CN210881263U - 离型膜剥离装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种离型膜剥离装置，用于剥离光学膜片中的离型膜，离型膜剥离装置包括剥离机构和膜片固定机构，剥离机构包括位于膜片固定机构侧方、用于剥离离型膜的剥离件，膜片固定机构具有面向剥离件设置的承载面，承载面用于固定光学膜片，承载面所在的平面竖直设置，或者承载面所在的平面朝向所述剥离件向下倾斜。本实用新型的离型膜剥离装置能够提高偏光片的贴附良率。

Description

离型膜剥离装置

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种离型膜剥离装置。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)是目前市场上应用最为广泛的显示产品，液晶显示器主要包括液晶显示面板和背光模块，其中，液晶显示面板主要包括阵列基板、彩膜基板以及填充在阵列基板和彩膜基板之间的液晶。在液晶显示面板的模组制造工序中，需要对阵列基板和彩膜基板分别黏贴上偏光片，以将不具偏极性的自然光转化为偏极光，使与电场呈垂直方向的光线通过，让液晶显示面板能正常显示影像。

偏光片包括由偏光层、偏光层的上下保护层、黏附层以及保护膜等构成的偏光片本体以及离型膜，在偏光片的贴附工序之前，还需要先将偏光片的离型膜剥离。图1为现有技术中的离型膜剥离装置的结构示意图。如图1所示，现有技术中的离型膜剥离装置包括：膜片固定机构81和剥离机构82，其中，膜片固定机构81包括至少两个用于固定偏光片83的吸附件84，两个吸附件84的吸附面所在的平面水平设置，以将偏光片83固定为水平，且偏光片83的具有离型膜85的一面朝上；剥离机构82包括水平伸出的水平部分86、离型膜回收槽87以及粘性滚轮88，水平部分86和偏光片83的离型膜85相对地设置在离型膜85的上方，粘性滚轮88固定在水平部分86的下表面上，且粘性滚轮88能够沿离型膜85的剥离方向(在图1中是水平方向)移动，离型膜回收槽87设置在膜片固定机构81侧方，以对剥离下来的离型膜85进行回收。具体剥离时，粘性滚轮88将离型膜85的端部粘住，并随着粘性滚轮88从图1中的左端向右端移动，将离型膜85带起，使其与偏光片本体剥离，并将剥离后的离型膜85放入膜片固定机构81侧方的离型膜回收槽87中。

在上述离型膜剥离装置中，在离型膜随着粘性滚轮向右被剥离的过程中，可能会产生异物等，这些异物掉落在偏光片的黏附层上，容易造成偏光片贴附不良。

实用新型内容

本实用新型提供一种离型膜剥离装置，能够避免离型膜剥离过程中产生的异物等掉落到偏光片的粘附层上，因此能够提高偏光片的贴附良率。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种离型膜剥离装置，其用于剥离光学膜片中的离型膜，可选的，包括剥离机构和膜片固定机构，剥离机构包括位于膜片固定机构侧方、用于剥离离型膜的剥离件，膜片固定机构具有面向剥离件设置的承载面，承载面用于固定光学膜片，承载面所在的平面竖直设置，或者承载面所在的平面朝向剥离件向下倾斜。

可选的，膜片固定机构包括至少两个吸附件，至少两个吸附件的朝向剥离件的顶面形成为承载面。

可选的，膜片固定机构还包括承载基座、第一伸缩件以及吸附平台组件，承载基座具有面向剥离件的第一表面，至少两个吸附件固定在吸附平台组件上，第一伸缩件固定在第一表面和吸附平台组件之间，第一伸缩件可以在承载基座的厚度方向上伸缩，以使吸附平台组件能够相对于剥离件旋转。

可选的，吸附平台组件包括底板和固定在底板上的至少两个吸附平台，第一伸缩件的第一端和底板的背离吸附平台的一侧连接，第一伸缩件的第二端固定在第一表面上，至少两个吸附件固定在吸附平台的背离底板的一侧。

