CN210925979U - 一种晶片夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶片夹具,包括夹具本体,所述夹具本体上设有握柄;夹臂,所述夹臂有所述夹具本体向远离所述握柄方向延伸形成;夹块,所述夹块设置在所述夹臂的端部;其中,所述夹臂包括远离所述握柄呈Y形叉开的第二端和靠近所述握柄的第一端,至少在所述夹臂第一端上的夹块呈活动设置;本实用新型中通过夹块构成的夹紧结构夹取晶片,其中至少有一个夹块设置为活动,可以形成一自动锁定的结构,在夹取和移动晶片的过程中,不需要工作人员持续对夹块提供压力,降低了晶片受损的概率;同时夹块设置为活动设置,夹具可以夹取不同的晶片,扩大了适用范围。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及晶片夹具领域,特别涉及一种晶片夹具。
【背景技术】
目前在光学晶片领域,晶片本身具有薄、脆的特点,光学晶片对其表面的完整程度要求非常高,因此,操作人员双手佩戴手套拿取晶片的侧面;另外,操作人员通常使用一些夹具来夹取晶片,如镊子、真空吸附盘等,提高了夹取的效果,同时也避免了操作人员直接通过双手直接夹取晶片带来的不利影响。
根据公开号为CN103094173A的中国发明文献公开的一种多夹头晶片夹具,通过施力与夹臂控制夹头来夹取晶片,该发明中包括了四个及以上的夹头,夹头安装在夹臂的末端,在其一个及以上夹臂末端可以安装多个夹头,形成多夹头夹具,部分夹臂相对固定,其余夹臂可以定向移动带动夹头靠拢、接触晶片侧边缘来实施夹取操作;该发明中仅需三个夹头作用在晶片上便可以达到夹具的作用,降低了对夹头的控制精确度的要求以及夹持晶片的操控难度。
根据公开号为CN103094175A的中国发明文献公开的一种晶片专用三夹头夹具,该发明包含有夹臂、三个夹头,夹臂末端设有夹头,其中一个夹臂上安装1或2个夹头,夹具设有3条或2条夹臂,各夹臂间相互连接,夹臂间相互连接处在夹臂中部或夹臂首端;通过夹头与夹臂的巧妙组合,避免夹头与晶片正面的直接接触,从而减少晶面的接触源并避免了夹头直接施力于晶面易导致晶面被划伤、污染等问题。
根据公开号为CN103094174B的中国发明文献公开的一种操作简单的晶片夹具,该发明包含有2个及以上的夹臂和夹头,夹臂之间相互连接形成连接端,夹臂另一端的自由端安装衔接有夹头,其中一个夹臂上安装一个以上夹头,夹臂中一些夹臂在夹取操作中其位置相对固定不变,为固定夹臂,另外的夹臂则相对于固定夹臂其位置在变动,为运动夹臂;运动夹臂带动夹头向固定夹臂移动,固定夹臂在夹具的夹取中起到定位作用。本发明操作简单容易,提高设备定位精度,简化设备控制系统的复杂程度,进而降低成本。
由于晶片本身具有的薄、脆,容易受损的特性,通过操作人员双手佩戴手套取晶片,容易对晶片造成损伤以及手套上带有灰尘对晶片表面造成污染,影响后续的使用;另外,采用镊子夹取晶片过程中,镊子与晶片的接触面很小,非常容易破坏晶片;还有上述对比文件中所述的夹具,都采用双手施加压力夹取晶片的方式,操作人员需要精准控制施加的力量,极大的增加了操作难度。因此设计一种简单易操作的晶片夹具非常有必要。
【实用新型内容】
针对上述对比文件中通过双手对夹具施加压力来夹取晶片操作难度大的问题,本实用新型通过将夹块设置为弹性设置,夹块作用在晶片的侧面,不会破坏晶片的表面,通过夹块受到的复位作用来实现晶片的夹取,解放了工作人员的双手,同时其中有夹块呈可转动设置,夹取不同形状晶片,扩大了该夹具的适用范围。
为了达到上述目的,本实用新型采用了以下方案:
一种晶片夹具,包括夹具本体,所述夹具本体上设有握柄;夹臂,所述夹臂有所述夹具本体向远离所述握柄方向延伸形成;夹块,所述夹块设置在所述夹臂的端部;其中,所述夹臂包括远离所述握柄呈Y形叉开的第二端和靠近所述握柄的第一端,至少在所述夹臂第一端上的夹块呈活动设置;上述结构中将夹块设置成弹性设置,当晶片被夹具夹取时,设置为成弹性设置的夹块由于复位的作用,将晶片锁定在夹块构成的夹紧结构上,不需要通过操作人员的双手施加压力来控制夹具夹取晶片,达到了精准控制的目的,防止由于工作人员操作中施加压力过大导致晶片损坏或者施加压力过小导致晶片在移动中掉落,影响后续晶片的使用;另外,夹块与晶片的侧面接触,不会破坏晶片的表面。
