CN211013263U - 一种微波单光子探测器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种微波单光子探测器包括：微波信号源、微波泵浦源、电‑光‑力转换器、超低温制冷机、光泵浦源、光频单光子探测器、数据分析终端和电源，本实用新型依靠电‑光‑力转换器产生的微波光子‑机械声子‑光波光子强耦合，将微波光子有效地转换成光波光子，并使用成熟高效的光频单光子探测器进行探测，借助强耦合支配下的微波光子‑光波光子间的一一对应关系，实现对于微波单光子的准确有效的探测，从而为在微波频段实现对量子现象的观测及量子非经典特性的应用提供了新的选择。

Description

一种微波单光子探测器

技术领域

本实用新型涉及微波单光子探测领域，具体涉及一种基于微波光子和机械声子的微波单光子探测器。

背景技术

微波信号在经典通信、导航、雷达、成像等领域应用广泛，这些应用主要利用的是微波信号的波动性。随着量子力学的建立，量子非经典特性使得许多经典应用的性能得到了极大地提升。对于载体而言，由于光波光子能量高，在常温下即可很容易地同环境中的噪声光子相区分，故许多量子现象的制备和观测都在光频段率先实现，而微波光子的能量比光波光子低三个数量级，常温下难以同噪声光子相区分，故微波单光子的探测较难，从而使得微波频段的量子现象的观测、量子非经典性质的应用难以实现。因此，实现微波单光子探测迫切而必要。

围绕微波单光子的探测问题，研究人员提出了众多方案，这些方案无一例外地都采用超低温环境，但仍然受到超低温环境中存在的噪声光子的影响，使得其探测效率较低。近年来，腔光力学中出现了对于电-光-力转换器的研究，这种转换器可以有效地实现微波光子-机械声子-光波光子强耦合，从而实现微波光子和光波光子之间的高效转换。利用这种性质，可以将微波光子转换为光波光子后，利用成熟高效的光频单光子探测器探测，由于强耦合作用下的一一对应，该过程等同于实现了对微波单光子的高效探测。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种微波单光子探测器，包括微波信号源、微波泵浦源、电-光-力转换器、超低温制冷机、光泵浦源、光频单光子探测器、数据分析终端及电源，电-光-力转换器位于超低温制冷机内部，微波信号源通过导线穿过超低温制冷机连接电-光-力转换器的微波脉冲信号输入端口，微波泵浦源通过导线穿过超低温制冷机连接电-光-力转换器的微波泵浦输入端口，光泵浦源通过光纤线穿过超低温制冷机连接电-光-力转换器的光泵浦输入端口，电-光-力转换器通过光脉冲信号输出端口输出至光纤线，光纤线穿过超低温制冷机连接光频单光子探测器，光频单光子探测器输出至数据分析终端；微波信号源产生微波脉冲信号，微波泵浦源产生微波，电-光-力转换器实现微波光子到光波光子的转换，超低温制冷机为电-光-力转换器提供低温工作环境，光泵浦源提供光波的光子,光频单光子探测器用以探测经电-光-力转换器转换后输出的光频段光子，数据分析终端是计算机，电源为其他部件提供工作电压。

进一步的，微波信号源产生的单个微波脉冲内光子数目低于10大于等于1，电-光-力转换器输入信号为微波脉冲信号、微波泵浦、光泵浦，输出信号为光脉冲信号，超低温制冷机产生mK级别超低温。

进一步的，电-光-力转换器包括硅基集成芯片基座、微纳光纤连接线、超导微波传输线、光腔固定腔镜、超导微波电路、薄膜型纳米机械振子，镜圈，其中光腔固定腔镜和薄膜型纳米机械振子构成法布里—珀罗光腔，超导微波电路和薄膜型纳米机械振子构成超导微波腔，薄膜型纳米机械振子为电介质薄膜，镜圈为没有顶部的空心圆柱，光腔固定腔镜为圆形刚性镜，硅基集成芯片基座上安装微波脉冲信号输入端口、微波泵浦输入端口、光泵浦输入端口和光脉冲信号输出端口；微波脉冲信号输入端口通过超导微波传输线连接超导微波电路电容端，微波泵浦输入端口通过超导微波传输线连接超导微波电路电感端；超导微波电路位于镜圈中部，薄膜型纳米机械振子位于镜圈顶部，光腔固定腔镜通过微纳光纤连接线穿过镜圈底部，分别连接光泵浦输入端口和光脉冲信号输出端口，微纳光纤连接线)与光泵浦输入端口及光脉冲信号输出端口套接，微纳光纤连接线与光腔固定腔镜耦接。

