CN210825443U - 电极棒四氟绝缘套分离装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电极棒四氟绝缘套分离装置，其包括底座；卡座的卡板邻近定位槽的板面上开设有定位盲孔；支撑座的支撑板上水平穿设螺接有螺杆，螺杆与定位盲孔同轴设置。优点：将带有氮化硅套和四氟绝缘套的电极棒放置于定位槽上，电极棒的一端穿过通孔，同时使氮化硅套与定位盲孔抵接，再拧动螺杆，使螺杆的端部顶住电极棒的另一端，并且继续转动螺杆使电极棒向卡板逐渐移动，同时卡板将氮化硅套卡住，氮化硅套又将四氟绝缘套从电极棒上顶出，直至将电极棒从通孔顶出，进而使氮化硅套和四氟绝缘套与电极棒脱离，实现拆卸的目的，保证氮化硅套和电极棒完好无损，能够得到回收利用，节约资源，保护环境。

Description

电极棒四氟绝缘套分离装置

技术领域：

本实用新型涉及还原炉用电极棒拆除工具技术领域，特别涉及电极棒四氟绝缘套分离装置。

背景技术：

多晶硅还原炉是提炼多晶硅的专用设备，多晶硅还原炉包括底盘和设置于底盘上的炉体，底盘上设置有多对电极，每对电极间具有一根硅芯；将提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按比例混合后通入多晶硅还原炉内，向电极通电后，在一定温度和压力下，硅芯上进行气相沉积反应生成多晶硅。

通常在伸入底盘内的电极上套设有四氟绝缘套，用于隔离还原炉底盘和电极，为了防止电极通电后，底盘带电而发生安全事故，另外还能够起到密封作用；同时在四氟绝缘套上方的电极上还套设有氮化硅套，氮化硅套的底面支撑在底盘的顶面上，起到支撑电极和绝缘作用；但是在长期高温运行环境下，四氟绝缘套容易损坏变形，出现泄漏现象，而泄漏的物料容易使四氟绝缘套粘结在电极棒上，导致拆卸更换四氟绝缘套费时费力，目前的处理方式是人工采用多种利器工具对粘结在电极棒上的四氟绝缘套进行破坏性拆除，但是在拆除过程中，对电极棒和氮化硅套造成不同程度的损坏，进而达不到电极棒和氮化硅套回收利用的目的，只能报废处理，浪费资源，影响环境。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种拆卸方便，防止电极棒和氮化硅套损坏以实现节约资源的电极棒四氟绝缘套分离装置。

本实用新型由如下技术方案实施：电极棒四氟绝缘套分离装置，其包括底座和水平固定于所述底座的顶面的定位槽；所述定位槽两端的所述底座的顶面上相对固定有卡座和支撑座，所述卡座的卡板邻近所述定位槽的板面上开设有定位盲孔，所述卡板上开设有与所述定位盲孔同轴线的通孔；所述支撑座的支撑板上水平穿设螺接有螺杆。

进一步地，所述卡座包括所述卡板、第一锁紧螺钉和固定于所述卡板两侧的所述底座上并相对设置的两个固定块，两个所述固定块相对的侧面竖直开设有第一导向槽，所述卡板的两侧分别固定有一块沿对应所述第一导向槽上下滑动设置的第一导向块；所述固定块上背向所述卡板的侧壁开设有与所述第一导向槽连通的第一通槽，所述第一锁紧螺钉穿过所述第一通槽与所述第一导向块螺接，所述第一锁紧螺钉的螺帽与所述固定块活动接触。

进一步地，所述支撑座包括所述支撑板、第二锁紧螺钉和固定于所述支撑板两侧的所述底座上并相对设置的两个支撑块，两个所述支撑块相对的侧面竖直开设有第二导向槽，所述支撑板的两侧分别固定有一块沿对应所述第二导向槽上下滑动设置的第二导向块；所述支撑块上背向所述支撑板的侧壁开设有与所述第二导向槽连通的第二通槽，所述第二锁紧螺钉穿过所述第二通槽与所述第二导向块螺接，所述第二锁紧螺钉的螺帽与所述支撑块活动接触。

