CN211170423U - 一种制坨机的旋转摆动台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种制坨机的旋转摆动台，包括：工作载台，其上设置有摆动系统和旋转系统，旋转系统包括旋转电机、旋转盘等；摆动系统包括摆动电机、丝杠、摆动滑台等，摆动滑台的中部连接推力轴承安装座；推力轴承安装座的上端设置有推力轴承安装槽；推力轴承安装槽内安装推力轴承；旋转盘位于推力轴承安装座的上方并与推力轴承的上端固定连接；所述旋转盘的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆的夹具。本实用新型采用在推力轴承安装座的推力轴承安装槽内安装推力轴承，该推力轴承的结构更加稳定，旋转过程更加平稳，合成出的石英玻璃结构更均匀。

Description

一种制坨机的旋转摆动台

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种制坨机的旋转摆动台。

背景技术

石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成，其具有特殊的光谱透过性能，热膨胀系数低，是普通玻璃的1/10-1/20、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀，线膨胀系数极小，有很好的抗热震性。它的耐热性很高，经常使用温度为1100～1200摄氏度，短期使用温度可达1400摄氏度，由于它具有高的光谱透射，不会因辐射线损伤，因此也是用于宇宙飞船、风洞窗和分光光度计光学系统的理想玻璃。石英玻璃在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。随着各领域光学系统对石英玻璃尺寸和光学均匀性要求的不断提高，研制大尺寸、高均匀石英玻璃的需求剧增。

石英玻璃的光学均匀性直接影响光学系统的成像质量。用光学均匀性数值及分布图可表征材料内部折射率不均匀的程度。若玻璃存在光学不均匀，则光通过介质后会产生相位差，可导致光学系统无法实现预期功能，甚至无法工作。

石英玻璃制坨机是石英玻璃生产的关键设备，其结构及性能直接影响石英玻璃的尺寸和光学均匀性。合成石英玻璃是以含硅前驱体(通常采用SiCl₄)为原料，在氢氧焰中发生水解或氧化反应生成SiO₂纳米颗粒，沉积并熔融于石英玻璃基底表面制备而成。

现有技术中公开的制坨机具有升降、旋转和摆动功能，但是现有公开的制坨机的旋转结构不稳定，例如CN201910952410.9一种制坨机中公开的旋转支撑结构，采用至少三个轴承旋转支撑单元的方式，该方式的旋转支撑结构不稳定，且对安装精度要求较高，导致生产效率低下，修理率高，合成出的石英玻璃结构不均匀。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种制坨机的旋转摆动台，包括：

工作载台，其内设置有支撑板；所述支撑板设置有平行的水平导轨；所述支撑板上设置有支撑板通孔；

摆动滑台，其与平行的水平导轨通过滑块连接；所述摆动滑台的底部通过摆动丝杠螺帽座连接有丝杠；所述摆动滑台的中部设置有安装通孔；

摆动电机，其电机轴连接减速器Ⅰ，减速器Ⅰ连接在工作载台的侧板上与丝杠的一端连接；所述丝杠的另一端通过丝杠支撑座连接在支撑板的上部；所述摆动滑台的底部连接摆动丝杠螺帽座，摆动丝杠螺帽座与丝杠相配合连接；

推力轴承安装座，其可拆卸连接在摆动滑台的中部且与安装通孔同轴设置；所述推力轴承安装座的上端设置有推力轴承安装槽；所述推力轴承安装槽内安装推力轴承；

旋转电机，其电机轴连接减速器Ⅱ；所述减速器Ⅱ的外壳穿过所述支撑板通孔后与安装通孔的边缘可拆卸连接；所述减速器Ⅱ的输出轴上固定连接输出杆；所述输出杆与推力轴承安装座的中部通过轴承Ⅰ连接；

旋转盘，其与所述输出杆的顶部固定连接；且所述旋转盘位于推力轴承安装座的上方并与推力轴承的上端固定连接；所述旋转盘的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆的夹具。

优选的是，所述可拆卸连接的方式为螺栓连接；所述旋转盘与夹具之间连接隔热板Ⅰ。

优选的是，还包括：散热风扇，其通过风扇安装板连接在支撑板的底部。

优选的是，所述工作载台的上方设置有隔热组合板Ⅰ；所述隔热组合板Ⅰ由两块隔热板Ⅱ拼接组成；所述隔热组合板Ⅰ的中部设置有条孔。

优选的是，两块所述隔热板Ⅱ包括：基础支撑板，其连接在工作载台的上方；以及依次连接在基础支撑板上的隔热棉、隔热板Ⅲ和镜面反射板。

优选的是，所述输出杆与述减速器Ⅱ的外壳的内壁之间通过轴承Ⅱ连接。

优选的是，所述支撑板的侧面的两端设置有摆动行程开关，所述摆动滑台的侧面上设置有摆动限位块，所述摆动限位块位于摆动行程开关之间；且所述支撑板的两端设置有机械限位块。

优选的是，所述支撑板的侧面设置有光电限位开关；所述光电限位开关包括：连接在支撑板上的光电限位开关安装板、连接在光电限位开关安装板中部及两端的光电传感器；接近开关感应片，其一端连接在摆动滑台上，另一端可随摆动滑台摆动至光电传感器的感应部内。