进一步的，超导微波电路为圆环片状结构，中间为圆形空心，芯片基座上以贴片形式附着LC谐振回路，LC谐振回路包括电容固定极板、电感、超导微波传输线、超导微波电路电容端和超导微波电路电感端。

进一步的，其中超导微波电路电容端为纳米级微波波导，电容固定极板位于微波脉冲信号输入端口附近，超导微波电路电感端与一个感性贴片耦合，并与电感共同构成一个互感器，将微波泵浦输入到超导微波腔谐振回路中。

进一步的，超导微波传输线将微波脉冲信号和微波泵浦从微波脉冲信号输入端口和微波泵浦输入端口端口通过超导微波电路电容端以及超导微波电路电感端输入到超导微波腔内，超导微波传输线(与端口及超导微波腔均套接，超导微波腔、F—P光腔、纳米薄膜型机械振子相互套接。

进一步的，超低温制冷机为椭圆柱状封闭式结构，外部为透明玻璃罩，内部为制冷结构，电-光-力转换器被完全包围于其中，并以金属架支撑。

进一步的，微波信号源经波导衰减产生4光子/脉冲的强衰减微波脉冲信号，脉冲频率展宽为2MHz，超低温制冷机采用美国Janis公司的JDR-500型超高真空稀释制冷机，光频单光子探测器采用SNSPD超导纳米线单光子探测器，数据分析终端采用的是联想启天M4300计算机。

进一步的，超导微波腔腔模、薄膜型纳米机械振子谐振模、法布里—珀罗光腔腔模的频率分别为10GHz、10MHz和10THz，超导微波腔和法布里—珀罗光腔的泵浦功率分别为35mW、5mW，微波光子—声子耦合速率、光波光子—声子耦合速率分别为10.14Hz、289.75Hz，微波腔和光腔的频率失谐量均等于薄膜型纳米机械振子谐振模的角频率，超导微波腔腔和法布里—珀罗光腔损耗速率分别为0.2倍薄膜型纳米机械振子谐振模的角频率和0.1倍薄膜型纳米机械振子谐振模的角频率；薄膜型纳米机械振子的半径、厚度、品质因数、质量分别为10nm、1nm、30×10⁴、10ng，法布里—珀罗的腔长为1μm，腔镜镜圈高为0.5μm，硅基集成芯片基座长宽均为2μm、高0.5μm，超低温制冷机所提供的工作温度为40mK，电源输入为220V交流市电。

进一步的，参量放大器位于超导微波腔内和法布里—珀罗光腔中。

本实用新型依靠电-光-力转换器产生的微波光子-机械声子-光波光子强耦合，将微波光子有效地转换成光波光子，并使用成熟高效的光频单光子探测器进行探测，借助强耦合支配下的微波光子-光波光子间的一一对应关系，实现对于微波单光子的准确有效的探测，从而为在微波频段实现对量子现象的观测及量子非经典特性的应用提供了新的选择。

附图说明

图1为本实用新型组成结构示意图；

图2为本实用新型中的电-光-力转换器的组成结构图；

图3为本实用新型中超导微波腔的组成结构图；

图4为本实用新型中电-光-力转换器的输入微波脉冲、输出光脉冲的脉冲波形对比图；

图5为本实用新型探测效率与协同参数Γ_O、Γ_M的等高线关系图。

附图标记说明：

1、微波信号源；2、微波泵浦源；3、电-光-力转换器；4、超低温制冷机；5、光泵浦源；6、光频单光子探测器；7、数据分析终端；8、电源；31、硅基集成芯片基座；32、微纳光纤连接线；33、超导微波传输线；34、光腔固定腔镜；35、超导微波电路；36、薄膜型纳米机械振子；351、芯片基座；352、微波脉冲信号输入端口；353、电容固定极板；354、圆孔；355、电感；356、微波泵浦输入端口；光泵浦输入端口357和光脉冲信号输出端口358；3521、超导微波电路电容端；3561、超导微波电路电感端。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案以及优势更加明晰，下面结合附图和实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。