进一步地，所述定位槽的定位面为V形。

进一步地，所述卡板通过连接梁与所述支撑板固定连接。

进一步地，所述螺杆置于所述卡板和所述支撑板之间的一端固定有柱形顶块，所述柱形顶块与所述螺杆同轴设置。

进一步地，所述螺杆置于所述支撑板外侧的另一端固定有手柄。

本实用新型的优点：将带有氮化硅套和四氟绝缘套的电极棒放置于定位槽上，电极棒的一端穿过通孔，同时氮化硅套与定位盲孔抵接，再拧动螺杆，使螺杆的端部顶住电极棒的另一端，并且继续转动螺杆使电极棒向卡板逐渐移动，同时卡板将氮化硅套卡住，氮化硅套又将四氟绝缘套从电极棒上顶出，直至将电极棒从通孔顶出，进而使氮化硅套和四氟绝缘套与电极棒脱离，实现拆卸的目的，保证氮化硅套和电极棒完好无损，能够得到回收利用，节约资源，保护环境。

附图说明：

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1的A-A剖视图。

图3为图1的俯视图。

图4为本实用新型的使用状态示意图。

附图中各部件的标记如下：底座1、定位槽2、卡座3、卡板3.1、第一锁紧螺钉3.2、固定块3.3、第一导向槽3.4、第一导向块3.5、第一通槽3.6、定位盲孔3.7、通孔3.8、支撑座4、支撑板4.1、第二锁紧螺钉4.2、支撑块4.3、第二导向槽4.4、第二导向块4.5、第二通槽4.6、螺杆5、连接梁6、柱形顶块7、手柄8、电极棒9、氮化硅套10、四氟绝缘套11。

具体实施方式：

如图1至图4所示，电极棒四氟绝缘套分离装置，其包括底座1和水平固定于底座1的顶面的定位槽2；定位槽2的定位面为V形，定位槽2用于放置电极棒9；定位槽2两端的底座1的顶面上相对固定有卡座3和支撑座4，卡座3的卡板3.1邻近定位槽2的板面上开设有定位盲孔3.7，定位盲孔3.7用于卡接电极棒9上的氮化硅套10，卡板3.1上开设有与定位盲孔3.7同轴线的通孔3.8，通孔3.8直径大于电极棒9的外径，保证电极棒9能够穿过通孔3.8；支撑座4的支撑板4.1上水平穿设螺接有螺杆5，通过转动螺杆5能够推动电极棒9水平移动，螺杆5的直径不大于电极棒9的外径，在推动电极棒9移动过程中，能够保证螺杆5跟随电极棒9穿设于四氟绝缘套11内，进而实现将电极棒9从通孔3.8顶出的目的；电极棒9的一端穿过通孔3.8，氮化硅套10氮化硅套10卡接在卡板3.1的定位盲孔3.7上，拧动螺杆5，使螺杆5的端部顶住电极棒9，使电极棒9沿通孔3.8逐渐移动，直至将电极棒9从通孔3.8顶出，同时氮化硅套10将四氟绝缘套11从电极棒9上顶出，进而使氮化硅套10和四氟绝缘套11与电极棒9脱离，实现拆卸的目的，保证氮化硅套10和电极棒9完好无损，能够得到回收利用，节约资源，保护环境。

卡座3包括卡板3.1、第一锁紧螺钉3.2和固定于卡板3.1两侧的底座1上并相对设置的两个固定块3.3，两个固定块3.3相对的侧面竖直开设有第一导向槽3.4，卡板3.1的两侧分别固定有一块沿对应第一导向槽3.4上下滑动设置的第一导向块3.5；固定块3.3上背向卡板3.1的侧壁开设有与第一导向槽3.4连通的第一通槽3.6，第一锁紧螺钉3.2穿过第一通槽3.6与第一导向块3.5螺接，第一锁紧螺钉3.2的螺帽与固定块3.3活动接触；支撑座4包括支撑板4.1、第二锁紧螺钉4.2和固定于支撑板4.1两侧的底座1上并相对设置的两个支撑块4.3，两个支撑块4.3相对的侧面竖直开设有第二导向槽4.4，支撑板4.1的两侧分别固定有一块沿对应第二导向槽4.4上下滑动设置的第二导向块4.5；支撑块4.3上背向支撑板4.1的侧壁开设有与第二导向槽4.4连通的第二通槽4.6，第二锁紧螺钉4.2穿过第二通槽4.6与第二导向块4.5螺接，第二锁紧螺钉4.2的螺帽与支撑块4.3活动接触；卡板3.1通过连接梁6与支撑板4.1固定连接；由于四氟绝缘套11高温变形后的壁厚不均匀，导致每根电极棒9放置于定位槽2后的轴线高度不同，通过连接梁6同时调节支撑板4.1和卡板3.1的高低位置，使电极棒9的两端分别与通孔3.8和螺杆5端部对应，保证电极棒9一端能够穿过通孔3.8，及螺杆5能推动电极棒9的另一端，进而有利于将氮化硅套10和四氟绝缘套11更快速地从电极棒9上拆卸。

