CN210984700U - 一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，包括底座和弧形切割刀，所述底座的上端固定连接有一个操作台，所述操作台的上端四周分别活动连接有一个夹块，所述弧形切割刀位于操作台的中部上方，所述夹块的下端中部固定连接有一个滑动块，所述滑动块的下部活动连接有一个连接杆，所述底座的内壁下端中部固定连接有一个伸缩气泵，所述伸缩气泵的上端中部固定安装有一个伸缩杆，且连接杆的另一端与伸缩杆连接在一起。本实用新型所述的一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，通过设置一个弧形切割刀和一个操作台，能够有效提高弧面角的加工速度，缩短加工时间，保证固定的稳固性，大大提高了加工效率。

Description

一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具

技术领域

本实用新型涉及半导体刻蚀用石英环类产品机加工领域，特别涉及一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具。

背景技术

随着科技的发展，石英刻蚀环类的产品的应用领域越来越广,产品的种类也越来越多，国内技术起步较晚一直被国外垄断但近些年国内半导体行业发展迅速，市场发展潜力巨大，尤其是一些大型环类产品和大批量化的加工量也越来越多，而加工成本越来越高，利润的空间也越来越小；现有的传统半导体刻蚀用石英环产品的圆弧角加工是通过平底刀具分层进给的方式切削，圆弧角越大，加工时间越长，效率较低，并且现有的加工过程中对石英的固定不够稳固，容易在加工时产生晃动，影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，包括底座和弧形切割刀，所述底座的上端固定连接有一个操作台，所述操作台的上端四周分别活动连接有一个夹块，所述弧形切割刀位于操作台的中部上方，所述夹块的下端中部固定连接有一个滑动块，所述滑动块的下部活动连接有一个连接杆，所述底座的内壁下端中部固定连接有一个伸缩气泵，所述伸缩气泵的上端中部固定安装有一个伸缩杆，且连接杆的另一端与伸缩杆连接在一起。

优选的，所述操作台的上端四周分别开有一个活动槽，所述活动槽的内壁前端和后端分别开有一个卡槽，所述滑动块的前端和后端的上部分别固定连接有一个卡条，所述卡条位于卡槽内将夹块活动安装在操作台的上端。

优选的，所述滑动块的前端和后端的下部分别设置有一个活动轴，所述活动轴与滑动块为一体结构，所述连接杆的上端和下端分别开有一个连接槽，所述连接槽的内壁前端和后端分别均开有一个活动孔，所述活动轴位于活动孔内将连接杆与夹块活动连接在一起。

优选的，所述伸缩杆的外表面上部的四周分别设置有一个连接块，所述连接块与伸缩杆为一体结构，所述连接块位于连接槽内将伸缩杆与连接杆活动连接在一起。

优选的，所述操作台的下端中部固定连接有一个固定块，所述固定块的上端开有一个伸缩孔，所述固定块的前后左右四个端面的中部分别开有一个滑动槽，且伸缩孔与滑动槽相通，所述伸缩杆位于伸缩孔内将伸缩气泵与固定块活动连接在一起。

优选的，所述夹块的相对端面均设置有一个防滑垫，所述防滑垫通过胶水与夹块粘接在一起。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、通过设置一个弧形切割刀，在使用过程中成型刀具加工方法简单，操作方便，生产效率高，一次切削就能加工出完整的圆弧角轮廓，圆弧角的加工质量受加工人为因素较小，主要取决于成型刀具的精度，大大降低了对操作人员要求。

2、通过在操作台的上端设置四个夹块，并在底座内设置一个伸缩气泵，在使用时能够非常快速的对工料进行固定，并且能够保证固定的稳固性，为使用带来了便利。

附图说明

图1为本实用新型一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具的内部结构平面图；

图3为本实用新型一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具的连接杆的整体结构示意图；

图4为本实用新型一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具的固定块的整体结构示意图；

图5为本实用新型一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具的操作台的半剖图；

图6为本实用新型一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具的户型切割刀的侧视图。

图中：1、底座；2、操作台；3、夹块；4、弧形切割刀；5、伸缩气泵；6、滑动块；7、连接杆；8、防滑垫；9、伸缩杆；10、连接槽；11、活动孔；12、卡槽；13、活动轴；14、卡条；15、固定块；16、连接块；17、伸缩孔；18、滑动槽；19、活动槽。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-4所示，一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，包括底座1和弧形切割刀4，底座1的上端固定连接有一个操作台2，操作台2的上端四周分别活动连接有一个夹块3，弧形切割刀4位于操作台2的中部上方，夹块3的下端中部固定连接有一个滑动块6，滑动块6的下部活动连接有一个连接杆7，底座1的内壁下端中部固定连接有一个伸缩气泵5，伸缩气泵5的上端中部固定安装有一个伸缩杆9，且连接杆7的另一端与伸缩杆9连接在一起。