如图1所示，一种微波单光子探测器包括：微波信号源1、微波泵浦源2、电-光-力转换器3、超低温制冷机4、光泵浦源5、光频单光子探测器6、数据分析终端7和电源8，其中电-光-力转换器3位于超低温制冷机4内部，微波信号源1通过导线穿过超低温制冷机4连接电-光-力转换器3的微波脉冲信号输入端口352，微波泵浦源2通过导线穿过超低温制冷机4连接电-光-力转换器3的微波泵浦输入端口356，光泵浦源5通过光纤线穿过超低温制冷机4连接电-光-力转换器3的光泵浦输入端口357，电-光-力转换器3通过光脉冲信号输出端口358输出至光纤线，光纤线穿过超低温制冷机4连接光频单光子探测器6，光频单光子探测器6输出至数据分析终端7，电源8为其他部件提供工作电压。

微波信号源1产生强衰减的微波脉冲信号，其产生的单个微波脉冲内光子数目低于10大于等于1；微波泵浦源2为转换过程顺利进行提供微波；电-光-力转换器3实现微波光子到光波光子的转换，其输入信号为微波脉冲信号、微波泵浦、光泵浦，输出信号为光脉冲信号；超低温制冷机4产生mK级别超低温，可以抑制热噪声和激发声子，为电-光-力转换器3实现高效、低噪的转换提供工作环境；光泵浦源5为转换过程顺利进行提供光波的光子；光频单光子探测器6用以探测经电-光-力转换器3转换后输出的光频段光子；数据分析终端7是用以分析探测过程中的各项性能参数的计算机。

电-光-力转换器3是本实用新型的核心部件，其具体结构如图2所示，包括：硅基集成芯片基座31、微纳光纤连接线32、超导微波传输线33、光腔固定腔镜34、超导微波电路35、薄膜型纳米机械振子36，镜圈37，其中光腔固定腔镜34和薄膜型纳米机械振子36构成法布里—珀罗光腔，超导微波电路35和薄膜型纳米机械振子36构成超导微波腔，薄膜型纳米机械振子36为电介质薄膜，受到光压将做类似鼓膜的机械振动，其既是法布里—珀罗光腔的可移动腔镜，也是超导微波腔中电容的可移动极板，其谐振过程可以同时改变超导微波腔的电容、F—P腔的腔长，进而改变两个腔模的频率，形成光子-声子-光子的相互作用，实现微波光子-光波光子的转换；镜圈37为没有顶部的空心圆柱，光腔固定腔镜34为圆形刚性镜，硅基集成芯片基座31上安装微波脉冲信号输入端口352、微波泵浦输入端口356、光泵浦输入端口357和光脉冲信号输出端口358；微波脉冲信号输入端口352通过超导微波传输线33连接超导微波电路电容端3521，微波泵浦输入端口356通过超导微波传输线33连接超导微波电路电感端3561；超导微波电路35位于镜圈37中部，薄膜型纳米机械振子36位于镜圈37顶部，光腔固定腔镜34通过微纳光纤连接线32穿过镜圈37底部，分别连接光泵浦输入端口357和光脉冲信号输出端口358。微纳光纤连接线32与光泵浦输入端口357及光脉冲信号输出端口358套接，微纳光纤连接线32与光腔固定腔镜34耦接。

超导微波电路35结构如图3所示，其为圆环片状结构，中间的圆形空心使得法布里—珀罗光腔内光场通过并与薄膜型纳米机械振子36产生作用，芯片基座351上以贴片形式附着LC谐振回路，包括电容固定极板353、电感355、超导微波传输线33、超导微波电路电容端3521以及超导微波电路电感端3561，其中超导微波电路电容端3521为纳米级微波波导，电容固定极板353位于超导微波电路电容端3521附近，超导微波电路电感端3561与一个感性贴片耦合，并与电感355共同构成一个互感器，将微波泵浦输入到超导微波腔谐振回路中。

