CN211217868U - 一种立式炉管清洗设备喷洒系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种立式炉管清洗设备喷洒系统，由顶部喷洒组件、竖直喷头组件和清洗液储存槽、清水储存槽三部分组成，顶部喷洒组件用于清洗炉管，竖直喷头组件用于清洗炉管附属部件，不同的喷管喷射的清洗液能够完成对炉管的清洗，具有清洗效果好，由于顶部喷洒组件能够旋转，从而炉管可以不用旋转，有效地降低了炉管损坏的风险。

Description

一种立式炉管清洗设备喷洒系统

技术领域

本申请属于炉管清洗设备技术领域，尤其是涉及一种立式炉管清洗设备喷洒系统。

背景技术

随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的炉管的洁净度的要求也随之提高，传统的卧室炉管清洗设备已经无法满足更高的洁净度的要求。

中国专利文献CN 208853393 U公开了一种立式炉管清洗机构，其中的喷管固定，由旋转机构来驱动炉管旋转，进而使炉管表面能够全面地进行清洗，然而，让称重的炉管旋转，一方面，旋转机构需要设计得复杂，另一方面，对炉管的进行旋转，炉管容易受到损伤。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种在保证清洗效果的同时能够降低炉管损坏风险的立式炉管清洗设备喷洒系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种立式炉管清洗设备喷洒系统，

顶部喷洒组件，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的顶部，由电机驱动而发生旋转，所述顶部喷洒组件包括水平管和设置在水平管上的若干竖直管；

竖直喷头组件，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的侧壁上，包括一条以上的竖直布置的竖直喷管，竖直喷管一旁设置有固定件以固定被清洗的炉管附属部件；

清洗液储存槽和清水储存槽，清洗液储存槽内可以储存酸性清洗液或者碱性清洗液，清水储存槽内储存清水；清洗液储存槽和清水储存槽通过管道与顶部喷洒组件、竖直喷头组件连接，并给顶部喷洒组件、竖直喷头组件供给清洗液或者清水。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管的长度从顶部喷洒组件中心向外侧逐渐增长。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管从中心向外依次为第一竖直管、第二竖直管和第三竖直管，且长度依次增加。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管的末端设置有万向喷头。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述水平管和竖直管为两组，两组所述水平管通过同一个电机驱动而转动。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，两组所述水平管通过皮带轮和皮带连接以实现由同一个电机驱动而转动。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，竖直喷头组件包括两条平行设置的竖直喷管，被清洗的炉管附属部件放置在两条竖直布置的竖直喷管之间。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，两条竖直喷管上的喷头在竖直方向上错位布置，且两条竖直布置的竖直喷管上的喷头的朝向相反。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述喷头的朝向与水平面呈30°-60°夹角。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述顶部喷洒组件和竖直喷头组件还与氮气管道连接。

本实用新型的有益效果是：

本申请的立式炉管清洗设备喷洒系统，由顶部喷洒组件、竖直喷头组件和清洗液储存槽、清水储存槽三部分组成，顶部喷洒组件用于清洗炉管，竖直喷头组件用于清洗炉管附属部件，不同的喷管喷射的清洗液能够完成对炉管的清洗，具有清洗效果好，由于顶部喷洒组件能够旋转，从而炉管可以不用旋转，有效地降低了炉管损坏的风险。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是本申请实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统所在的立式炉管清洗设备的剖视图；

图2是本申请实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统的结构示意图；

图3是本申请实施例的顶部喷洒组件的结构示意图；

图4是本申请实施例的顶部喷洒组件在清洗炉管时的主视图；

图中的附图标记为：

4 废液槽；

5 顶部喷洒组件；

6 竖直喷头组件；

9 炉管；

21 水平喷管；

51 电机；

52 水平管；

53 第一竖直管；

54 第二竖直管；

55 第三竖直管；

61 竖直喷管；

71 清洗液储存槽；

72 清水储存槽。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。

实施例

本实施例提供一种立式炉管清洗设备喷洒系统，如图1、图2和图3和图4所示，包括：

顶部喷洒组件5，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的顶部，由电机51(电机51优选设置在清洗腔室顶部)驱动而发生旋转，所述顶部喷洒组件5包括水平管52和设置在水平管52上的若干竖直管；

竖直喷头组件6，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的侧壁上，包括一条以上的竖直布置的竖直喷管61，竖直喷管61一旁设置有固定件以固定被清洗的炉管附属部件(比如清洗热电偶，热电偶的绝缘套管可以被固定件所固定，竖直喷管61喷出的清洗液就可以对绝缘套管进行清洗)；