可选的，膜片固定机构还包括可绕水平方向旋转的旋转体，旋转体的旋转的周向上设有多个定位表面，定位表面用于固定承载基座，且至少一个定位表面与剥离机构相对设置。

可选的，当光学膜片固定在膜片固定机构上时，至少部分剥离件的初始位置与光学膜片的上边缘的位置对应。

可选的，剥离件为真空吸附件，在真空吸附件上还设有压力传感器，以检测真空吸附件的吸附状态。

可选的，剥离机构还包括竖直导轨，剥离件的第一端为与离型膜相接触的剥离端，剥离件的第二端能够沿竖直导轨上下移动，以使剥离件对离型膜进行剥离。

可选的，剥离机构还包括竖直导轨滑块和第二伸缩件，竖直导轨滑块可以沿竖直导轨移动，第二伸缩件的第一端和竖直导轨滑块连接，第二伸缩件的第二端和剥离件的第二端连接，第二伸缩件可以沿承载基座的厚度方向伸缩，以使剥离件靠近或远离承载基座。

可选的，剥离机构还包括设置在竖直导轨顶部或侧方的第一真空吸附件，以对离型膜剥离过程中产生的颗粒进行吸附。

本实用新型提供的离型膜剥离装置，用于剥离光学膜片中的离型膜，离型膜剥离装置包括剥离机构和膜片固定机构，剥离机构包括位于膜片固定机构侧方、用于剥离离型膜的剥离件，膜片固定机构具有面向剥离件设置的承载面，承载面用于固定光学膜片，承载面所在的平面竖直设置，或者承载面所在的平面朝向剥离件向下倾斜。本实用新型中，通过使膜片固定机构的承载面面向剥离件设置，承载面所在的平面竖直设置，或者承载面所在的平面朝向剥离件向下倾斜，即承载面所在的平面和竖直方向的夹角为0°，或者是承载面所在的平面朝向设有剥离件的一侧倾斜一个锐角，这样一来，在剥离件带动离型膜进行剥离的过程中，即使会产生异物等，但这些异物下方没有偏光片主体，因此在异物自由落体而沿竖直方向掉落的过程中，其不会粘在偏光片的黏附层上，因此能够提高偏光片的贴附良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的离型膜剥离装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的离型膜剥离装置的俯视图；

图3是本实用新型实施例提供的离型膜剥离装置的侧视图；

图4是本实用新型实施例提供的离型膜剥离装置的另一种结构的侧视图。

附图标记说明：

1、83-偏光片；

2、85-离型膜；

3、82-剥离机构；

5、81-膜片固定机构；

31-剥离件；

51-承载面；

52-第一伸缩件；

53、84-吸附件；

54-承载基座；

55-吸附平台组件；

56-第一表面；

57-第一凹槽；

58-底板；

59-吸附平台；

60-旋转体；

61-承载面所在的平面；

62-旋转电机；

63-压力传感器；

64-第一伸缩件的第一端；

65-第一伸缩件的第二端；

66-剥离件的第一端；

67-剥离件的第二端；

68-竖直导轨；

69-竖直导轨滑块；

70-第二伸缩件；

71-第二伸缩件的第一端；

72-第二伸缩件的第二端；

73-第一真空吸附件；

87-离型膜回收槽；

88-粘性滚轮；

89-水平导轨；

90-水平导轨滑块；

91-移动导轨。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护的范围。

图2是本实用新型实施例提供的离型膜剥离装置的俯视图；图3是本实用新型实施例提供的离型膜剥离装置的侧视图，图4是本实用新型实施例提供的离型膜剥离装置的另一种结构的侧视图。

如图2、3、4所示，本实施例的离型膜剥离装置用于剥离光学膜片中的离型膜2，剥离装置包括剥离机构3和膜片固定机构5，剥离机构3包括位于膜片固定机构5侧方、用于剥离离型膜2的剥离件31，膜片固定机构5具有面向剥离件31设置的承载面51，承载面51用于固定光学膜片，当光学膜片固定在承载面51上时，离型膜2背离承载面51，承载面所在的平面61竖直设置，或者承载面所在的平面61朝向剥离件向下倾斜。

