CN211284575U - 内置过渡舱的离子液体电镀装置 - Google Patents

内置过渡舱的离子液体电镀装置 Download PDF

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CN211284575U CN201922041294.3U CN201922041294U CN211284575U CN 211284575 U CN211284575 U CN 211284575U CN 201922041294 U CN201922041294 U CN 201922041294U CN 211284575 U CN211284575 U CN 211284575U
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张奕志
凌国平
王宏涛
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Abstract

本申请公开了一种内置过渡舱的离子液体电镀装置,包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵,过渡舱位于密封箱体内部,过渡舱与密封箱体密封连接,过渡舱设置有过渡舱门,过渡舱门包括第一舱门和第二舱门,第一舱门位于过渡舱的顶面,第二舱门位于过渡舱的侧面,过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接,过渡舱的第一舱门位于密封箱体内部,过渡舱的第二舱门位于过渡舱和密封箱体的连接处。本实用新型减小了工件转移过程中的抽气量和补气量,进而加快了生产效率、减少了废气排放、降低了补气成本;采用内置过渡舱在安装时减少了焊缝数量和长度,提高了可靠性,便于进行舱与舱之间的拆卸运输。

Description

内置过渡舱的离子液体电镀装置
技术领域
本实用新型涉及离子液体电镀领域,特别涉及一种内置过渡舱的离子液体电镀装置。
背景技术
电镀是现代工业体系不可缺少的组成部分,电镀镀层具有装饰性、耐腐蚀性和导电等功能,广泛应用于航空航天、家电制造和汽车配件等领域。在电镀过程中,传统的水溶液电镀会产生大量的有毒有害的废水和废气,对周围环境产生巨大的污染和危害;与传统的水溶电镀液相比,离子液体电镀难以挥发,且离子液体不含有水,从而减少在电镀过程中产生有毒有害的废水和废气,并且离子液体可再生且能够循环使用,实现绿色生产的目的。
目前使用离子液体电镀时,由于大部分离子液体需要在密封的环境下进行电镀,所以在电镀过程中需要用密封箱体将内部气氛与外部空气进行隔离,专利2018100931942公开了一种离子液体电沉积电镀装置,装置采用几个相互独立的密封箱体,每个密封箱体按照不同的工艺对挂镀工件分别进行去油、除氧化膜、电镀和清洗,当第一个密封箱体按照工艺顺序完成去油和除氧化膜,箱体内的机械手抓取挂镀工件到第二个密封箱体内,第二个密封箱体进行抽真空和补保护气再进行电镀工艺,完成电镀工艺后行车运输挂镀工件到下一个密封箱体内再进行工件的清洗操作。
但是上述的离子液体电镀装置在工业化大规模生产时会遇到以下这些问题,随着工件在密封箱体之间和密封箱体之外转移的过程中,需要对各个密封箱体进行多次抽真空、补保护气和平衡气压的操作,这一系列操作步骤在工业化生产时需要消耗大量的时间和电能,降低生产效率,增加生产成本;而且真空操作时密封箱体需要承受至少一个大气压的压力差,对密封箱体的结构强度提出更高要求。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型提出了一种内置过渡舱的离子液体电镀装置,实现电镀工件在密封箱体之间和密封箱体之外采用内置过渡舱进行转移,从而实现降低设备成本、简化操作环节,提高生产效率的目的,且内置过渡舱在安装时减少了焊缝数量和长度,提高了可靠性,便于进行舱与舱之间的拆卸运输。
一种用于工业化生产的内置过渡舱的离子液体电镀装置,包括密封箱体、过渡舱、补气装置和真空泵,密封箱体包括用于前处理的第一箱体,用于离子液体电镀的第二箱体和用于后处理的第三箱体,密封箱体之间由过渡舱进行连接,过渡舱的连接方式为过渡舱内接于密封箱体,或者过渡舱外接于密封箱体,或者过渡舱半嵌入密封箱体;电镀工件在过渡舱与密封箱体之间通过传输带,或轨道车,或伸缩式滑轨的方式进行过渡转移。
过渡舱内接于密封箱体或过渡舱半嵌入于密封箱体
过渡舱内接于密封箱体或过渡舱半嵌入于密封箱体,从而使不同密封箱体之间的电镀工件通过过渡舱进行过渡转移。
作为优选的方案,当电镀工件进入到过渡舱内时,过渡舱进行抽真空,补保护气和平衡气压的操作,通过过渡舱直接进入到另一个密封箱体内。
作为优选的方案,过渡舱位于密封箱体内,过渡舱由舱门,骨架,外壳体,补气装置和真空泵组成,过渡舱的外壳体与密封箱体的外壳体密封连接,补气装置同时与密封箱体和过渡舱连接,密封箱体和过渡舱分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体之间的电镀工件通过过渡舱进行转移。
