CN211216007U - 真空泵前端的tma尾气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空泵前端的TMA尾气处理装置，包括：带有腔室的腔体和水瓶，所述腔体的腔室连通真空泵与设备排气口，使尾气经过腔室，所述水瓶与腔体通过管道连通，所述管道上设有的开关阀，所述腔体的腔室内还设有过滤组件。本实用新型通过在真空泵的前端设置腔体，并设置连通腔体的水瓶，真空泵工作时水瓶的水自动气化进入腔体的腔室与TMA气体汇合后发生化学反应产生氧化铝粉尘，大部分粉尘会吸附在隔板与腔室的内壁上，防止粉尘进入真空泵，有效起到了保护真空泵的作用，使产生的粉尘不会堵塞真空系统。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能光伏镀膜设备领域，尤其涉及一种真空泵前端的TMA尾气处理装置。
背景技术
管式PECVD设备是现在光伏行业镀膜设备的主要设备之一。随着市场的发展，客户对设备的产能要求越来越大；随着镀氧化铝工艺的出现，太阳能电池片转换效率有所提升，得到市场的认可。现在市场对氧化铝设备的需求越来越大，但是氧化铝设备在使用过程中发现真空泵堵塞非常严重，原因是工艺后剩余的TMA气体由真空泵抽出时，会在真空管道内产生大量粉尘，多次重复工艺后会堵塞真空泵。而真空泵的维修成本太高，所以研发一种真空泵前TMA尾气处理装置来保护真空泵是非常必要的。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述现有技术中的技术问题，提出一种真空泵前端的TMA尾气处理装置。
本实用新型采用的技术方案是：
本实用新型提出了一种真空泵前端的TMA尾气处理装置，包括：带有腔室的腔体和水瓶，所述腔体的腔室连通真空泵与设备排气口，使尾气经过腔室，所述水瓶与腔体通过管道连通，所述管道上设有的开关阀，所述腔体的腔室内还设有过滤组件。
进一步的，所述腔体的顶部设有盖板，所述盖板上设有真空泵接口。所述过滤组件包括设置在盖板的内侧的过滤芯，所述过滤芯呈环形围绕真空泵接口设置。所述过滤组件还包括隔板，所述隔板位于过滤芯的下方。
所述腔体的侧壁低于隔板高度的位置设有设备排气口接口。
所述腔体内还设有支撑隔板的支撑架，使所述隔板与盖板平行。
优选地，所述开关阀为气动阀。
本实用新型还包括电子压力规，所述腔体的侧壁上还设有电子压力规接口。
进一步的，所述水瓶上设有纯水注入口。
进一步的，所述腔体的底部设有多个支脚。
与现有技术比较，本实用新型通过在真空泵的前端设置腔体，并设置连通腔体的水瓶，真空泵工作时水瓶的水自动气化进入腔体的腔室与TMA气体汇合后发生化学反应产生氧化铝粉尘，大部分粉尘会吸附在隔板与腔室的内壁上，防止粉尘进入真空泵，有效起到了保护真空泵的作用，使产生的粉尘不会堵塞真空系统。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例中的正视图；
图2为本实用新型实施例中的侧视图；
图3为本实用新型实施例中气体在腔体内流动的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图以及实施例对本实用新型的原理及结构进行详细说明。
如图1、图2所示，本实用新型提出了一种真空泵前端的TMA尾气处理装置，包括腔体1和水瓶2，腔体1呈圆柱形内部设有腔室，腔体1的腔室内设有过滤组件，水瓶2装有纯水，并通过管道与腔体内的腔室连通，管道上设有开关阀3，腔体1的侧壁设有设备排气口接口12，顶部设有真空泵接口11，使设备排出的TMA气体会经过腔体，真空泵抽气时开关阀自动打开，水瓶2里的纯水在真空状态下会沸腾形成水蒸气，通过管道进入腔体1的腔室内，TMA气体与水蒸气汇合后发生化学反应产生氧化铝粉尘，经过过滤组件的阻挡和过滤，大部分粉尘会吸附在隔板与腔室的内壁上，防止粉尘进入真空泵，有效起到了保护真空泵的作用，使产生的粉尘不会堵塞真空系统。
如图3所示，本实用新型中，过滤组件包括过滤芯4和隔板5，其中，腔体的顶部设有盖板14，真空泵接口11设置在盖板14上，过滤芯4设置在盖板14组成腔室内壁的内侧，过滤芯4呈环形围绕真空泵接口设置，且过滤芯的底部封闭，使从真空泵接口吸出的气体必须经过过滤芯过滤，通过过滤芯的二次吸附作用基本阻挡了粉尘，确保真空泵不会被堵塞。其中，过滤芯为不锈钢网滤芯。
在具体的实施例中，隔板5平行盖板设置位于过滤芯4的正下方，设备排气口接口设于腔体1的侧壁低于隔板高度的位置，使TMA气体的流动方向垂直隔板，并通过隔板5分流沿腔体1的内壁继续向上流动，使大部分与水蒸气反应后的粉尘可被吸附在隔板上或者腔体的内壁上。隔板安装在支撑架6上，支撑架6包括三根支撑柱和支撑环，三根支撑柱靠近腔体的内壁均匀间隔设置，支撑柱的顶部通过支撑环连接组成支撑架，隔板通过多个螺钉或者连杆连接平行固定在支撑环下方，使隔板位置稳定，同时便于拿放和更换。