本实施例中的光学膜片可以是偏振片也可以是其他类型的光学膜片，光学膜片可以包括光学膜片本体和离型膜2，在将离型膜2剥离后可以将光学膜片本体黏贴在待黏贴的基板、例如彩膜基板或者阵列基板上。在以下，为了便于说明，以光学膜片是偏光片1为例来进行说明，对于其他类型的光学膜片与此类似，此处不再赘述。此外，剥离件31具体是指可以对离型膜2进行剥离的部件，例如，可以是真空剥离吸嘴，也可以是其他具有吸附功能的部件等。竖直方向在图3中，以字母D表示。

在上述方案中，剥离件31位于膜片固定机构5的侧方，具体是指剥离件31设置在与膜片固定机构5的侧部相对应的位置，且位于膜片固定机构5的高度范围内。而膜片固定机构5具有面向剥离件31设置的承载面51，具体是指承载面51朝向剥离件31设置，即承载面51朝向剥离机构3的固定有剥离件31的部分，其中，该承载面51可以是一个连续的平面，也可以是由多个不连续的表面形成的能够实现承载功能的表面，偏光片1固定在承载面51上，还需要使离型膜2背离承载面51设置，这样，可以使离型膜2朝向剥离件31设置。本实用新型中，通过使膜片固定机构5的承载面51面向剥离件31设置，承载面所在的平面61竖直设置，或者承载面所在的平面61朝向剥离件31向下倾斜，换言之，承载面所在的平面61和竖直方向的夹角α的范围为0°≤α＜90°，承载面所在的平面61和竖直方向的夹角为0°(参照图3)，或者是承载面所在的平面61朝向设有剥离件31的一侧倾斜一个锐角(参照图4)，这样一来，在剥离件31带动离型膜2进行剥离的过程中，即使会产生异物等，这些异物下方没有偏光片主体，因此在异物自由落体而沿竖直方向掉落的过程中，其不会粘在偏光片1的黏附层上，因此能够提高偏光片1的贴附良率。

在本实施例中，承载面51的实现方式有多种，例如如图3所示，作为一种可选的实施方式，膜片固定机构5包括至少两个吸附件53，至少两个吸附件53的朝向剥离件31的顶面位于一个平面内，这些顶面共同形成为承载面51。在这种方式中，承载面51由至少两个不连续的表面形成，即使至少两个吸附件53的朝向剥离件31的顶面共同形成为承载面51，以固定偏光片1。当然，需要使这些顶面形成在同一个平面内，以便于更好地固定表面为平面的偏光片1。吸附件53可以是真空吸嘴，也可以是其他具有吸附功能的吸附件53。另外，在这种情况下，承载面所在的平面61和竖直方向的夹角α为各个吸附件53的顶面所在的平面和竖直方向的夹角。

当然，除了这种由多个吸附件53形成承载面51的方式之外，还可以使膜片固定机构5包括一个承载部，承载部的朝向所述剥离件31的连续表面形成为所述承载面51，考虑到偏光片1的表面一般为平面，因此可以使承载面51也形成为平面形状。在上述两种情况下，由于承载面所在的平面61和竖直方向的夹角α的范围为0°≤α＜90°，因此离型膜2剥离后，即使会产生异物等，也不会粘在偏光片1的黏附层上，因此能够提高偏光片1的贴附良率。

接下来介绍膜片固定机构5的详细结构，如图2所示，膜片固定机构5还包括承载基座54、第一伸缩件52以及吸附平台组件55，承载基座54具有面向剥离件31的第一表面56，至少两个吸附件53固定在吸附平台组件55上，第一伸缩件52固定在第一表面56和吸附平台组件55之间，第一伸缩件52可以在承载基座54的厚度方向上伸缩，以使吸附平台组件55能够相对剥离件31旋转。