优选的,过渡舱设置有两个或多个舱门,舱门位于过渡舱与密封箱体的连接处和、或舱门位于密封箱体内。
优选的,过渡舱的一侧位于密封箱体内,过渡舱的另一侧与外界和、或不同的密封箱体连通。
优选的,过渡舱为长方体,过渡舱的上顶面为横向移动的内舱门,过渡舱的侧面设置有外舱门,外舱门位于两个密封箱体的连接处,外舱门竖直移动。
优选的,舱门与过渡舱为可开关的密封连接,舱门和过渡舱之间具有水平和垂直两个方向上的自由度,舱门与过渡舱之间设置有密封橡胶圈。
外舱门打开时,外舱门通过滑轨向上移动打开,外舱门关闭时,外舱门通过滑轨向下移动关闭,外舱门与过渡舱向里压合,外舱门与过渡舱之间的密封橡胶件受到挤压,从而实现密封连接。
优选的,内舱门位于过渡舱的顶面,通过滑轨做水平移动。
内舱门打开时,内舱门通过滑轨横向移动打开,内舱门关闭时,内舱门通过滑轨横向移动关闭,过渡舱通过滑轨支撑内舱门的横向移动,内舱门与过渡舱向里压合时,舱门与过渡舱之间的密封橡胶件受到挤压,从而实现密封连接。
舱门是采用气缸固定在过渡舱上,气缸固定在舱门的固定板上,舱门固定板固定在滑轨上,滑轨固定在过渡舱上,过渡舱于密封箱体固定密封连接,密封箱体和过渡舱整体固定于一个基座上。
作为一种优选的方案,不同密封箱体之间的电镀工件通过内接过渡舱的方式进行过渡转移,第一密封箱体内接有第一过渡舱,第三密封箱体内接有第二过渡舱,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为下料舱,第一过渡舱和第二过渡舱分别与第二密封箱体的两侧连接,工件在第一过渡舱,第二过渡舱和密封箱体之间过渡转移。
作为另一种优选的方案,不同密封箱体之间的电镀工件通过内接过渡舱的方式进行过渡转移,第二密封箱体内接有过渡舱,过渡舱的一侧与第一密封箱体连接,过渡舱的另一侧与第三密封箱体连接。
电镀工件进入到过渡舱,过渡舱与第一密封箱体连接的舱门打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和、或除氧化膜,同时清洗去油工作液和清洗除氧化膜工作液等,完成前处理工序后,电镀工件回到过渡舱内,关闭过渡舱与第一密封箱体连接的舱门,过渡舱能够进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱与第二密封箱体连接的舱门,工件进入到第二密封箱体内进行离子液体电镀,完成电镀后,工件回到过渡舱内,关闭过渡舱与第二密封箱体连接的舱门,打开过渡舱与第三密封箱体连接的舱门,工件进入到第三密封箱体进行后处理操作,后处理操作包括清洗和干燥等,完成后处理工序后,工件回到过渡舱内,关闭过渡舱与第三密封箱体连接的舱门,打开过渡舱与外界连接的舱门进行下料,完成工件电镀。
过渡舱外接于密封箱体
过渡舱设置于密封箱体外,电镀工件在密封箱体之间、密封箱体与外界环境之间进行过渡转移,不同密封箱体之间的工件通过过渡舱进行转移,工件从旧环境进入过渡舱,过渡舱进行抽气、补气后再进入新的环境。
作为优选的方案,过渡舱位于密封箱体外,过渡舱与密封箱体密封固定连接,过渡舱设置有舱门,过渡舱与补气装置和真空泵连接补气装置同时与密封箱体和过渡舱连接,密封箱体和过渡舱分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体之间的挂镀工件通过过渡舱进行转移。
优选的,过渡舱设置有两个舱门,其中一个过渡舱门位于过渡舱与密封箱体的连接处,另一个过渡舱门位于过渡舱与密封箱体的连接处或密封箱体外。
优选的,舱门与过渡舱为可开关的密封连接,舱门和过渡舱之间具有水平和垂直两个方向上的自由度,舱门与过渡舱之间设置有密封橡胶圈。
外舱门打开时,外舱门通过滑轨向上移动打开,外舱门关闭时,外舱门通过滑轨向下移动关闭,外舱门与过渡舱向里压合,外舱门与过渡舱之间的密封橡胶件受到挤压,从而实现密封连接。
当工件从外部进入过渡舱,过渡舱进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,通过过渡舱直接进入到密封箱体内进行电镀操作,工件完成电镀通过过渡舱进入新环境。
作为一种优选的方案,不同密封箱体之间的工件通过外接过渡舱的方式进行过渡转移,第一过渡舱与第一密封箱体外连接,第二过渡舱位于第一密封箱体和第二密封箱体之间,第二过渡舱与第一密封箱体和第二密封箱体外连接,第三过渡舱与第二密封箱体外连接。
优选的,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为转移舱,第三过渡舱为下料舱。
电镀工件进入到第一过渡舱,第一过渡舱与第一密封箱体连接的舱门打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和除氧化膜等,完成前处理工序后,工件进入到第二过渡舱内,关闭过渡舱与第一密封箱体连接的舱门,过渡舱进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱与第二密封箱体连接的舱门,工件进入到第二密封箱体内进行电镀工艺,完成电镀工艺后,工件进入到第三过渡舱内,打开过渡舱与外界连接的舱门进行下料。