本实用新型至少包括以下有益效果：

(1)本实用新型采用在推力轴承安装座的推力轴承安装槽内安装推力轴承，该推力轴承的结构更加稳定，旋转过程更加平稳，合成出的石英玻璃结构更均匀。

(2)通过设置隔热组合板Ⅰ，采用多层结构的隔热Ⅱ，实现对旋转摆动台更优的隔热效果。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明：

图1为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的整体结构示意图；

图2为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的另一视角的整体结构示意图；

图3为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的另一视角的整体结构示意图；

图4为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的局部结构示意图；

图5为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的另一视角的局部结构示意图；

图6为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的局部剖面结构示意图；

图7为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的光电限位开关的结构示意图；

图8为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的摆动行程开关的结构示意图；

图9为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的摆动滑台的结构示意图；

图10为本实用新型的制坨机的旋转摆动台的工作载台的结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

图1～10示出了本实用新型的一种制坨机的旋转摆动台，包括：

工作载台1，其内设置有支撑板10；所述支撑板10上设置有平行的水平导轨100；所述支撑板10上设置有支撑板通孔101；

摆动滑台2，其与平行的水平导轨10通过滑块102连接；所述摆动滑台2的底部通过摆动丝杠螺帽座20连接有丝杠21；所述摆动滑台2的中部设置有安装通孔22；

摆动电机3，其电机轴连接减速器Ⅰ30，减速器Ⅰ30连接在工作载台1的侧板11上与丝杠21的一端连接；所述丝杠21的另一端通过丝杠支撑座210连接在支撑板10的上部；所述摆动滑台2的底部连接摆动丝杠螺帽座20，摆动丝杠螺帽座20与丝杠21相配合连接；

推力轴承安装座4，其可拆卸连接在摆动滑台2的中部且与安装通孔22同轴设置；所述推力轴承安装座4的上端设置有推力轴承安装槽40；所述推力轴承安装槽40内安装推力轴承41；

旋转电机5，其电机轴连接减速器Ⅱ50；所述减速器Ⅱ50的外壳51穿过所述支撑板10通孔后与安装通孔22的边缘可拆卸连接；所述减速器Ⅱ50的输出轴上固定连接输出杆52；所述输出杆52与推力轴承安装座4的中部通过轴承Ⅰ53连接；

旋转盘6，其与所述输出杆52的顶部固定连接；且所述旋转盘6位于推力轴承安装座4的上方并与推力轴承41的上端固定连接；所述旋转盘6的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆的夹具的底板7。

在这种技术方案中，推力轴承安装座用于承受旋转盘及其以上结构(夹具、基础杆、沉积产品等)的重量，避免减速器Ⅱ承受过大负载；将用于沉积石英玻璃的基础杆夹持在夹具上，通过控制摆动电机转动，从而带动丝杠转动，与丝杠相匹配连接的摆动丝杠螺帽座进行滑动，与摆动丝杠螺帽座连接的摆动滑台在平行的水平导轨和滑块作用下实现水平滑动动，并通过控制摆动滑台左右滑动以实现摆动动作；同时通过控制旋转电机转动，从而带动输出杆转动，并使旋转盘在推力轴承的支撑下在推力轴承上进行转动；采用在推力轴承安装座的推力轴承安装槽内安装推力轴承，该推力轴承的结构更加稳定，旋转过程更加平稳，合成出的石英玻璃结构更均匀；并且可以在推力轴承安装槽内注入润滑油，可以保证推力轴承的稳定旋转。

在上述技术方案中，所述可拆卸连接的方式为螺栓连接；所述旋转盘6与夹具7之间连接隔热板Ⅰ8。采用隔热板Ⅰ可以对旋转盘进行隔热保护，防止高温对旋转盘的损伤。

在上述技术方案中，还包括：散热风扇9，其通过风扇安装板连接在支撑板的底部。采用散热风扇对支撑板下方的相关结构进行散热。

在上述技术方案中，所述工作载台1的上方设置有隔热组合板Ⅰ200；所述隔热组合板Ⅰ200由两块隔热板Ⅱ201拼接组成；所述隔热组合板Ⅰ200的中部设置有条孔202。由于制坨机在使用过程中，需要高温进行沉积，因此采用隔热组合板Ⅰ可以对旋转摆动台的相关部件进行高温防护，并可以防止石英玻璃合成过程中掉下的残渣进入旋转摆动台，起到隔热作用，防止高温环境对旋转摆动台的相关部件的损伤；条孔202可以使摆动滑台上的夹具及基础杆等结构的水平摆动不受影响。

在上述技术方案中，两块所述隔热板Ⅱ201包括：基础支撑板203，其连接在工作载台1的上方；以及依次连接在基础支撑板上的隔热棉204、隔热板Ⅲ205和镜面反射板206。