螺杆5置于卡板3.1和支撑板4.1之间的一端固定有柱形顶块7，柱形顶块7的直径不大于电极棒9的外径，柱形顶块7与螺杆5同轴设置，通过柱形顶块7增加与电极棒9的接触面积，提高拆卸效率，而且不容易将电极棒9损坏。

螺杆5置于支撑板4.1外侧的另一端固定有手柄8，便于操作螺杆5。

使用说明：向使顶块7远离卡板3.1的方向转动螺杆5，将带有氮化硅套10和四氟绝缘套11的电极棒9放置于定位槽2上，使四氟绝缘套11外壁与定位槽2接触，电极棒9保持水平；松开第一锁紧螺钉3.2和第二锁紧螺钉4.2，通过连接梁6同时调节卡板3.1和支撑块4.3的高度，即在第一导向块3.5与第一导向槽3.4的配合下，沿固定块3.3上下滑动调节卡板3.1的高度，在第二导向块4.5和第二导向槽4.4的配合下，沿支撑块4.3上下滑动调节支撑板4.1的高度，进而使卡板3.1的通孔3.8与电极棒9的邻近一端对应，保证电极棒9的一端能够伸出卡板3.1的通孔3.8，使柱形顶块7与电极棒9的另一端对应，保证柱形顶块7能够顶设在电极棒9的端部，拧紧第一锁紧螺钉3.2和第二锁紧螺钉4.2；向卡板3.1水平推动电极棒9，使电极棒9的一端穿过卡板3.1的通孔3.8，同时氮化硅套10卡接在卡板3.1的定位盲孔3.7上，即氮化硅套10的端面与定位盲孔3.7的孔底抵接；反方向转动螺杆5，使螺杆5上的顶块7顶住电极棒9的端部，并且继续转动螺杆5推动电极棒9沿通孔3.8向外移动，同时卡板3.1将氮化硅套10卡住，氮化硅套10又将四氟绝缘套11从电极棒9上顶出，直至将电极棒9从通孔3.8顶出，使氮化硅套10和四氟绝缘套11与电极棒9脱离，进而实现拆卸的目的。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，其包括底座和水平固定于所述底座的顶面的定位槽；所述定位槽两端的所述底座的顶面上相对固定有卡座和支撑座，所述卡座的卡板邻近所述定位槽的板面上开设有定位盲孔，所述卡板上开设有与所述定位盲孔同轴线的通孔；所述支撑座的支撑板上水平穿设螺接有螺杆。

2.根据权利要求1所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述卡座包括所述卡板、第一锁紧螺钉和固定于所述卡板两侧的所述底座上并相对设置的两个固定块，两个所述固定块相对的侧面竖直开设有第一导向槽，所述卡板的两侧分别固定有一块沿对应所述第一导向槽上下滑动设置的第一导向块；所述固定块上背向所述卡板的侧壁开设有与所述第一导向槽连通的第一通槽，所述第一锁紧螺钉穿过所述第一通槽与所述第一导向块螺接，所述第一锁紧螺钉的螺帽与所述固定块活动接触。

3.根据权利要求1所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述支撑座包括所述支撑板、第二锁紧螺钉和固定于所述支撑板两侧的所述底座上并相对设置的两个支撑块，两个所述支撑块相对的侧面竖直开设有第二导向槽，所述支撑板的两侧分别固定有一块沿对应所述第二导向槽上下滑动设置的第二导向块；所述支撑块上背向所述支撑板的侧壁开设有与所述第二导向槽连通的第二通槽，所述第二锁紧螺钉穿过所述第二通槽与所述第二导向块螺接，所述第二锁紧螺钉的螺帽与所述支撑块活动接触。

4.根据权利要求1所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述定位槽的定位面为V形。

5.根据权利要求1至4任一所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述卡板通过连接梁与所述支撑板固定连接。

6.根据权利要求5所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述螺杆置于所述卡板和所述支撑板之间的一端固定有柱形顶块，所述柱形顶块与所述螺杆同轴设置。

7.根据权利要求5所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述螺杆置于所述支撑板外侧的另一端固定有手柄。

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