具体的,所述夹块上设有用于固定晶片的限位槽,所述限位槽两侧面均为斜面;上述限位槽的两个侧面均设为斜面,通过限位槽的槽底抵接晶片边缘,减少了晶片与夹块的接触面积,晶片表面受到磨损减小,同时晶片受到的力的方向是从边缘向中心,增强了晶片与夹具之间的紧密程度,防止在移动中晶片掉落。
具体的,至少在所述第二端上的夹块呈可转动设置;上述结构中第二端设为可转动的,通过旋转夹块可以夹取不同形状的夹块,使夹块通过转动调整夹块上的限位槽指向晶片中心,提高夹持的可靠性,扩大了夹具的使用范围,降低了成本。
具体的,所述活动设置包括一弹性结构;所述弹性结构的弹性力使所述夹块向所述夹臂中心移动;通过在夹具上安装一弹性结构,为夹具提供复位的作用,达到了自动锁定晶片的目的,不需要操作人员持续对夹块施加压力,结构简单,操作难度低,同时降低了晶片在夹取和移动中受到损坏的可能性。
具体的,在所述第一端上的所述弹性结构包括一移动结构和一弹性元件;所述弹性元件的设置使所述夹块通过所述移动结构向所述夹臂的中心移动;上述结构中设置了弹性元件,其作用为为夹具提供复位,达到了自动锁定晶片的目的,不需要操作人员持续对夹块施加压力。
具体的,所述移动结构包括滑槽和驱动槽;通过滑槽与驱动槽配合形成夹块移动的结构,结构简单,同时又能达到夹块移动的目的。
进一步的,所述夹块的弹性设置还包括位置调节结构,所述位置调节结构设置在所述夹具本体内腔,用于调节夹块的弹性;上述夹具中设置了位置调节结构,可以通过位置调节结构来调节夹块的弹性,为不同的晶片提供不同的压力,夹取晶片的力度控制更加精确,同时扩大了夹具的使用范围,降低了成本。
【附图说明】
图1为实施例1的整体示意图;
图2为实施例1中夹具本体内部的示意图,夹具本体内腔设有位置调节结构;
图3为实施例1中夹块的整体示意图;
图4为实施例2的整体示意图;
图5为实施例2中侧视示意图;
图6为实施例3的整体示意图;
其中,1、夹具本体;2、握柄;3、夹臂;4、夹块;6、弹性元件;51、滑槽;52、驱动槽;7、位置调节结构;71、固定座;72、螺杆;41、限位槽;8、L形连接杆;81、水平部;82、竖直部;83、弹簧;31、分叉部;32、夹臂本体;33、弹性条。
【具体实施方式】
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面通过附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限制本实用新型的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
实施例1
如图1所示,本实用新型公开了一种晶片夹具,包括夹具本体1,夹具本体1上设有一握柄2,方便操作人员持有夹具,在夹具本体1远离握柄2方向向外延伸设有一夹臂3,该夹臂3的形状为Y形叉开,其中夹臂3呈Y形叉开设置的一端设置为第二端,夹臂3靠近握柄2的一端设置为第一端,将夹臂3的形状设为Y形叉开,确保在夹取晶片时晶片与夹具的稳定,在移动夹具的过程中不会出现晶片与夹具分离的情况,同时,夹具夹取晶片的位置为晶片的侧面,不会给晶片表面带来污染也不会对晶片表造成破坏。
如图1所示,在本实施例中,夹臂3第一端即夹臂3靠近握柄2的一端上设有一夹块4,该夹块4呈活动设置,可以在夹具本体1上移动;当夹具夹取晶片时,将夹块4向握柄2方向移动,提供足够的空间将晶片放入夹具中,此时将向晶片方向推动夹块4,将晶片固定在夹具上,同时由于夹块4为弹性设置,存在的弹力使得夹块4压紧晶片,晶片在夹取和移动的过程中不会出现与夹具分离的情况,大大提高了工作效率,同时解放了操作人员的双手,不需要操作人员持续为夹块4提供推力来压紧晶片;另外,若采用操作人员持续为夹块4提供推力,则在夹具移动过程中需要时时刻刻注意施加的推力大小,对工作人员的精神集中程度有较大的要求,由于晶片本身薄、脆以及表面易受损的特点,采用上述操作人员持续提供推力的方式,容易对晶片造成损坏,而在本实施例中采取的夹取方式则大大降低了晶片受损的可能性。
