一端连通的抽气装置、用于检测采样管道内气体流量的气体流速传感器以及用于伸进精品罐中的采样头，其特征在于：所述采样管道包括具有运输通道的套管、可拆卸安装在套管内壁上且具有运输通道的膜套；所述膜套与套管之间形成密闭空间；所述套管上设置有充气接口；所述充气接口处设置有用于检测密闭空间的气压监测装置；所述采样头外设置有用于防止采样头碰伤的套筒；所述套筒一端面开设有进气槽；所述进气槽的底板上开设有与采样头适配的安装口且套筒通过该安装口可拆卸安装在采样头上；所述进气槽的内壁上设置有台阶且台阶远离底板的一面上安装有过滤网。

2.根据权利要求1所述的一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，其特征在于：所述进气槽远离底板的一端的内壁上设置有内螺纹，且螺纹连接有用于将过滤网压紧的压盖；所述压盖的中部具有供气体流通的通道。

3.根据权利要求2所述的一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，其特征在于：所述套筒的侧壁上开设有若干均匀分布的通气孔。

4.根据权利要求1所述的一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，其特征在于：所述气压监测装置包括充气泵、进气管、气体流量计以及安装在套管外壁上用于检测密闭空间内气压的气压表；所述充气泵的输出端通过进气管与密闭空间连通；所述气体流量计安装在进气管上。

5.根据权利要求1所述的一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，其特征在于：所述套筒的外壁上套设有橡胶网。

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