由于在第一表面56和吸附平台59之间连接有第一伸缩件52，则当第一伸缩件52发生伸缩时，可以使第一表面56和吸附平台组件55之间的距离发生改变。具体的，例如第一伸缩件52的数量可以为两个，可以选择将第一伸缩杆设置在靠承载基座54的上部的位置处，这样，当上部的两个第一伸缩件52伸出并拉长时，可以将吸附平台组件55上部顶起从而使吸附平台组件55上设有的吸附件53相对于剥离机构3倾斜。此外，还可以对应于第一表面56和吸附平台组件55的彼此相对的范围内，设有多个第一伸缩件52，并使对应于承载基座54的上部的位置处的第一伸缩件52伸出并拉长时，可以将吸附平台组件55顶起，并使其上固定的吸附件53向剥离机构3倾斜。

一般的，还可以使至少两个吸附件53在吸附平台组件55厚度方向上的高度相同，是为了使至少两个吸附件53的各个不连续的顶面形成在同一个平面上，以便于能更好地固定偏光片1。此外，可以在承载基座54上设有第一凹槽57，使第一凹槽57的槽底形成为第一表面56，具体的，可以将第一伸缩件52的至少部分结构容纳在第一凹槽57中，并使第一伸缩件52的一端和第一凹槽57的槽底固定连接，这样可以尽量减少整个膜片固定机构5的外部尺寸。

这里的第一伸缩件52可以是伸缩气缸。

进一步的，吸附平台组件55包括底板58和固定在底板58上的至少两个吸附平台59，第一伸缩件的第一端64和底板58的背离吸附平台59的一侧连接，第一伸缩件52的第二端65固定在第一表面56上，至少两个吸附件53固定在吸附平台59的背离底板58的一侧。

两个吸附平台59可以形成为长条状，且吸附平台59的延伸方向可以和竖直方向平行。由于吸附件53固定在吸附平台59上，因此可以使吸附平台59的厚度相等，且吸附件53的高度也相等，这样便于将吸附件53的顶面形成在同一个平面内。为了对偏光片1从上到下的范围内都进行良好的吸附，也可以考虑使吸附平台59的长度大于或者等于偏光片的高度。

另外，当承载基座54包括至少两个吸附件53时，可以使至少部分吸附件53的连线轮廓和偏振片的侧边缘轮廓对应，例如，可以使吸附件53直线设置为两列，以使在整个偏振片的上下范围内都能固定好偏振片。

此外，如图3所示，为了提高剥离制程的效率，还可以选择使膜片固定机构5包括可绕水平方向旋转的旋转体60，旋转体60的旋转的周向上设有多个定位表面，定位表面用于固定承载基座54，且至少一个定位表面与剥离机构3相对设置。这样，在一个定位表面上固定的偏光片1进行了离型膜2剥离后，只要旋转旋转体60，就可以立即进行下一个偏光片1的离型膜2的剥离。旋转体60的中心部设有转轴(未图示)，该转轴可以在旋转电机62的带动下旋转，并能够在旋转电机62的带动下停止旋转。当然，除此之外，也可以是承载基座54可绕水平方向旋转，在承载基座54的旋转的周向上设有多个定位表面，且在至少一个定位表面的侧方设有剥离机构3的结构。

由于偏光片1的正常剥离都是从上至下，因此可以考虑当偏光片1固定在膜片固定机构5上时，使至少部分剥离件31位于与偏光片1的上边缘对应的位置处。

此外，这里的剥离件31可以选择具有真空吸附功能的第二真空吸附件，在第二真空吸附件上还设有压力传感器63，以检测第二真空吸附件的吸附状态。具体的，压力传感器对第二真空吸附件的负压进行检测，当压力传感器63检测出的真空负压较高时，证明偏光片1很好地吸附在第二真空吸附件上，当压力传感器63检测出的负压值出现异常的降低时，代表偏光片1和第二真空吸附件的吸附已经失效，需要操作人员及时检查离型膜2的状态，防止已经脱离的离型膜2再次黏贴到偏光片1主体上。