上述夹块4的弹性设置包括移动结构和弹性元件6,其中移动结构包括滑槽51和驱动槽52,其中滑槽51设置在夹具本体1上,控制夹块4移动的运动方向,驱动槽52设置在夹块4背对夹具本体1的侧面,方便操作人员推动夹块4。其中夹块4设置在滑槽51内的部分侧面与夹具本体1内腔通过一弹性元件6相连,该弹性元件6为夹块4提供了复位的作用,当工作人员施加在夹块4上的推力消失时,弹性元件6起到的作用就是推动夹块4朝远离握柄2方向运动。
又如图2所示,夹具本体1的内腔设有一位置调节结构7,该位置调节结构7用于调节夹块4的弹性,从而调整夹块4对晶片所产生的推力,防止由于夹块4对晶片的推力过大导致晶片被挤压受损或者由于夹块4对晶片的推力过小,导致晶片4与夹具分离。上述位置调节结构7包括一固定座71和螺杆72,固定座71与弹性元件6相连,螺杆72的一端与固定座71相连,其连接方式为螺杆72可以在固定座71上自由转动,同时固定座71与螺杆72不会分离;螺杆72的另一端穿过夹具本体1,设置在夹具本体1外,转动螺杆72,将转动副转化为移动副,控制固定座71靠近或者远离夹臂3方向,达到控制夹块4弹性的目的。
又如图1和2所示,位于夹臂3第二端上的夹块4设置为可转动连接,其连接方式为夹块4与夹臂3之间为铰接相连,在夹块4与夹臂3之间通过设置一铰接销,夹块4即可在夹臂3上自由转动;将夹块4设置为可转动连接的方式,夹具就可以夹取不同形状晶片,转动夹块4可以夹取圆形或者方形的晶片,扩大了该夹具的适用范围,不需要对不同的晶片都配上一个夹取该形状晶片的夹具,很大程度上降低了成本,具有更好的市场。
如图3所示,设置在夹臂3两端的夹块4上均设有一用于固定晶片的限位槽41,该限位槽41的两个槽面均设为斜面,其中远离夹臂3的斜面长度短,方便晶片的安放;将限位槽41的两侧槽面设为斜面的好处是,减小了晶片与夹块4的接触面积,减少了在夹具夹取晶片的过程中晶片会受到的伤害;同时,晶片边缘与限位槽41的槽底接触,限位槽41的槽底对晶片有向晶片中心的压力,由于力的方向是沿晶片的表面的,因此,晶片可以承受的力更大,与夹具的连接更加紧密。
实施例2
如图4所示,将夹臂3第一端的夹块设置为可转动,方便夹具夹取不同形状的晶片,另外,夹臂3设置为弹性设置,夹臂3与夹具本体1的连接方式也是通过移动结构相连,该移动机构结构与实施例1中相同;如图5所示,在本实施例中,夹臂3上连接有一L形连接杆8,该L形连接杆8包括水平部81和竖直部82,其中水平部81紧贴夹具本体1表面,操作人员通过推动L形连接杆8来推动夹臂3;竖直部82上设有一弹簧83与夹具本体1表面相连,通过该弹簧83的作用给夹臂3提供复位的作用,又由于弹簧83的作用,L形连接杆8和夹臂3都不会与夹具本体1分离,确保了整个结构的牢固。
当夹取晶片时,推动L形连接杆8朝向远离握柄2方向运动,夹取晶片后,推动L形连接杆8朝向靠近握柄2的方向运动,在弹簧83的作用下,晶片被锁定在由夹块4构成的夹紧机构中,达到了夹取晶片的目的。上述夹取晶片的方式中,同样不需要操作人员持续对夹块4施加推力,减少了晶片损坏的可能性,同时由于弹簧83的弹性作用,夹臂3会产生复位,使得被夹取的晶片与夹具之间的连接十分紧密,不会出现夹具与晶片分离的情况。
本实施例中出上述提到结构之外其余结构均与实施例1中的结构相同,再此处不展开赘述。
实施例3
如图6所示,在本实施例中,夹臂3的形状为Y形分叉形状,包括分叉部31和夹臂本体32,夹臂本体31与夹具本体1之间为固定连接;分叉部32与夹臂本体32之间通过一弹性条33相连,另外,L形连接杆8包括水平部81和竖直部82,其中水平部81与夹具本体1相连,其连接方式与实施例1中夹臂3与夹具本体1的连接方式相同,采用移动结构的连接方式,确保了整个结构的稳定性;同时,竖直部82与分叉部31相连,水平部81紧贴夹具本体1表面;由于夹臂本体31与分叉部32之间设有弹性条33,结构上不会出现分离的情况,保证了结构的牢固;同时,由于水平部81是紧贴夹具本体1表面的,因此,在推动L形连接杆8时,L形连接杆8的水平部81都是沿着夹具本体1表面运动的,不会出现整个结构变形或者错位的情况出现。