超导微波传输线33将微波脉冲信号和微波泵浦从微波脉冲信号输入端口352和微波泵浦输入端口356端口通过超导微波电路电容端3521以及超导微波电路电感端3561输入到超导微波腔内，超导微波传输线33与端口及超导微波腔均套接；超导微波腔、F—P光腔、纳米薄膜型机械振子36相互套接。电-光-力转换器3的输入信号为微波脉冲信号、微波泵浦、光泵浦，输出信号为光脉冲信号。

超低温制冷机4能够创造mK级别超低温，为电-光-力转换器实现高效、低噪的转换提供保障，抑制热噪声和激发声子，其为椭圆柱状封闭式结构，外部为透明玻璃罩，内部为制冷结构，电-光-力转换器3被完全包围于其中，并以金属架支撑。

泵浦源包括微波泵浦源、光泵浦源，其作用是为腔内转换过程顺利进行提供足够多的微波/光波的光子，同时其与腔频率的失谐量决定了腔内作用的类型。

光频单光子探测器用以探测经电-光-力转换器转换后输出的光频段光子，要求其暗记数率低、计数率高、探测效率高。

数据分析终端是用以分析探测过程中的各项性能参数的计算机。

在本实用新型的一个具体实施例中：

微波信号源1经波导衰减产生4光子/脉冲的强衰减微波脉冲信号，接近1光子/脉冲的要求，脉冲频率展宽为2MHz；超低温制冷机4采用美国Janis公司的JDR-500型超高真空稀释制冷机，最低可以达到10mK的低温；光频单光子探测器6采用俄罗斯Scontel公司的高效SNSPD超导纳米线单光子探测器，在600nm-2300nm波长范围内达到90％以上的高效探测效率，暗计数在10cps以下，最高计数率大于50MHz；数据分析终端7采用的是联想启天M4300计算机，处理器(CPU)型号为Intel(R)Core(TM)i5-3470 CPU@3.20GHz，内存为4GB，显示适配器型号为AMD Radeon HD 7450 Graphics，数据分析软件为Origin 9.1。同时，相关参数还包括：超导微波腔腔模、薄膜型纳米机械振子36谐振模、法布里—珀罗光腔腔模的频率分别为10GHz、10MHz和10THz，超导微波腔和法布里—珀罗光腔的泵浦功率分别为35mW、5mW，微波光子—声子耦合速率、光波光子—声子耦合速率分别为10.14Hz、289.75Hz，微波腔和光腔的频率失谐量均等于机械振子谐振模的角频率，同时超导微波腔腔和法布里—珀罗光腔损耗速率分别为0.2倍薄膜型纳米机械振子36谐振模的角频率和0.1倍薄膜型纳米机械振子36谐振模的角频率。其他参数还包括：薄膜型纳米机械振子36的半径、厚度、品质因数、质量分别为10nm、1nm、30×10⁴、10ng，法布里—珀罗的腔长l，即光腔固定腔镜34与薄膜型纳米机械振子36间距，为1μm、腔镜镜圈37高为0.5μm，硅基集成芯片基座31长宽均为2μm、高0.5μm，超低温制冷机4所提供的工作温度为40mK，电源8输入为220V交流市电。