传输带过渡方式
电镀工件在过渡舱与密封箱体之间通过传输带的方式实现工件的过渡转移。
作为优选的方案,传输带包括舱内传输带和舱外传输带,舱门外设置有舱外传输带,过渡舱内设置有舱内传输带,传输带上放置工件容器。
优选的,传输带为柱状滚筒结构,滚筒之间等距离分布。
优选的,电动机构带动滚筒转动。
优选的,滚筒表面铺设有防滑带。
优选的,防滑带为金属材质,防止在前处理,电镀和后处理过程中的液体对防滑带的腐蚀。
优选的,舱内传输带和舱外传输带之间设置有过渡舱门,过渡舱门通过滑轮轨道在竖直方向上开启和关闭。
优选的,舱外传输带和舱内传输带之间平行放置。
优选的,滚筒包含主滚筒和从滚筒,主滚筒通过电动机构驱动。
优选的,舱内传输带和舱外传输带之间的距离小于工件容器长度的二分之一,从而保证舱内传输带向舱外传输带过渡时,工件容器不发生倾侧。
优选的,每根主动旋转的滚筒进行相同方向的转动。
转移工件时,工件装载在工件容器中,行车将工件容器从第一密封箱体的工艺槽中托起,并运输放置在舱外传输带上,过渡舱门打开,舱外传输带和舱内传输带将工件容器移入过渡舱中,关闭过渡舱门,对过渡舱内抽气和补气,打开另一侧过渡舱门,舱内传输带和另一侧舱外传输带将工件容器移动到第二密封箱体内,第二密封箱体中的行车将工件容器托起,并移动到第二密封箱体中的工艺槽内,从而完成工件与工件容器的转移。
轨道车过渡方式
电镀工件在过渡舱与密封箱体之间通过轨道车的方式实现工件的过渡转移。
作为优选的方案,轨道转移包括轨道车、舱内轨道和舱外轨道,过渡舱内设置有舱内轨道,过渡舱门外设置有舱外轨道,轨道上放置轨道车,轨道车上能够放置工件容器。
优选的,轨道为刚性材料,轨道有两条,两条轨道相互平行。
优选的,轨道车由滑轮、底板、动力机构和载物台组成,滑轮安装于底板下方,底板上方固定有载物台。
优选的,轨道车的滑轮与轨道相互匹配连接。
转移工件时,工件装载在工件容器中,行车将工件容器从工艺槽中托起,并放置在轨道车上,过渡舱门打开,轨道车带动工件容器从舱外轨道移动到过渡舱内的舱内轨道上,关闭过渡舱门,过渡舱进行抽气和补气,打开过渡舱门,轨道车带动工件容器进入舱外轨道,箱体中的行车将工件容器托起,并移动到箱体中的工艺槽内,从而完成工件与工件容器的转移。
伸缩式滑轨过渡方式
电镀工件在过渡舱与密封箱体之间通过伸缩式滑轨的方式实现工件的过渡转移。
作为优选的方案,伸缩式滑轨位于过渡舱内,伸缩式滑轨向连接处两侧的密封箱体进行伸缩式延伸,伸缩式滑轨上设置载物平台,载物平台上放置工件容器,伸缩式滑轨带动载物平台并带动工件容器一起移动。
优选的,伸缩式滑轨固定于过渡舱内,伸缩式滑轨为阶梯式滑轨,阶梯式滑轨向左右两侧延伸。
优选的,阶梯式滑轨由驱动件带动滑轮,滑轮带动滑轨一起移动。
优选的,伸缩式滑轨和电动舱门均由控制器进行控制。
转移工件时,工件装载在工件容器中,过渡舱门打开,伸缩式滑轨从过渡舱延伸到密封箱体,行车将工件容器从工艺槽中托起,并放置到伸缩式滑轨的平台上,伸缩式滑轨从密封箱体缩回到过渡舱内,并将工件容器一起移动到过渡舱中,关闭过渡舱门,对过渡舱内抽气和补气,打开过渡舱门,伸缩式滑轨带动工件容器移动到另一侧密封箱体内,箱体中的行车将工件容器托起并移动到工艺槽内,完成工件与工件容器的转移。
内置过渡舱的离子液体电镀装置
作为优选的方案,一种内置过渡舱的离子液体电镀装置,包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵,其特征在于:过渡舱位于密封箱体内部,过渡舱与密封箱体密封连接,过渡舱设置有过渡舱门,过渡舱门包括第一舱门和第二舱门,第一舱门位于过渡舱的顶面,第二舱门位于过渡舱的侧面,过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接,过渡舱的第一舱门位于密封箱体内部,过渡舱的第二舱门位于过渡舱和密封箱体的连接处。
优选的,相邻密封箱体之间的电镀工件通过伸缩式滑轨进行过渡转移,伸缩式滑轨位于过渡舱内,伸缩式滑轨向连接处两侧的密封箱体进行伸缩式移动。
优选的,过渡舱为长方体,过渡舱的侧面与密封箱体密封连接,过渡舱位于密封箱体内,过渡舱的一侧与外界和、或不同的密封箱体连通。
优选的,舱门通过滑轨移动,过渡舱门至少有两个或多个舱门,舱门位于过渡舱与密封箱体的连接处和、或过渡舱门位于密封箱体内,过渡舱的顶面设置有横向移动的内舱门,过渡舱的侧面设置有外舱门,外舱门位于两个密封箱体的连接处,外舱门竖直移动。
优选的,伸缩式滑轨固定于过渡舱内,伸缩式滑轨向舱门一侧水平移动,伸缩式滑轨为阶梯式滑轨,阶梯式滑轨由驱动件带动滑轮,滑轮带动滑轨一起移动。
优选的,电镀工件通过内接过渡舱的方式进行过渡转移,第一密封箱体内接有第一过渡舱,第三密封箱体内接有第二过渡舱,第一过渡舱和第二过渡舱分别与第二密封箱体的两侧连接,工件在第一过渡舱,第二过渡舱和密封箱体之间过渡转移。
优选的,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为下料舱,第一密封箱体为前处理箱体,第二密封箱体为离子液电镀箱体,第三密封箱体为后处理箱体。