当所述偏光片1的离型膜2吸附到剥离件31上时，例如剥离件31的移动初始位置与偏光片1的上边缘位置对应时，需要使剥离件31由上至下移动，这样可以使离型膜2由上至下被剥离。具体可选的，剥离机构3还包括竖直导轨68，剥离件的第一端66为与离型膜2相接触的剥离端，剥离件的第二端67能够沿竖直导轨68上下移动，以使剥离件31对离型膜2进行剥离。

进一步的，为了尽量避免剥离件31在剥离过程中离偏光片1过近而影响到离型膜2的剥离，可以考虑使剥离件31在剥离前靠近偏光片1，并将离型膜2吸附到剥离件31上之后，使剥离件31带着离型膜2的局部向远离承载面51的方向移动一小段距离，这样在剥离件31和偏光片1间隔一定距离的情况下使剥离件31由上至下移动时，能够很好地将离型膜2剥离而不会干涉到已经剥离后的偏光片1主体的表面。具体可选的，剥离机构3还包括竖直导轨滑块69和第二伸缩件70，竖直导轨滑块69可以沿竖直导轨68移动，第二伸缩件的第一端71和竖直导轨滑块69连接，第二伸缩件的第二端72和剥离件的第二端67连接，第二伸缩件70可以沿承载基座54的厚度方向伸缩，以使剥离件31靠近或远离承载基座54。

此外，为了尽量减少整个剥离过程中所产生的颗粒或者异物等对偏光片1的影响，剥离机构3还包括设置在竖直导轨68顶部或侧方的第一真空吸附件73，以对离型膜2剥离过程中产生的颗粒进行吸附。

进一步的，如图2所示，剥离机构3还包括水平导轨89，可以使竖直导轨68固定在该水平导轨89的水平导轨滑块90上，这样，当偏光片的宽度尺寸不同时，剥离机构可以根据不同宽度尺寸的偏光片1而使剥离件31位于相应的位置处，这样能够使剥离机构的适应性更广。

另外，还可以在承载基座54上设置移动导轨91，并且至少一个吸附平台组件55可以沿移动导轨91移动，以便于剥离了离型膜2的偏光片和待黏贴基板，例如彩膜基板和阵列基板的黏贴。

接下来，参照图2、3，对本实施例的离型膜剥离装置的工作过程进行介绍。

如图2、3所示的是承载面竖直设置的情况，对于其它角度的情况与此类似，此处不再赘述。首先，将偏光片1以离型膜2背离膜片固定机构5的方式吸附到由多个吸附件53的顶面形成的承载面51上。然后使第二伸缩件70伸长，并使第二伸缩件70的端部固定的剥离件31吸附到偏光片1的离型膜2上，然后使第二伸缩件70缩回，此时离型膜2的上端部在第二伸缩件70的带动下离开偏光片主体，并和偏光片主体保持一定距离。此时使竖直导轨滑块69带动剥离件31沿着竖直导轨68由上至下滑动，此时离型膜2在剥离件31的带动下由上至下从偏光片主体上剥离下来，在此过程中，由于承载面和竖直方向平行，因此在剥离件31带动离型膜2进行剥离的过程中，即使会产生异物等，但这些异物下方没有偏光片主体，因此在异物自由落体而沿竖直方向掉落的过程中，其不会粘在偏光片1的黏附层上，因此能够提高偏光片1的贴附良率。旋转体60的一个定位表面上的偏光片1的离型膜剥离过程结束后，可以使旋转电机62带动旋转体60发生旋转，例如旋转90°，可以使相邻定位表面上的偏光片1旋转到剥离机构3正对的剥离工位，重复上述的剥离过程，待剥离完成后，再次使旋转体60旋转90°，如此待各个定位表面上的偏光片都剥离结束后即可完成离型膜的剥离工序。