本实用新型所提出的微波单光子探测器是基于微波光子-机械声子-光波光子强耦合所带来的微波光子-光波光子转换而实现的，且该种强耦合借由腔光力学中的电-光-力转换器3产生，微波单光子探测器的结构示意图如图1所示。工作时，微波信号源1产生微波脉冲信号(4光子/脉冲)、微波泵浦源2产生的微波泵浦、光泵浦源5产生的光泵浦分别通过微波脉冲信号输入端口352、微波泵浦输入端口356、光泵浦输入端口357输入电-光-力转换器3，其中，微波脉冲信号经过微波脉冲信号输入端口352后由超导微波传输线33输入到超导微波腔电容端3521，从而注入超导微波腔谐振回路；微波泵浦经过端口356端口后由超导微波传输线33输入到超导微波腔电感端3561，经互感注入超导微波腔谐振回路；光泵浦经过端口357后由微纳光纤连接线32注入法布里—珀罗光腔的光腔固定腔镜34。注入的光信号通过圆孔354后到达薄膜型纳米机械振子36，使其受迫振动，薄膜型纳米机械振子36的振动同时也受超导微波电路35的控制，从而使得光学F-P腔的腔长(由光腔固定腔镜34和薄膜型纳米机械振子36决定)、超导微波腔的电容(由电容固定极板353和薄膜型纳米机械振子36决定)、薄膜型纳米机械振子36的位移(受光信号和微波信号的控制)相互作用，即腔内光学模式、腔内微波模式、机械振子谐振模式相互耦合，随着光信号在腔内往返传输，最终三种谐振模式达到平衡，微波光子—机械声子—光波光子转换稳定进行，产生的光脉冲信号从光腔固定腔镜34出射，经微纳光纤连接线32及光脉冲信号输出端口358输出。输出的光脉冲信号经光纤到达光频单光子探测器6进行探测，所获得的探测数据统一在数据分析终端7进行分析。至此，基于光子—声子—光子强耦合实现的微波单光子探测过程结束。

图4为电-光-力转换器3的输入微波脉冲、输出光脉冲的脉冲波形对比图，横坐标为约化脉冲频率，纵坐标为约化脉冲振幅，约化成光子数。从图中可以看出，输入的4个微波光子转换成了相同波形光脉冲中的4个光子，光子的转换率近乎1:1

图5为在不同协同参数对Γ_M、Γ_O下的探测效率图，横纵坐标为协同参数，这两个参数是电-光-力转换器3中的重要参数，其与腔的有效耦合强度、耗散速率有关，决定了微波—光的转换效率，进而决定了微波单光子探测器的探测效率，图中的曲线及数值就是探测效率，发现其随协同参数对的增加而升高，在本实施例下的探测效率等于其中所用的光频单光子探测器6的探测效率。

本实用新型还具有进一步优化探测性能的潜力，可以通过在超导微波腔内和法布里—珀罗光腔中加入参量放大器增大耦合强度，从而提高微波光子—光波光子的转换效率以及微波单光子探测器的探测效率。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种微波单光子探测器，包括微波信号源(1)、微波泵浦源(2)、电-光-力转换器(3)、超低温制冷机(4)、光泵浦源(5)、光频单光子探测器(6)、数据分析终端(7)及电源(8)，其特征在于：电-光-力转换器(3)位于超低温制冷机(4)内部，微波信号源(1)通过导线穿过超低温制冷机(4)连接电-光-力转换器(3)的微波脉冲信号输入端口(352)，微波泵浦源(2)通过导线穿过超低温制冷机(4)连接电-光-力转换器(3)的微波泵浦输入端口(356)，光泵浦源(5)通过光纤线穿过超低温制冷机(4)连接电-光-力转换器(3)的光泵浦输入端口(357)，电-光-力转换器(3)通过光脉冲信号输出端口(358)输出至光纤线，光纤线穿过超低温制冷机(4)连接光频单光子探测器(6)，光频单光子探测器(6)输出至数据分析终端(7)；微波信号源(1)产生微波脉冲信号，微波泵浦源(2)产生微波，电-光-力转换器(3)实现微波光子到光波光子的转换，超低温制冷机(4)为电-光-力转换器(3)提供低温工作环境，光泵浦源(5)提供光波的光子,光频单光子探测器(6)用以探测经电-光-力转换器(3)转换后输出的光频段光子，数据分析终端(7)是计算机，电源(8)为其他部件提供工作电压。

2.如权利要求1所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：微波信号源(1)产生的单个微波脉冲内光子数目低于10大于等于1，电-光-力转换器(3)输入信号为微波脉冲信号、微波泵浦、光泵浦，输出信号为光脉冲信号，超低温制冷机(4)产生mK级别超低温。