优选的,密封箱体之间的电镀工件通过内接过渡舱的方式进行过渡转移,第二密封箱体内接有过渡舱,过渡舱的一侧与第一密封箱体连接,过渡舱的另一侧与第三密封箱体连接。
优选的,过渡舱位于第二密封箱体内,过渡舱顶板上的舱门与第二密封箱体连通,过渡舱侧面的舱门分别与第一密封箱体、第三密封箱体和外环境连通。
电镀工件进入到过渡舱,过渡舱与第一密封箱体连接的舱门打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和除氧化膜等,完成前处理工序后,工件回到过渡舱内,关闭过渡舱与第一密封箱体连接的舱门,过渡舱进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱与第二密封箱体连接的舱门,工件进入到第二密封箱体内进行电镀工艺,完成电镀工艺后,工件回到过渡舱内,关闭过渡舱与第二密封箱体连接的舱门,打开过渡舱与第三密封箱体连接的舱门,工件进入到第三密封箱体进行后处理操作,后处理操作包括清洗和干燥等,完成后处理工序后,工件回到过渡舱内,关闭过渡舱与第三密封箱体连接的舱门,打开过渡舱与外界连接的舱门进行下料,完成工件电镀。
本实用新型的优点在于:通过过渡舱实现在保持密封箱体之间的气氛互不影响的同时,减小了工件转移过程中的抽气量和补气量,进而加快了生产效率、减少了废气排放、降低了补气成本;由于只对体积较小的过渡舱进行抽真空,箱体内外气压一直保持基本平衡,所以降低了对箱体结构强度的要求,内置过渡舱在安装时减少了焊缝数量和长度,提高了可靠性,便于进行舱与舱之间的拆卸运输。
附图说明
图1是一种离子液体电镀装置外接式过渡舱的示意图。
图2是一种离子液体电镀装置内接式过渡舱的示意图。
图3是一种用于工业化流水线的离子液体电镀装置的示意图。
图4是一种内接式过渡舱的离子液体电镀装置的示意图。
图5是一种自动转移过渡的离子液体电镀装置的示意图。
图6是一种具有轨道式过渡舱的离子液体电镀装置的示意图。
图7是一种具有伸缩式滑轨的离子过渡舱的示意图。
图8是一种内置过渡舱的离子液体电镀装置的示意图。
图中标识:密封箱体1,过渡舱2,工艺槽3,补气装置4,真空泵5,行车6,舱门7,工件容器8,舱外传输带9,舱内传输带10,轨道车11,轨道12,伸缩式滑轨13。
具体实施方式
本申请的实施方式部分使用的术语仅用于对本申请的具体实施例进行解释,而非旨在限定本申请。
过渡舱内接于密封箱体或过渡舱半嵌入于密封箱体
过渡舱内接于密封箱体或过渡舱半嵌入于密封箱体,从而使不同密封箱体之间的电镀工件通过过渡舱进行过渡转移,当电镀工件进入到过渡舱内时,过渡舱进行抽真空,补保护气和平衡气压的操作,通过过渡舱直接进入到另一个密封箱体内。
作为一种实施方式,如图2所示,过渡舱2位于密封箱体1内,过渡舱2由舱门7,骨架,外壳体,补气装置4和真空泵5组成,过渡舱2的外壳体与密封箱体1的外壳体密封连接,补气装置4同时与密封箱体1和过渡舱2连接,密封箱体1和过渡舱2分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体1之间的电镀工件通过过渡舱2进行转移。
优选的,过渡舱2设置有两个或多个舱门7,舱门7位于过渡舱2与密封箱体1的连接处和、或舱门7位于密封箱体1内。
优选的,过渡舱2的一侧位于密封箱体1内,过渡舱2的另一侧与外界和、或不同的密封箱体1连通。
优选的,过渡舱2为长方体,过渡舱2的上顶面为横向移动的内舱门,过渡舱2的侧面设置有外舱门,外舱门位于两个密封箱体1的连接处,外舱门竖直移动。
优选的,舱门7与过渡舱2为可开关的密封连接,舱门7和过渡舱2之间具有水平和垂直两个方向上的自由度,舱门7与过渡舱2之间设置有密封橡胶圈。
外舱门打开时,外舱门通过滑轨向上移动打开,外舱门关闭时,外舱门通过滑轨向下移动关闭,外舱门与过渡舱2向里压合,外舱门与过渡舱2之间的密封橡胶件受到挤压,从而实现密封连接。
优选的,内舱门位于过渡舱2的顶面,通过滑轨做水平移动。
内舱门打开时,内舱门通过滑轨横向移动打开,内舱门关闭时,内舱门通过滑轨横向移动关闭,过渡舱2通过滑轨支撑内舱门的横向移动,内舱门与过渡舱2向里压合时,舱门7与过渡舱2之间的密封橡胶件受到挤压,从而实现密封连接。
舱门7是采用气缸固定在过渡舱2上,气缸固定在舱门7的固定板上,舱门7固定板固定在滑轨上,滑轨固定在过渡舱2上,过渡舱2于密封箱体1固定密封连接,密封箱体1和过渡舱2整体固定于一个基座上。
作为一种实施方式,如图4所示,不同密封箱体1之间的电镀工件通过内接过渡舱2的方式进行过渡转移,第一密封箱体内接有第一过渡舱,第三密封箱体内接有第二过渡舱,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为下料舱,第一过渡舱和第二过渡舱分别与第二密封箱体的两侧连接,工件在第一过渡舱,第二过渡舱和密封箱体1之间过渡转移。
作为另一种优选的方案,不同密封箱体1之间的电镀工件通过内接过渡舱2的方式进行过渡转移,第二密封箱体内接有过渡舱2,过渡舱2的一侧与第一密封箱体连接,过渡舱2的另一侧与第三密封箱体连接。