当夹取晶片时,推动L形连接杆8朝向远离握柄2方向运动,夹取晶片后,推动L形连接杆8朝向靠近握柄2的方向运动,在弹性条33的作用下分叉部31复位,晶片被锁定在由夹块4构成的夹紧机构中,达到了夹取晶片的目的。上述夹取晶片的方式中,同样不需要操作人员持续对夹块4施加推力,减少了晶片损坏的可能性,同时由于弹性条33的弹性作用,分叉部31会产生复位,使得被夹取的晶片与夹具之间的连接十分紧密,不会出现夹具与晶片分离的情况。
本实施例中出上述提到结构之外其余结构均与实施例2中的结构相同,再此处不展开赘述。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶片夹具,其特征在于,包括
夹具本体,所述夹具本体上设有握柄;
夹臂,所述夹臂有所述夹具本体向远离所述握柄方向延伸形成;
夹块,所述夹块设置在所述夹臂的端部;
其中,所述夹臂包括远离所述握柄呈Y形叉开的第二端和靠近所述握柄的第一端,至少在所述夹臂第一端上的夹块呈活动设置。
2.根据权利要求1所述的晶片夹具,其特征在于,所述夹块上设有用于固定晶片的限位槽,所述限位槽两侧面均为斜面。
3.根据权利要求1或2所述的晶片夹具,其特征在于,至少在所述第二端上的夹块呈可转动设置。
4.根据权利要求1或2所述的晶片夹具,其特征在于,所述活动设置包括一弹性结构;所述弹性结构的弹性力使所述夹块向所述夹臂中心移动。
5.根据权利要求4所述的晶片夹具,其特征在于,在所述第一端上的所述弹性结构包括一移动结构和一弹性元件;所述弹性元件的设置使所述夹块通过所述移动结构向所述夹臂的中心移动。
6.根据权利要求3所述的晶片夹具,其特征在于,所述活动设置包括一弹性结构;所述弹性结构的弹性力使所述夹块向所述夹臂中心移动。
7.根据权利要求6所述的晶片夹具,其特征在于,在所述第一端上的所述弹性结构包括一移动结构和一弹性元件;所述弹性元件的设置使所述夹块通过所述移动结构向所述夹臂的中心移动。
8.根据权利要求5所述的晶片夹具,其特征在于,所述移动结构包括滑槽和驱动槽。
9.根据权利要求7所述的晶片夹具,其特征在于,所述移动结构包括滑槽和驱动槽。
10.根据权利要求1或2所述的晶片夹具,其特征在于,所述夹块的弹性设置还包括位置调节结构,所述位置调节结构设置在所述夹具本体的内腔,用于调节所述夹块的弹性。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201921443793.9U CN210925979U (zh) | 2019-09-02 | 2019-09-02 | 一种晶片夹具 |
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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CN114476655A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-13 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种夹片机构 |
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2019
- 2019-09-02 CN CN201921443793.9U patent/CN210925979U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114476655A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-13 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种夹片机构 |
CN114476655B (zh) * | 2022-02-21 | 2024-05-28 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种夹片机构 |
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