水平喷管21(可选组件)，以水平方向设置在废液槽4顶部(对准清洗腔室的门)；

清洗液储存槽71和清水储存槽72，清洗液储存槽71内可以储存酸性清洗液或者碱性清洗液，清水储存槽72内储存清水；清洗液储存槽71和清水储存槽72通过管道与顶部喷洒组件5、竖直喷头组件6和水平喷管21连接，并给顶部喷洒组件5、竖直喷头组件6和水平喷管21供给清洗液或者清水。

上述实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，由顶部喷洒组件5、竖直喷头组件6和清洗液储存槽71、清水储存槽72三部分组成，顶部喷洒组件5用于清洗炉管9，竖直喷头组件6用于清洗炉管附属部件，不同的喷管喷射的清洗液能够完成对炉管9的清洗，具有清洗效果好，由于顶部喷洒组件5能够旋转，从而炉管9可以不用旋转，有效地降低了炉管9损坏的风险。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管的长度从顶部喷洒组件5中心向外侧逐渐增长。如图3所示，所述竖直管从中心向外依次为第一竖直管53、第二竖直管54和第三竖直管55，且长度依次增加。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述竖直管的末端设置有万向喷头。通过调节万向喷头的朝向，可以调节清洗液或者水喷射到炉管9上表面的角度，尤其是炉管的侧表面。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述水平管52和竖直管为两组，两组所述水平管52通过同一个电机驱动而转动。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，两组所述水平管52通过皮带轮和皮带连接以实现由同一个电机驱动而转动。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，竖直喷头组件6包括两条平行设置的竖直喷管61，被清洗的炉管附属部件放置在两条竖直布置的竖直喷管61之间。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，两条竖直喷管61上的喷头在竖直方向上错位布置，且两条竖直布置的竖直喷管61上的喷头的朝向相反。错位布置能够防止两条竖直喷管61喷出的液体相互干扰，其中一个竖直喷管61上的喷头倾斜朝下，另一个竖直喷管61上的喷头倾斜朝上，以提高清洗效果。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述喷头的朝向与水平面呈30°-60°夹角。通过倾斜设置，使清洗液或者清水更多得喷洒带炉管上。

作为一种改进，本实施例的立式炉管清洗设备喷洒系统，所述顶部喷洒组件5和竖直喷头组件6还与氮气管道连接，使顶部喷洒组件5和竖直喷头组件6能够喷吹氮气，在清洗液和清水清洗完炉管9或者其辅助工具之后，由氮气来进行干燥，通常通入的氮气是经过加热的。

以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，

顶部喷洒组件(5)，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的顶部，由电机(51)驱动而发生旋转，所述顶部喷洒组件(5)包括水平管(52)和设置在水平管(52)上的若干竖直管；

竖直喷头组件(6)，设置在立式炉管清洗设备的清洗腔室内的侧壁上，包括一条以上的竖直布置的竖直喷管(61)，竖直喷管(61)一旁设置有固定件以固定被清洗的炉管附属部件；

清洗液储存槽(71)和清水储存槽(72)，清洗液储存槽(71)内可以储存酸性清洗液或者碱性清洗液，清水储存槽(72)内储存清水；清洗液储存槽(71)和清水储存槽(72)通过管道与顶部喷洒组件(5)、竖直喷头组件(6)连接，并给顶部喷洒组件(5)、竖直喷头组件(6)供给清洗液或者清水。

2.根据权利要求1所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，所述竖直管的长度从顶部喷洒组件(5)中心向外侧逐渐增长。

3.根据权利要求2所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，所述竖直管从中心向外依次为第一竖直管(53)、第二竖直管(54)和第三竖直管(55)，且长度依次增加。

4.根据权利要求3所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，所述竖直管的末端设置有万向喷头。

5.根据权利要求1所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，所述水平管(52)和竖直管为两组，两组所述水平管(52)通过同一个电机驱动而转动。

6.根据权利要求1所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，两组所述水平管(52)通过皮带轮和皮带连接以实现由同一个电机驱动而转动。

7.根据权利要求1所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，竖直喷头组件(6)包括两条平行设置的竖直喷管(61)，被清洗的炉管附属部件放置在两条竖直布置的竖直喷管(61)之间。

8.根据权利要求7所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，两条竖直喷管(61)上的喷头在竖直方向上错位布置，且两条竖直布置的竖直喷管(61)上的喷头的朝向相反。

9.根据权利要求8所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，所述喷头的朝向与水平面呈30°-60°夹角。

10.根据权利要求1所述的立式炉管清洗设备喷洒系统，其特征在于，所述顶部喷洒组件(5)和竖直喷头组件(6)还与氮气管道连接。

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