电镀工件进入到过渡舱2,过渡舱2与第一密封箱体连接的舱门7打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和、或除氧化膜,同时清洗去油工作液和清洗除氧化膜工作液等,完成前处理工序后,电镀工件回到过渡舱2内,关闭过渡舱2与第一密封箱体连接的舱门7,过渡舱2能够进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱2与第二密封箱体连接的舱门7,工件进入到第二密封箱体内进行离子液体电镀,完成电镀后,工件回到过渡舱2内,关闭过渡舱2与第二密封箱体连接的舱门7,打开过渡舱2与第三密封箱体连接的舱门7,工件进入到第三密封箱体进行后处理操作,后处理操作包括清洗和干燥等,完成后处理工序后,工件回到过渡舱2内,关闭过渡舱2与第三密封箱体连接的舱门7,打开过渡舱2与外界连接的舱门7进行下料,完成工件电镀。
过渡舱外接于密封箱体
过渡舱2设置于密封箱体1外,电镀工件在密封箱体1之间、密封箱体1与外界环境之间进行过渡转移,不同密封箱体1之间的工件通过过渡舱2进行转移,工件从旧环境进入过渡舱2,过渡舱2进行抽气、补气后再进入新的环境。
作为一种实施方式,如图1所示,过渡舱2位于密封箱体1外,过渡舱2与密封箱体1密封固定连接,过渡舱2设置有舱门7,过渡舱2与补气装置4和真空泵5连接补气装置4同时与密封箱体1和过渡舱2连接,密封箱体1和过渡舱2分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体1之间的挂镀工件通过过渡舱2进行转移。
优选的,过渡舱2设置有两个舱门7,其中一个过渡舱2门位于过渡舱2与密封箱体1的连接处,另一个过渡舱2门位于过渡舱2与密封箱体1的连接处或密封箱体1外。
优选的,舱门7与过渡舱2为可开关的密封连接,舱门7和过渡舱2之间具有水平和垂直两个方向上的自由度,舱门7与过渡舱2之间设置有密封橡胶圈。
外舱门打开时,外舱门通过滑轨向上移动打开,外舱门关闭时,外舱门通过滑轨向下移动关闭,外舱门与过渡舱2向里压合,外舱门与过渡舱2之间的密封橡胶件受到挤压,从而实现密封连接。
当工件从外部进入过渡舱2,过渡舱2进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,通过过渡舱2直接进入到密封箱体1内进行电镀操作,工件完成电镀通过过渡舱2进入新环境。
作为一种实施方式,如图3所示,不同密封箱体1之间的工件通过外接过渡舱2的方式进行过渡转移,第一过渡舱与第一密封箱体外连接,第二过渡舱位于第一密封箱体和第二密封箱体之间,第二过渡舱与第一密封箱体和第二密封箱体外连接,第三过渡舱与第二密封箱体外连接。
优选的,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为转移舱,第三过渡舱为下料舱。
电镀工件进入到第一过渡舱,第一过渡舱与第一密封箱体连接的舱门7打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和除氧化膜等,完成前处理工序后,工件进入到第二过渡舱内,关闭过渡舱2与第一密封箱体连接的舱门7,过渡舱2进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱2与第二密封箱体连接的舱门7,工件进入到第二密封箱体内进行电镀工艺,完成电镀工艺后,工件进入到第三过渡舱内,打开过渡舱2与外界连接的舱门7进行下料。
自动转移过渡的离子液体电镀装置
作为一种实施方式,如图5所示,一种自动转移过渡的离子液体电镀装置,包括密封箱体1、过渡舱2、充气装置和真空泵5,其特征在于:过渡舱2位于密封箱体1外,过渡舱2与密封箱体1密封连接,过渡舱2设置有过渡舱2门、补气装置4和真空泵5,过渡舱2门位于密封箱体1外和、或过渡舱2和密封箱体1的连接处,补气装置4同时与密封箱体1和过渡舱2连接,密封箱体1和过渡舱2分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体1之间的工件通过过渡舱2的传输带进行过渡转移,传输带包括舱内传输带10和舱外传输带9,舱门7外设置有舱外传输带9,过渡舱2内设置有舱内传输带10,传输带上放置有工件容器8。
在一些实施例中,转移工件时,工件装载在工件容器8中,行车6将工件容器8从工艺槽3中托起,并放置在轨道车11上,过渡舱2门打开,轨道车11带动工件容器8从舱外轨道12移动到过渡舱2内的舱内轨道12上,关闭过渡舱2门,对过渡舱2进行抽气和补气,打开过渡舱2门,轨道车11带动工件容器8进入舱外轨道12,箱体中的行车6将工件容器8托起,并移动到箱体中的工艺槽3内,从而完成工件与工件容器8的转移。
优选的,过渡舱2门通过滑轮轨道12在竖直方向上开启和关闭。
优选的,舱外传输带9和舱内传输带10之间水平连接。
优选的,传输带为滚轮结构,每根滚筒等距离分布,电动机构带动滚筒转动。
优选的,每根滚筒保持同速转动。
优选的,滚筒能够朝两个不同的方向转动,从而实现传输带将满载的工件容器8运过去后,还能够将空载的工件容器8运回来。
