CN211103452U - 一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件 - Google Patents
一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，其涉及半导体芯片设备领域，旨在解决一般的晶圆抛光机研磨头没有清洗组件导致研磨机内部不干净，微颗粒居多缩短机器的实用寿命的问题。包括有底座、固定杆、喷嘴、水管、气动阀，所述固定杆与底座之间采用焊接，所述喷嘴通过紧固件固定连接在固定杆上且可拆卸，所述水管的一端连接在喷嘴的底部，所述水管的另一端连接有气动阀。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体芯片设备领域，具体涉及一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件。
背景技术
现在技术中目前国内主要的8英寸CMP设备主流是美国应用材料公司生产的mirramesa，但是原厂目前已经基本不生产8英寸的cmp设备，而国内的8英寸晶圆厂对cmp仍然有较高的需求，研发国内自主的cmp设备迫在眉睫。
我们的研发能满足国内8英寸芯片厂的需求，制造国内自主的抛光机研磨头清洗组件，避免国外厂家的设备垄断。
实用新型内容
本实用新型提供一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，以解决现有技术存在的一般的晶圆抛光机研磨头没有清洗组件导致研磨机内部不干净，微颗粒居多缩短机器的实用寿命的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于晶圆抛光机研磨头清洗组件，包括有底座、固定杆、喷嘴、水管、气动阀，所述固定杆与底座之间采用焊接，所述喷嘴通过紧固件固定连接在固定杆上且可拆卸，所述水管的一端连接在喷嘴的底部，所述水管的另一端连接有气动阀。
优选的，所述喷嘴与固定杆之间通过固定块连接，所述固定块与喷嘴之间可拆卸连接，所述固定块上设有圆形孔便于套设在固定杆上。
优选的，所述喷嘴可多角度调节，所述喷嘴可通过电脑对其操控。
优选的，所述气动阀由相应控制软件控制。
本实用新型带来的有益效果：
(1)本实用新型能够调节清洗的角度，实现最优化的清洗效果；
(2)本实用新型能够自动化程度较高的清洗操作，通过软件控制整个清洗提高生产效率，降低生产成本。
附图说明
图1是根据本实用新型用于晶圆抛光机研磨头清洗组件整体示意图；
其中，1-底座、2-固定杆、3-喷嘴、4-水管、5-气动阀、6-固定块。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合具体实施例，对本实用新型作进一步地详细说明。
如图1所示，本实用新型实施提供了一种用于晶圆抛光机研磨头清洗组件，包括有底座、固定杆、喷嘴、水管、气动阀，所述固定杆与底座之间采用焊接，所述喷嘴通过紧固件固定连接在固定杆上且可拆卸，所述水管的一端连接在喷嘴的底部，所述水管的另一端连接有气动阀，便于控制水管对喷嘴的供水。
进一步来说，所述喷嘴与固定杆之间通过固定块连接，所述固定块与喷嘴之间可拆卸连接，所述固定块上设有圆形孔便于套设在固定杆上，喷嘴在固定杆上的高度可调节。
进一步来说，所述喷嘴可多角度调节，所述喷嘴可通过电脑对其操控，提高生产效率。
进一步来说，所述气动阀由相应控制软件控制。
综上所述，本实用新型能够调节清洗的角度，实现最优化的清洗效果，能够自动化程度较高的清洗操作，通过软件控制整个清洗提高生产效率，降低生产成本。
需要注意的是，本实用新型中使用的多种标准件均是可以从市场上得到的，非标准件则是可以特别定制，本实用新型所采用的连接方式比如螺栓连接、焊接等也是机械领域中非常常见的手段，发明人在此不再赘述。
以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围。
Claims (4)
1.一种用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，包括有底座(1)、固定杆(2)、喷嘴(3)、水管(4)、气动阀(5)，其特征在于，所述固定杆(2)与底座(1)之间采用焊接，所述喷嘴(3)通过紧固件固定连接在固定杆(2)上且可拆卸，所述水管(4)的一端连接在喷嘴(3)的底部，所述水管(4)的另一端连接有气动阀(5)。
2.如权利要求1所述用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，其特征在于，所述喷嘴(3)与固定杆(2)之间通过固定块(6)连接，所述固定块(6)与喷嘴(3)之间可拆卸连接，所述固定块(6)上设有圆形孔便于套设在固定杆(2)上。
3.如权利要求1所述用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，其特征在于，所述喷嘴(3)可多角度调节，所述喷嘴(3)可通过电脑对其操控。
4.如权利要求1所述用于晶圆抛光机研磨头清洗的组件，其特征在于，所述气动阀(5)由相应控制软件控制。
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