CN211118744U - 一种用于pvd设备的特气导入接头 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于PVD设备的特气导入接头，涉及PVD设备技术领域，包括与密闭腔体B预留接口密封连接的第一接头、与密闭腔体A的外壁密封连接的孔法兰和与特殊气体输出端密封连接的第二接头，所述第一接头的右端与所述孔法兰密封连接，所述第二接头的左端与所述孔法兰密封连接，所述第一接头、所述孔法兰和所述第二接头联通形成可通气的通道；采用本实用新型提供的特气导入接头，可以实现在不打开密闭腔体A的情况下，实现对密闭腔体B的特殊气体的更换或填充操作，不仅可大幅提升PVD设备的生产效率，还可有效节约特殊气体资源和能源消耗。

Description

一种用于PVD设备的特气导入接头

技术领域

本实用新型涉及PVD设备技术领域，特别涉及一种用于PVD设备的特气导入接头。

背景技术

现有的PVD设备，根据工艺需要，设置有多个密闭腔体，各个密闭腔体之间相互隔离，填充有不同介质，以便实现不同的加工效果。其中一种PVD设备，在密闭腔体A内部设置有单独的密闭腔体B，密闭腔体B与密闭腔体A无共用腔体壁，密闭腔体A和密闭腔体B相互隔离。上述情况下，如要向密闭腔体B中充入特殊气体，需要首先打开密闭腔体A，才能实现对密闭腔体B的气体填充。上述情况，一方面会大幅降低生产效率，另一方面，还会造成资源和能源的大量浪费。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于PVD设备的特气导入接头，可有效提升PVD设备的生产效率，节约特殊气体资源和能源。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

本实用新型提供一种用于PVD设备的特气导入接头，包括与密闭腔体B预留接口密封连接的第一接头、与密闭腔体A的外壁密封连接的孔法兰和与特殊气体输出端密封连接的第二接头，所述第一接头的右端与所述孔法兰密封连接，所述第二接头的左端与所述孔法兰密封连接，所述第一接头、所述孔法兰和所述第二接头联通形成可通气的通道。

上述方案的进一步方案为，所述第一接头与密闭腔体B预留接口的连接方式为卡接，所述第二接头与所述特殊气体输出端的连接方式为卡接。

上述方案的进一步方案为，所述第一接头包括第一通气管、第一封头和第一螺母，所述第一封头沿所述第一通气管延伸方向可移动的套设于第一通气管，所述第一螺母固定套设于所述第一通气管的中间区域。

上述方案的进一步方案为，所述第一封头位于所述第一通气管的左端区域。

上述方案的进一步方案为，所述第二接头包括第二通气管、第二封头和第二螺母，所述第二封头沿所述第二通气管延伸方向可移动的套设于第二通气管，所述第二螺母固定套设于所述第二通气管的中间区域。

上述方案的进一步方案为，所述第二封头位于所述第二通气管的右端区域。

上述方案的进一步方案为，所述孔法兰的一面为凸起结构，另一面设有圆环形凹槽。

上述方案的进一步方案为，所述孔法兰具有圆环形凹槽的一面与密闭腔体A的外壁密封连接。

与现有技术相比，本实用新型提供的技术方案具有如下优点和有益效果：本实用新型提供一种用于PVD设备的特气导入接头，包括与密闭腔体B预留接口密封连接的第一接头、与密闭腔体A的外壁密封连接的孔法兰和与特殊气体输出端密封连接的第二接头，所述第一接头的右端与所述孔法兰密封连接，所述第二接头的左端与所述孔法兰密封连接，所述第一接头、所述孔法兰和所述第二接头联通形成可通气的通道；采用本实用新型提供的特气导入接头，可以实现在不打开密闭腔体A的情况下，实现对密闭腔体B的特殊气体的更换或填充操作，不仅可大幅提升PVD设备的生产效率，还可有效节约特殊气体资源和能源消耗。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例中特气导入接头的立体图；