优选的,过渡舱2设置有两个过渡舱2门,其中一个过渡舱2门位于过渡舱2与密封箱体1的连接处,另一个过渡舱2门位于过渡舱2与密封箱体1的连接处或密封箱体1外。
在一些实施例中,当电镀工件从外部进入过渡舱2,过渡舱2进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,通过过渡舱2直接进入到密封箱体1内进行电镀操作,工件完成电镀通过过渡舱2进入新环境。
作为一种优选的方案,不同密封箱体1之间的电镀工件通过外接过渡舱2的方式进行过渡转移,第一过渡舱与第一密封箱体外连接,第二过渡舱位于第一密封箱体和第二密封箱体之间,第二过渡舱与第一密封箱体和第二密封箱体外连接,第三过渡舱与第二密封箱体外连接。
优选的,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为转移舱,第三过渡舱为下料舱。
在一些实施例中,电镀工件进入到第一过渡舱,第一过渡舱与第一密封箱体连接的舱门7打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和除氧化膜等,完成前处理工序后,工件进入到第二过渡舱内,关闭过渡舱2与第一密封箱体连接的舱门7,过渡舱2进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱2与第二密封箱体连接的舱门7,工件进入到第二密封箱体内进行电镀工艺,完成电镀工艺后,工件进入到第三过渡舱内,打开过渡舱2与外界连接的舱门7进行下料。
优选的,舱内传输带10和舱外传输带9之间设置有过渡舱2门,过渡舱2门通过滑轮轨道12在竖直方向上开启和关闭。
优选的,舱外传输带9和舱内传输带10之间水平连接。
优选的,传输带为柱状滚筒结构,每根滚筒等距离分布,电动机构带动滚筒转动。
优选的,舱内传输带10和舱外传输带9之间的距离为工件容器8长度的三分之一。
优选的,每根滚筒保持相同匀速转动。
具有轨道式过渡舱的离子液体电镀装置
作为一种实施方式,如图6所示,一种具有轨道式过渡舱2的离子液体电镀装置,包括密封箱体1、过渡舱2、充气装置和真空泵5,其特征在于:过渡舱2位于密封箱体1外,过渡舱2与密封箱体1密封连接,过渡舱2设置有过渡舱2门、补气装置4和真空泵5,过渡舱2门位于密封箱体1外和、或过渡舱2和密封箱体1的连接处,补气装置4同时与密封箱体1和过渡舱2连接,密封箱体1和过渡舱2分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体1之间的电镀工件通过过渡舱2的轨道车11进行过渡转移,轨道12转移包括轨道车11、舱内轨道12和舱外轨道12,过渡舱2内设置有舱内轨道12,过渡舱2门外设置有舱外轨道12,轨道12上放置轨道车11,轨道车11上放置工件容器8。
在一些实施例中,转移工件时,工件装载在工件容器8中,行车6将工件容器8从箱体中的工艺槽3中托起,放置在轨道车11上,过渡舱2门打开,轨道车11带动工件容器8从舱外轨道12移动到过渡舱2内的舱内轨道12上。关闭两个过渡舱2门,对过渡舱2内抽气、补气,打开过渡舱2门,轨道车11带动工件容器8进入舱外轨道12,箱体中的行车6将工件容器8托起,移动到箱体中的工艺槽3内,完成工件与工件容器8的转移。
优选的,轨道12为刚性材料,轨道12有两条,每条轨道12都设置有滑轮轨道12槽。
优选的,轨道车11由滑轮、底板、动力机构和载物台组成,滑轮安装于底板下方,底板上方固定有载物台。
优选的,过渡舱2设置有两个过渡舱2门,其中一个过渡舱2门位于过渡舱2与密封箱体1的连接处,另一个过渡舱2门位于过渡舱2与密封箱体1的连接处或密封箱体1外。
在一些实施例中,当电镀工件从外部进入过渡舱2,过渡舱2进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,通过过渡舱2直接进入到密封箱体1内进行电镀操作,工件完成电镀通过过渡舱2进入新环境。
作为一种优选的方案,不同密封箱体1之间的电镀工件通过外接过渡舱2的方式进行过渡转移,第一过渡舱与第一密封箱体外连接,第二过渡舱位于第一密封箱体和第二密封箱体之间,第二过渡舱与第一密封箱体和第二密封箱体外连接,第三过渡舱与第二密封箱体外连接。
优选的,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为转移舱,第三过渡舱为下料舱。
在一些实施例中,电镀工件进入到第一过渡舱,第一过渡舱与第一密封箱体连接的舱门7打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和除氧化膜等,完成前处理工序后,工件进入到第二过渡舱内,关闭过渡舱2与第一密封箱体连接的舱门7,过渡舱2进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱2与第二密封箱体连接的舱门7,工件进入到第二密封箱体内进行电镀工艺,完成电镀工艺后,工件进入到第三过渡舱内,打开过渡舱2与外界连接的舱门7进行下料。
优选的,轨道12为刚性材料,轨道12有两条,每条轨道12都设置有滑轮轨道12槽。