在这种技术方案中，由于制坨机的工作环境是高温环境，因此通过设置隔热组合板Ⅰ进行隔热，采用多层隔热板隔热的方式，使旋转摆动台能够适应长期在高温环境中正常运行，并且采用的镜面反射板即不锈钢板，可以达到反射辐射热的作用，实现了隔传导热与反射辐射热为一体的制砣机隔热防护系统，其能够有效的对旋转摆动台起到防护作用。

在上述技术方案中，所述输出杆52与述减速器Ⅱ50的外壳51的内壁之间通过轴承Ⅱ54连接。采用这种方式，可以保证输出杆的输出稳定性。

在上述技术方案中，所述支撑板10的侧面的两端设置有摆动行程开关300，所述摆动滑台2的侧面上设置有摆动限位块301，所述摆动限位块301位于摆动行程开关300之间；且所述支撑板10的两端设置有机械限位块302；通过设置摆动行程开关，当摆动滑台在可能失控的情况下，摆动限位块与摆动行程开关接触，可以通过摆动行程开关(与制坨机控制系统连接)关闭摆动电机，实现了对设备的保护；机械限位块可以在摆动滑台可能失控的情况下进行机械限位。

在上述技术方案中，所述支撑板10的侧面设置有光电限位开关400；所述光电限位开关400包括：连接在支撑板10上的光电限位开关安装板401、连接在光电限位开关安装板中部及两端的光电传感器402(其与制坨机的控制系统连接)；接近开关感应片403，其一端连接在摆动滑台2上，另一端可随摆动滑台2摆动至光电传感器402的感应部404内。通过设置光电限位开关，可以对摆动滑台的左右摆动进行控制，接近开关感应片随着摆动滑台进行左右摆动，并依次经过安装在光电限位开关安装板上的三个光电传感器(两端各一个，中间一个)，当接近开关感应片经过两端的光电传感器的感应部时，通过控制系统对摆动电机进行控制，改变转动方向，向反方向转动，进而实现对摆动滑台的滑动控制，同时通过设定控制系统参数，当接近开关感应片经过端部的光电传感器后在实现转换方向的同时，加速到达中部的光电传感器，然后通过中部的光电传感器控制摆动电机减速，到达另一个端部的光电传感器。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (8)

1.一种制坨机的旋转摆动台，其特征在于，包括：

工作载台，其内设置有支撑板；所述支撑板上设置有平行的水平导轨；所述支撑板上设置有支撑板通孔；

摆动滑台，其与平行的水平导轨通过滑块连接；所述摆动滑台的底部通过摆动丝杠螺帽座连接有丝杠；所述摆动滑台的中部设置有安装通孔；

摆动电机，其电机轴连接减速器Ⅰ，减速器Ⅰ连接在工作载台的侧板上与丝杠的一端连接；所述丝杠的另一端通过丝杠支撑座连接在支撑板的上部；所述摆动滑台的底部连接摆动丝杠螺帽座，摆动丝杠螺帽座与丝杠相配合连接；

推力轴承安装座，其可拆卸连接在摆动滑台的中部且与安装通孔同轴设置；所述推力轴承安装座的上端设置有推力轴承安装槽；所述推力轴承安装槽内安装推力轴承；

旋转电机，其电机轴连接减速器Ⅱ；所述减速器Ⅱ的外壳穿过所述支撑板通孔后与安装通孔的边缘可拆卸连接；所述减速器Ⅱ的输出轴上固定连接输出杆；所述输出杆与推力轴承安装座的中部通过轴承Ⅰ连接；

旋转盘，其与所述输出杆的顶部固定连接；且所述旋转盘位于推力轴承安装座的上方并与推力轴承的上端固定连接；所述旋转盘的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆的夹具。

2.如权利要求1所述的制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述可拆卸连接的方式为螺栓连接；所述旋转盘与夹具之间连接隔热板Ⅰ。

3.如权利要求1所述的制坨机的旋转摆动台，其特征在于，还包括：散热风扇，其通过风扇安装板连接在支撑板的底部。

4.如权利要求1所述的制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述工作载台的上方设置有隔热组合板Ⅰ；所述隔热组合板Ⅰ由两块隔热板Ⅱ拼接组成；所述隔热组合板Ⅰ的中部设置有条孔。

5.如权利要求4所述的制坨机的旋转摆动台，其特征在于，两块所述隔热板Ⅱ包括：基础支撑板，其连接在工作载台的上方；以及依次连接在基础支撑板上的隔热棉、隔热板Ⅲ和镜面反射板。

6.如权利要求1所述的制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述输出杆与述减速器Ⅱ的外壳的内壁之间通过轴承Ⅱ连接。

7.如权利要求1所述的制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述支撑板的侧面的两端设置有摆动行程开关，所述摆动滑台的侧面上设置有摆动限位块，所述摆动限位块位于摆动行程开关之间；且所述支撑板的两端设置有机械限位块。

8.如权利要求1所述的制坨机的旋转摆动台，其特征在于，所述支撑板的侧面设置有光电限位开关；所述光电限位开关包括：连接在支撑板上的光电限位开关安装板、连接在光电限位开关安装板中部及两端的光电传感器；接近开关感应片，其一端连接在摆动滑台上，另一端可随摆动滑台摆动至光电传感器的感应部内。

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