图2为实施例中特气导入接头的右视图；

图3为实施例中第一接头的主视图；

图4为实施例中第二接头的主视图。

图中：100-特气导入接头；1-第一接头；11-第一通气管；12-第一封头；13-第一螺母；2-孔法兰；21-圆环形凹槽；3-第二接头；31-第二通气管；32-第二封头；33-第二螺母；4-通道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“水平”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“安装”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例

如图1-4所示，本实用新型提供本实用新型提供一种用于PVD设备的特气导入接头100，包括与密闭腔体B预留接口密封连接的第一接头1、与密闭腔体A的外壁密封连接的孔法兰2和与特殊气体输出端密封连接的第二接头3，所述第一接头1的右端与所述孔法兰2密封连接，所述第二接头3的左端与所述孔法兰2密封连接，所述第一接头1、所述孔法兰2和所述第二接头3联通形成可通气的通道4。

在向密闭腔体B需要更换或填充特殊气体时，不需要再对密闭腔体B外围的密闭腔体A进行打开操作，可直接对将特殊气体气源输出端与第二接头卡接，特殊气体通过第二接头、孔法兰和第一接头形成的通道直接进入密闭腔体B中，实现对密闭腔体B中特殊气体的填充或更换。

本实施例中，所述第一接头1与密闭腔体B预留接口的连接方式为卡接，所述第二接头3与所述特殊气体输出端的连接方式为卡接。

卡接的连接方式，具有连接快速方便和密封性能好的优点，可以提升换气或充气操作的工作效率。

本实施例中，所述第一接头1包括第一通气管11、第一封头12和第一螺母13，所述第一封头12沿所述第一通气管11延伸方向可移动的套设于第一通气管11，所述第一螺母13固定套设于所述第一通气管11的中间区域。

本实施例中，所述第一封头12位于所述第一通气管11的左端区域。

本实施例中，所述第二接头3包括第二通气管31、第二封头32和第二螺母33，所述第二封头32沿所述第二通气管31延伸方向可移动的套设于第二通气管31，所述第二螺母33固定套设于所述第二通气管31的中间区域。

本实施例中，所述第二封头32位于所述第二通气管31的右端区域。

本实施例中，所述孔法兰2的一面为凸起结构，另一面设有圆环形凹槽21。

本实施例中，所述孔法兰2具有圆环形凹槽的一面与密闭腔体A的外壁密封连接。

本实施例提供的特气导入接头，与现有技术相比，具有如下优点和有益效果：

1、采用本实施例提供的特气导入接头，可实现对密闭腔体B内特殊气体的直接更换和填充，可大幅提升PVD设备的工作效率，同时降低能源消耗

2、第一接头和第二接头采用卡接连接方式，可以极大提升连接操作的工作效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，包括与密闭腔体B预留接口密封连接的第一接头、与密闭腔体A的外壁密封连接的孔法兰和与特殊气体输出端密封连接的第二接头，所述第一接头的右端与所述孔法兰密封连接，所述第二接头的左端与所述孔法兰密封连接，所述第一接头、所述孔法兰和所述第二接头连通形成可通气的通道。

2.根据权利要求1所述的用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，所述第一接头与密闭腔体B预留接口的连接方式为卡接，所述第二接头与所述特殊气体输出端的连接方式为卡接。

3.根据权利要求1所述的用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，所述第一接头包括第一通气管、第一封头和第一螺母，所述第一封头沿所述第一通气管延伸方向可移动套设于第一通气管，所述第一螺母固定套设于所述第一通气管的中间区域。

4.根据权利要求3所述的用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，所述第一封头位于所述第一通气管的左端区域。

5.根据权利要求1所述的用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，所述第二接头包括第二通气管、第二封头和第二螺母，所述第二封头沿所述第二通气管延伸方向可移动套设于第二通气管，所述第二螺母固定套设于所述第二通气管的中间区域。

6.根据权利要求5所述的用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，所述第二封头位于所述第二通气管的右端区域。

7.根据权利要求1所述的用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，所述孔法兰的一面为凸起结构，另一面设有圆环形凹槽。

8.根据权利要求7所述的用于PVD设备的特气导入接头，其特征在于，所述孔法兰具有圆环形凹槽的一面与密闭腔体A的外壁密封连接。

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