优选的,轨道车11由滑轮、底板、动力机构和载物台组成,滑轮安装于底板下方,底板上方固定有载物台。
具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱
作为一种实施方式,如图7所示,一种具有伸缩式滑轨13的离子过渡舱2,包括密封箱体1、过渡舱2、充气装置和真空泵5,其特征在于:过渡舱2位于密封箱体1外,过渡舱2与密封箱体1密封连接,过渡舱2设置有过渡舱2门、补气装置4和真空泵5,过渡舱2门位于密封箱体1外和、或过渡舱2和密封箱体1的连接处,补气装置4同时与密封箱体1和过渡舱2连接,密封箱体1和过渡舱2分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体1之间的电镀工件通过伸缩式滑轨13进行过渡转移,伸缩式滑轨13位于过渡舱2内,伸缩式滑轨13向连接处两侧的密封箱体1进行伸缩式延伸,伸缩式滑轨13上放置工件容器8,伸缩式滑轨13带动工件容器8移动。
在一些实施例中,工件装载在工件容器8中,过渡舱2门打开,伸缩式滑轨13从过渡舱2延伸到密封箱体1,行车6将工件容器8从工艺槽3中托起,并放置到伸缩式滑轨13的平台上,伸缩式滑轨13从密封箱体1缩回到过渡舱2内,并将工件容器8一起移动到过渡舱2中,关闭过渡舱2门,对过渡舱2内抽气和补气,打开过渡舱2门,伸缩式滑轨13带动工件容器8移动到另一侧密封箱体1内,箱体中的行车6将工件容器8托起并移动到工艺槽3内,完成工件与工件容器8的转移。
优选的,伸缩式滑轨13固定于过渡舱2内,伸缩式滑轨13为阶梯式滑轨,阶梯式滑轨向左右两侧延伸。
优选的,阶梯式滑轨由驱动件带动滑轮,滑轮带动滑轨一起移动。
优选的,伸缩式滑轨13和电动舱门7均由控制器远程进行控制。
优选的,伸缩式滑轨13固定于过渡舱2内,伸缩式滑轨13为阶梯式滑轨,阶梯式滑轨向左右两侧延伸。
优选的,阶梯式滑轨由驱动件带动滑轮,滑轮带动滑轨一起移动。
优选的,伸缩式滑轨13和电动舱门7均由控制器远程进行控制。
内置过渡舱的离子液体电镀装置
作为一种实施方式,如图8所示,一种内置过渡舱2的离子液体电镀装置,包括密封箱体1、过渡舱2、充气装置和真空泵5,其特征在于:过渡舱2位于密封箱体1内,过渡舱2与密封箱体1密封连接,过渡舱2设置有过渡舱2门、补气装置4和真空泵5,过渡舱2门一侧位于过渡舱2内,过渡舱2门的另一侧位于过渡舱2外,补气装置4同时与密封箱体1和过渡舱2连接,密封箱体1和过渡舱2分别设置有各自的充气开关阀,不同密封箱体1之间的电镀工件通过伸缩式滑轨13进行过渡转移,伸缩式滑轨13位于过渡舱2内,伸缩式滑轨13向连接处两侧的密封箱体1进行伸缩式延伸,伸缩式滑轨13上放置工件容器8,伸缩式滑轨13带动工件容器8移动。
优选的,舱门7位于过渡舱2的顶面和侧面,通过滑轨做水平移动。
优选的,伸缩式滑轨13固定于过渡舱2内,伸缩式滑轨13向舱门7一侧水平移动。
优选的,伸缩式滑轨13为阶梯式滑轨,阶梯式滑轨向左右两侧延伸。
优选的,阶梯式滑轨由驱动件带动滑轮,滑轮带动滑轨一起移动。
在一些实施例中,电镀工件在转移时,位于过渡舱2顶盖的舱门7打开,行车6将工件容器8从箱体中的工艺槽3中托起,行车6运输工件容器8到过渡舱2的正上方,并垂直向下将工件容器8放置在伸缩式滑轨13的平台上,行车6垂直向上移出过渡舱2,关闭过渡舱2顶盖的舱门7,对过渡舱2内抽气和补气,打开过渡舱2侧门,伸缩式滑轨13向密封箱体1伸出,箱体中的行车6将工件容器8托起,并移动到箱体中的工艺槽3内,完成工件与工件容器8的转移。
优选的,伸缩式滑轨13和电动舱门7均由控制器远程进行控制。
优选的,过渡舱2设置有两个或多个过渡舱2门,过渡舱2门位于过渡舱2与密封箱体1的连接处和、或过渡舱2门位于密封箱体1内。
优选的,过渡舱2的一侧位于密封箱体1内,过渡舱2的另一侧与外界和、或不同的密封箱体1连通。
优选的,过渡舱2为长方体,长方体的上顶面为水平移动的内舱门,过渡舱2的侧面设置有外舱门,外舱门位于两个密封箱体1的连接处,外舱门垂直于水平面竖直移动。
优选的,内舱门位于过渡舱2的顶面,通过滑轨做水平移动。
优选的,伸缩式滑轨13固定于过渡舱2内,伸缩式滑轨13向舱门7一侧水平移动。
优选的,伸缩式滑轨13为阶梯式滑轨,阶梯式滑轨向左右两侧延伸。
优选的,阶梯式滑轨由驱动件带动滑轮,滑轮带动滑轨一起移动。
优选的,伸缩式滑轨13和电动舱门7均由控制器远程进行控制。
作为一种优选的方案,不同密封箱体1之间的电镀工件通过内接过渡舱2的方式进行过渡转移,第一密封箱体内接有第一过渡舱,第三密封箱体内接有第二过渡舱,第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为下料舱,第一过渡舱和第二过渡舱分别与第二密封箱体的两侧连接,工件在第一过渡舱,第二过渡舱和密封箱体1之间过渡转移。
作为一种优选的方案,不同密封箱体1之间的电镀工件通过内接过渡舱2的方式进行过渡转移,第二密封箱体内接有过渡舱2,过渡舱2的一侧与第一密封箱体连接,过渡舱2的另一侧与第三密封箱体连接。