操作台2的上端四周分别开有一个活动槽19，活动槽19的内壁前端和后端分别开有一个卡槽12，滑动块6的前端和后端的上部分别固定连接有一个卡条14，卡条14位于卡槽12内将夹块3活动安装在操作台2的上端，起到了便于滑动的作用；滑动块6的前端和后端的下部分别设置有一个活动轴13，活动轴13与滑动块6为一体结构，连接杆7的上端和下端分别开有一个连接槽10，连接槽10的内壁前端和后端分别均开有一个活动孔11，活动轴13位于活动孔11内将连接杆7与夹块3活动连接在一起，起到了便于联动的作用；伸缩杆9的外表面上部的四周分别设置有一个连接块16，连接块16与伸缩杆9为一体结构，连接块16位于连接槽10内将伸缩杆9与连接杆7活动连接在一起，起到了便于伸缩带动的作用；操作台2的下端中部固定连接有一个固定块15，固定块15的上端开有一个伸缩孔17，固定块15的前后左右四个端面的中部分别开有一个滑动槽18，且伸缩孔17与滑动槽18相通，伸缩杆9位于伸缩孔17内将伸缩气泵5与固定块15活动连接在一起，起到了防止伸缩时位移的作用；夹块3的相对端面均设置有一个防滑垫8，防滑垫8通过胶水与夹块3粘接在一起，起到了防滑的作用。

需要说明的是，本实用新型为一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，通过设置一个弧形切割刀4，在环类特殊形状轮廓加工时，通过弧形切割刀4的外表面下部的弧形区域能够一次切削就能加工出完整的圆弧角轮廓，操作简单，效率较高，通过设置一个伸缩气泵5，并通过连接杆7与夹块3活动连接在一起，在使用过程中，将需要加工的工料放置在操作台2的上端中部，然后打开伸缩气泵5将伸缩杆9向下，伸缩杆9带动连接杆7的一端向下，然后连接杆7另一端活动连接的滑动块6通过卡条14和卡槽12在活动槽19内向操作台2的中部收缩，然后将需要加工的工料夹紧固定在操作台2的上端，保证了固定的稳定性，避免加工时出现晃动影响产品质量。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，包括底座(1)和弧形切割刀(4)，其特征在于：所述底座(1)的上端固定连接有一个操作台(2)，所述操作台(2)的上端四周分别活动连接有一个夹块(3)，所述弧形切割刀(4)位于操作台(2)的中部上方，所述夹块(3)的下端中部固定连接有一个滑动块(6)，所述滑动块(6)的下部活动连接有一个连接杆(7)，所述底座(1)的内壁下端中部固定连接有一个伸缩气泵(5)，所述伸缩气泵(5)的上端中部固定安装有一个伸缩杆(9)，且连接杆(7)的另一端与伸缩杆(9)连接在一起。

2.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，其特征在于：所述操作台(2)的上端四周分别开有一个活动槽(19)，所述活动槽(19)的内壁前端和后端分别开有一个卡槽(12)，所述滑动块(6)的前端和后端的上部分别固定连接有一个卡条(14)，所述卡条(14)位于卡槽(12)内将夹块(3)活动安装在操作台(2)的上端。

3.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，其特征在于：所述滑动块(6)的前端和后端的下部分别设置有一个活动轴(13)，所述活动轴(13)与滑动块(6)为一体结构，所述连接杆(7)的上端和下端分别开有一个连接槽(10)，所述连接槽(10)的内壁前端和后端分别均开有一个活动孔(11)，所述活动轴(13)位于活动孔(11)内将连接杆(7)与夹块(3)活动连接在一起。

4.根据权利要求1或3所述的一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，其特征在于：所述伸缩杆(9)的外表面上部的四周分别设置有一个连接块(16)，所述连接块(16)与伸缩杆(9)为一体结构，所述连接块(16)位于连接槽(10)内将伸缩杆(9)与连接杆(7)活动连接在一起。

5.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，其特征在于：所述操作台(2)的下端中部固定连接有一个固定块(15)，所述固定块(15)的上端开有一个伸缩孔(17)，所述固定块(15)的前后左右四个端面的中部分别开有一个滑动槽(18)，且伸缩孔(17)与滑动槽(18)相通，所述伸缩杆(9)位于伸缩孔(17)内将伸缩气泵(5)与固定块(15)活动连接在一起。

6.根据权利要求1所述的一种新型半导体刻蚀用石英环加工成型刀具，其特征在于：所述夹块(3)的相对端面均设置有一个防滑垫(8)，所述防滑垫(8)通过胶水与夹块(3)粘接在一起。

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