3.如权利要求1或2所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：电-光-力转换器(3)包括硅基集成芯片基座(31)、微纳光纤连接线(32)、超导微波传输线(33)、光腔固定腔镜(34)、超导微波电路(35)、薄膜型纳米机械振子(36)，镜圈(37)，其中光腔固定腔镜(34)和薄膜型纳米机械振子(36)构成法布里—珀罗光腔，超导微波电路(35)和薄膜型纳米机械振子(36)构成超导微波腔，薄膜型纳米机械振子(36)为电介质薄膜，镜圈(37)为没有顶部的空心圆柱，光腔固定腔镜(34)为圆形刚性镜，硅基集成芯片基座(31)上安装微波脉冲信号输入端口(352)、微波泵浦输入端口(356)、光泵浦输入端口(357)和光脉冲信号输出端口(358)；微波脉冲信号输入端口(352)通过超导微波传输线(33)连接超导微波电路电容端(3521)，微波泵浦输入端口(356)通过超导微波传输线(33)连接超导微波电路电感端(3561)；超导微波电路(35)位于镜圈(37)中部，薄膜型纳米机械振子(36)位于镜圈(37)顶部，光腔固定腔镜(34)通过微纳光纤连接线(32)穿过镜圈(37)底部，分别连接光泵浦输入端口(357)和光脉冲信号输出端口(358)，微纳光纤连接线(32)与光泵浦输入端口(357)及光脉冲信号输出端口(358)套接，微纳光纤连接线(32)与光腔固定腔镜(34)耦接。

4.如权利要求3所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：超导微波电路(35)为圆环片状结构，中间为圆形空心，芯片基座(351)上以贴片形式附着LC谐振回路，LC谐振回路包括电容固定极板(353)、电感(355)、超导微波传输线(33)以及超导微波电路电容端(3521)和超导微波电路电感端(3561)。

5.如权利要求4所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：其中超导微波电路电容端(3521)为纳米级微波波导，电容固定极板(353)位于微波脉冲信号输入端口(352)附近，超导微波电路电感端(3561)与一个感性贴片耦合，并与电感(355)共同构成一个互感器，将微波泵浦输入到超导微波腔谐振回路中。

6.如权利要求3所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：超导微波传输线(33)将微波脉冲信号和微波泵浦从微波脉冲信号输入端口(352)和微波泵浦输入端口(356)端口通过超导微波电路电容端(3521)以及超导微波电路电感端(3561)输入到超导微波腔内，超导微波传输线(33)与端口及超导微波腔均套接，超导微波腔、F—P光腔、纳米薄膜型机械振子(36)相互套接。

7.如权利要求3所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：超低温制冷机(4)为椭圆柱状封闭式结构，外部为透明玻璃罩，内部为制冷结构，电-光-力转换器(3)被完全包围于其中，并以金属架支撑。

8.如权利要求3所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：微波信号源(1)经波导衰减产生4光子/脉冲的强衰减微波脉冲信号，脉冲频率展宽为2MHz，超低温制冷机(4)采用美国Janis公司的JDR-500型超高真空稀释制冷机，光频单光子探测器(6)采用SNSPD超导纳米线单光子探测器，数据分析终端(7)采用的是联想启天M4300计算机。

9.如权利要求3所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：超导微波腔腔模、薄膜型纳米机械振子(36)谐振模、法布里—珀罗光腔腔模的频率分别为10GHz、10MHz和10THz，超导微波腔和法布里—珀罗光腔的泵浦功率分别为35mW、5mW，微波光子—声子耦合速率、光波光子—声子耦合速率分别为10.14Hz、289.75Hz，微波腔和光腔的频率失谐量均等于薄膜型纳米机械振子(36)谐振模的角频率，超导微波腔腔和法布里—珀罗光腔损耗速率分别为0.2倍薄膜型纳米机械振子(36)谐振模的角频率和0.1倍薄膜型纳米机械振子(36)谐振模的角频率；薄膜型纳米机械振子(36)的半径、厚度、品质因数、质量分别为10nm、1nm、30×10⁴、10ng，法布里—珀罗的腔长为1μm，腔镜镜圈(37)高为0.5μm，硅基集成芯片基座(31)长宽均为2μm、高0.5μm，超低温制冷机(4)所提供的工作温度为40mK，电源(8)输入为220V交流市电。

10.如权利要求3所述的一种微波单光子探测器，其特征在于：参量放大器位于超导微波腔内和法布里—珀罗光腔中。

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