本实施例中，离型膜剥离装置用于剥离光学膜片中的离型膜，离型膜剥离装置包括剥离机构和膜片固定机构，剥离机构包括位于膜片固定机构侧方、用于剥离离型膜的剥离件，膜片固定机构具有面向剥离件设置的承载面，光学膜片固定在承载面上，且离型膜背离承载面设置，承载面所在的平面和竖直方向的夹角α的范围为0°≤α＜90°。通过使膜片固定机构的承载面面向剥离件设置，并且承载面所在的平面和竖直方向的夹角α的范围为0°≤α＜90°，即承载面所在的平面和竖直方向的夹角为0°，或者是承载面所在的平面朝向设有剥离件的一侧倾斜一个锐角，这样一来，在剥离件带动离型膜进行剥离的过程中，即使会产生异物等，但这些异物下方没有偏光片主体，因此在异物自由落体而沿竖直方向掉落的过程中，其不会粘在偏光片的黏附层上，因此能够提高偏光片的贴附良率。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“相连”、“固定”、“安装”等应做广义理解，例如可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定、对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种离型膜剥离装置，其用于剥离光学膜片中的离型膜，其特征在于，包括剥离机构和膜片固定机构，所述剥离机构包括位于所述膜片固定机构侧方、用于剥离所述离型膜的剥离件，所述膜片固定机构具有面向所述剥离件设置的承载面，所述承载面用于固定所述光学膜片，所述承载面所在的平面竖直设置，或者所述承载面所在的平面朝向所述剥离件向下倾斜。

2.根据权利要求1所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述膜片固定机构包括至少两个吸附件，所述至少两个吸附件的朝向所述剥离件的顶面形成为所述承载面。

3.根据权利要求2所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述膜片固定机构还包括承载基座、第一伸缩件以及吸附平台组件，所述承载基座具有面向所述剥离件的第一表面，所述至少两个吸附件固定在所述吸附平台组件上，所述第一伸缩件固定在所述第一表面和所述吸附平台组件之间，第一伸缩件可以在所述承载基座的厚度方向上伸缩，以使所述吸附平台组件能够相对于所述剥离件旋转。

4.根据权利要求3所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述吸附平台组件包括底板和固定在所述底板上的至少两个吸附平台，所述第一伸缩件的第一端和所述底板的背离所述吸附平台的一侧连接，所述第一伸缩件的第二端固定在所述第一表面上，所述至少两个吸附件固定在所述吸附平台的背离所述底板的一侧。

5.根据权利要求3或4所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述膜片固定机构还包括可绕水平方向旋转的旋转体，所述旋转体的旋转的周向上设有多个定位表面，所述定位表面用于固定所述承载基座，且至少一个所述定位表面与所述剥离机构相对设置。

6.根据权利要求2-4任一项所述的离型膜剥离装置，其特征在于，当所述光学膜片固定在所述膜片固定机构上时，至少部分所述剥离件的初始位置与所述光学膜片的上边缘的位置对应。

7.根据权利要求2-4任一项所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述剥离件为第二真空吸附件，在所述第二真空吸附件上还设有压力传感器，以检测所述第二真空吸附件的吸附状态。

8.根据权利要求3-4任一项所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述剥离机构还包括竖直导轨，所述剥离件的第一端为与所述离型膜相接触的剥离端，所述剥离件的第二端能够沿所述竖直导轨上下移动，以使所述剥离件对所述离型膜进行剥离。

9.根据权利要求8所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述剥离机构还包括竖直导轨滑块和第二伸缩件，所述竖直导轨滑块可以沿所述竖直导轨移动，所述第二伸缩件的第一端和所述竖直导轨滑块连接，所述第二伸缩件的第二端和所述剥离件的第二端连接，所述第二伸缩件可以沿所述承载基座的厚度方向伸缩，以使所述剥离件靠近或远离所述承载基座。

10.根据权利要求8所述的离型膜剥离装置，其特征在于，所述剥离机构还包括设置在所述竖直导轨顶部或侧方的第一真空吸附件，以对所述离型膜剥离过程中产生的颗粒进行吸附。

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