本实用新型中，腔体1的盖板14上还设有提手，腔体的底部设有多个支撑脚，便于安装和拆卸。
本实用新型中，水瓶上设有纯水注入口21，纯水不足时可在纯水注入口注入纯水，开关阀为气动阀，在真空泵运行时常闭的气动阀可自动开启，使水瓶与腔体的腔室连通。
本实用新型中，腔体的底部设有多个支脚，腔体的侧壁还设有电子压力规接口，可安装电子压力规查看腔体压力状态。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，包括：带有腔室的腔体和水瓶，所述腔体的腔室连通真空泵与设备排气口，使尾气经过腔室，所述水瓶与腔体通过管道连通，所述管道上设有的开关阀，所述腔体的腔室内还设有过滤组件。
2.如权利要求1所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述腔体的顶部设有盖板，所述盖板上设有真空泵接口。
3.如权利要求2所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述过滤组件包括设置在盖板的内侧的过滤芯，所述过滤芯呈环形围绕真空泵接口设置。
4.如权利要求3所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述过滤组件还包括隔板，所述隔板位于过滤芯的下方。
5.如权利要求4所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述腔体的侧壁低于隔板高度的位置设有设备排气口接口。
6.如权利要求4所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述腔体内还设有安装隔板的支撑架，使所述隔板与盖板平行。
7.如权利要求1所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述开关阀为气动阀。
8.如权利要求1所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，还包括电子压力规，所述腔体的侧壁上还设有电子压力规接口。
9.如权利要求1所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述水瓶上设有纯水注入口。
10.如权利要求1所述的真空泵前端的TMA尾气处理装置，其特征在于，所述腔体的底部设有多个支脚。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921572538.4U CN211216007U (zh) | 2019-09-20 | 2019-09-20 | 真空泵前端的tma尾气处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921572538.4U CN211216007U (zh) | 2019-09-20 | 2019-09-20 | 真空泵前端的tma尾气处理装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN211216007U true CN211216007U (zh) | 2020-08-11 |
Family
ID=71934341
Family Applications (1)
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| CN201921572538.4U Active CN211216007U (zh) | 2019-09-20 | 2019-09-20 | 真空泵前端的tma尾气处理装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN211216007U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113830959A (zh) * | 2021-10-28 | 2021-12-24 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种真空泵前端过滤装置 |
-
2019
- 2019-09-20 CN CN201921572538.4U patent/CN211216007U/zh active Active
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| CN113830959A (zh) * | 2021-10-28 | 2021-12-24 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种真空泵前端过滤装置 |
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