电镀工件进入到过渡舱2,过渡舱2与第一密封箱体连接的舱门7打开,工件进入到第一密封箱体进行前处理操作,前处理操作包括去油和除氧化膜等,完成前处理工序后,工件回到过渡舱2内,关闭过渡舱2与第一密封箱体连接的舱门7,过渡舱2进行抽真空、补保护气和平衡气压的操作,打开过渡舱2与第二密封箱体连接的舱门7,工件进入到第二密封箱体内进行电镀工艺,完成电镀工艺后,工件回到过渡舱2内,关闭过渡舱2与第二密封箱体连接的舱门7,打开过渡舱2与第三密封箱体连接的舱门7,工件进入到第三密封箱体进行后处理操作,后处理操作包括清洗和干燥等,完成后处理工序后,工件回到过渡舱2内,关闭过渡舱2与第三密封箱体连接的舱门7,打开过渡舱2与外界连接的舱门7进行下料,完成工件电镀。
本实用新型的有益效果在于:通过过渡舱实现在保持密封箱体之间的气氛互不影响的同时,减小了工件转移过程中的抽气量和补气量,进而加快了生产效率、减少了废气排放、降低了补气成本;由于只对体积较小的过渡舱进行抽真空,箱体内外气压一直保持基本平衡,所以降低了对箱体结构强度的要求。
在缺少本文中所具体公开的任何元件、限制的情况下,可以实现本文所示和所述的实用新型。所采用的术语和表达法被用作说明的术语而非限制,并且不希望在这些术语和表达法的使用中排除所示和所述的特征或其部分的任何等同物,而且应该认识到各种改型在本实用新型的范围内都是可行的。因此应该理解,尽管通过各种实施例和可选的特征具体公开了本实用新型,但是本文所述的概念的修改和变型可以被本领域普通技术人员所采用,并且认为这些修改和变型落入所附权利要求书限定的本实用新型的范围之内。
本文中所述或记载的文章、专利、专利申请以及所有其他文献和以电子方式可得的信息的内容在某种程度上全文包括在此以作参考,就如同每个单独的出版物被具体和单独指出以作参考一样。申请人保留把来自任何这种文章、专利、专利申请或其他文献的任何及所有材料和信息结合入本申请中的权利。

Claims (9)

1.一种内置过渡舱的离子液体电镀装置,包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵,其特征在于:过渡舱位于密封箱体内部,过渡舱与密封箱体密封连接,过渡舱设置有过渡舱门,过渡舱门包括第一舱门和第二舱门,第一舱门位于过渡舱的顶面,第二舱门位于过渡舱的侧面,过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接,过渡舱的第一舱门位于密封箱体内部,过渡舱的第二舱门位于过渡舱和密封箱体的连接处。
2.如权利要求1所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的相邻密封箱体之间的电镀工件通过伸缩式滑轨进行过渡转移,伸缩式滑轨位于过渡舱内,伸缩式滑轨向连接处两侧的密封箱体进行伸缩式移动。
3.如权利要求1所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的过渡舱为长方体,过渡舱的侧面与密封箱体密封连接,过渡舱位于密封箱体内,过渡舱的一侧与外界和、或不同的密封箱体连通。
4.如权利要求1所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的舱门通过滑轨移动,过渡舱门至少有两个或多个舱门,舱门位于过渡舱与密封箱体的连接处和、或过渡舱门位于密封箱体内,过渡舱的顶面设置有横向移动的内舱门,过渡舱的侧面设置有外舱门,外舱门位于两个密封箱体的连接处,外舱门竖直移动。
5.如权利要求2所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的伸缩式滑轨固定于过渡舱内,伸缩式滑轨向舱门一侧水平移动,伸缩式滑轨为阶梯式滑轨,阶梯式滑轨由驱动件带动滑轮,滑轮带动滑轨一起移动。
6.如权利要求2所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的电镀工件通过内接过渡舱的方式进行过渡转移,第一密封箱体内接有第一过渡舱,第三密封箱体内接有第二过渡舱,第一过渡舱和第二过渡舱分别与第二密封箱体的两侧连接,工件在第一过渡舱,第二过渡舱和密封箱体之间过渡转移。
7.如权利要求6所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的第一过渡舱为上料舱,第二过渡舱为下料舱,第一密封箱体为前处理箱体,第二密封箱体为离子液电镀箱体,第三密封箱体为后处理箱体。
8.如权利要求1所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的密封箱体之间的电镀工件通过内接过渡舱的方式进行过渡转移,第二密封箱体内接有过渡舱,过渡舱的一侧与第一密封箱体连接,过渡舱的另一侧与第三密封箱体连接。
9.如权利要求7所述的内置过渡舱的离子液体电镀装置,其特征在于:所述的过渡舱位于第二密封箱体内,过渡舱顶板上的舱门与第二密封箱体连通,过渡舱侧面的舱门分别与第一密封箱体、第三密封箱体和外环境连通。
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