CN210788362U - 全自动化石英管清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种全自动化石英管清洗装置，包括箱体以及设置在所述箱体内用以承载倒扣放置的石英管的承载机构，所述承载机构的圆心设有一开口；所述开口下放置有喷头，可面向所述石英管的内壁进行喷淋；所述箱体上还设有驱动所述承载机构绕所述喷头转动的驱动组件和用以控制所述承载机构旋转圈数的控制组件。本实用新型的有益效果体现在：清洗操作简单，只需将石英管倒扣在承载板上，喷头对准石英管内部清洗，喷嘴可以清洗石英管外壁及石英管上的死角；自动化设计，在齿轮上设置有传感器，可有其记录石英管在清洗时的旋转圈数，在圈数达到限定数量时停止清洗。

Description

全自动化石英管清洗装置

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，具体而言，尤其涉及一种全自动化石英管清洗装置。

背景技术

石英制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。由于集成电路芯片的高规格要求，需要对所用的石英管进行严格的清洗。现有的全自动化石英管清洗装置人工操作繁琐，不能实现一体化全自动清洗功能，其清洗液一般采用人工配制和手动加入，而清洗液一般采用强酸和强碱配制成一定比例后使用，因此采用人工操作会对人体健康造成危害，且人工操作会有很多不可控制因素，人体的疲劳程度、观察角度和人员责任心都会影响清洗液的配比是否达到标准。

中国专利CN201520127766.6揭示的一种石英管清洗机减少了对操作人员的依赖同时保护了人体安全提好了配液准确度。但是该技术在清洗石英管开口端朝上放置清洗内壁后，钟罩内部的清洗液无法自动排出，需要将石英管拿出将其倒扣，再清洗其外壁，清洗操作复杂；其次，该技术中只有一个喷头，对石英管上的死角无法清理。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种全自动化石英管清洗装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种全自动化石英管清洗装置，包括箱体以及设置在所述箱体内用以承载倒扣放置的石英管的承载机构，所述承载机构的圆心设有一开口；所述开口下放置有喷头，可面向所述石英管的内壁进行喷淋；所述箱体上还设有驱动所述承载机构绕所述喷头转动的驱动组件和用以控制所述承载机构旋转圈数的控制组件。

优选的，所述驱动组件包括设置在所述箱体内的L形的固定板，所述固定板上固设有一驱动电机，所述驱动电机的电机轴通过联轴器与转轴固接，所述转轴上固设有一第一主动齿轮；所述箱体上还设有一固定块，所述固定块上设有一可自转地旋转柱，所述旋转柱上固设有一第一从动齿轮，所述第一从动齿轮和第一主动齿轮之间通过链条连接；所述承载机构固接在所述旋转柱上。

优选的，所述控制组件包括固设在所述固设在所述转轴上的第二主动齿轮，所述固定板上固设有一第二从动齿轮，所述第二从动齿轮和所述第二主动齿轮相啮合；所述第二从动齿轮上还固设有一卡片，所述固定板上固设有一支撑块，所述支撑块上固设有一位移传感器，部分所述卡片可延伸至设置在所述位移传感器上的测量口内。

优选的，所述箱体上还设有支撑柱，所述支撑柱上枢轴设有一张紧齿轮，所述张紧齿轮与所述链条紧贴。

优选的，所述承载机构包括固设在所述旋转柱上的承载板，所述承载板上开设有一组用以排除清洗液的排水口和用以对所述石英管死角进行喷淋清洗的喷嘴，所述喷嘴由阀门控制。

优选的，所述承载板上还设有用以将所述石英管限位的限位块和限位条。

优选的，所述箱体上还固设有一微型电机，所述微型电机的电机轴贯穿固设在箱体的挡板与呈十字形的锁止爪固接，所述锁止爪与所述移动门的内壁紧贴；所述挡板与所述微型电机的电机轴之间通过旋转轴承连接。

优选的，所述微型电机的电机轴上还固设有一转盘，所述转盘上固设有一红外线发射器，所述挡板上固设有用以接受所述红外线发射器发射出的信号的红外线接收器。

优选的，所述移动门上还设有把手。

优选的，所述箱体的顶部还设有一排气口，所述排气口与所述承载机构连通。

本实用新型的有益效果主要体现在：

1、清洗操作简单，只需将石英管倒扣在承载板上，喷头对准石英管内部清洗，喷嘴可以清洗石英管外壁及石英管上的死角；

2、通过张紧轮将齿轮上的链条中心距进行调节，保证链条包角不致减小过多；

3、结构简单，降低成本，在承载板上设置限位条可用于固定石英管，无需设置清洗腔放置石英管，降低成本；

4、通过发射器和接收器感应移门是否闭合，移门的设置将清洗部与外部隔开，避免清洗石英管时其内部液体或者清洗液溢出；

5、自动化设计，在齿轮上设置有传感器，可有其记录石英管在清洗时的旋转圈数，在圈数达到限定数量时停止清洗。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

图1：本实用新型立体图；

图2：本实用新型图中；

图3：本实用新型移门第一方向结构示意图；

图4：本实用新型移门第二方向结构示意图；

图5：本实用新型图石英管结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限于本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

不限于本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

一种全自动化石英管清洗装置，包括箱体1，承载机构2，驱动组件3，控制组件4和微型电机5。所述箱体1上还设有支撑柱11，所述支撑柱11上枢轴设有一张紧齿轮12，所述张紧齿轮12与所述链条38紧贴；所述承载机构2位于所述箱体1内；所述承载机构2与所述驱动组件3通过链条38连接；所述控制组件4用以控制所述承载机构2旋转圈数；所述微型电机5穿过所述箱体1顶端的挡板51。

如图1至2所示，所述箱体1上还设有一固定块35，所述固定块35上设有一可自转地旋转柱36，所述旋转柱36通过轴承枢轴设置在所述固定块35上，当然，也可采用其他枢轴连接结构，均属于本实用新型的保护范畴。

所述箱体1上还设有支撑柱11，所述支撑柱11上枢轴设有一张紧齿轮12，所述张紧齿轮12与所述链条38紧贴。所述箱体1的顶部还设有一排气口13，所述排气口13与所述承载机构2连通。

所述承载机构2固接在所述旋转柱36上，且所述承载机构2设置在所述箱体1内用以承载倒扣放置的石英管100，所述承载机构2的圆心设有一开口21；所述开口21下放置有喷头（图中未示出），所述喷头可面向所述石英管100的内壁进行喷淋。

承载板22固设在所述承载机构2中的所述旋转柱36上，所述承载板22上开设有一组用以排除清洗液的排水口23和用以对所述石英管100死角进行喷淋清洗的喷嘴24，所述喷嘴24由阀门25控制。所述承载板22上还设有用以将所述石英管100限位的限位块26和限位条27。

驱动组件3用于驱动所述承载机构2绕所述喷头转动，所述驱动组件3包括设置在所述箱体1内的L形的固定板31，所述固定板31上固设有一驱动电机32，所述驱动电机32的电机轴通过联轴器与转轴33固接，所述转轴33穿过所述固定板31，且转轴33上固设有一第一主动齿轮34和第二主动齿轮41；所述旋转柱36上固设有一第一从动齿轮37，所述第一从动齿轮37和第一主动齿轮34之间通过链条38连接。

所述控制组件4包括固设在所述固设在所述转轴33上的第二主动齿轮41，所述固定板31上固设有一第二从动齿轮42，所述第二主动齿轮41和所述第二从动齿轮42相啮合。所述第二从动齿轮42上还固设有一卡片43；所述固定板31上固设有一支撑块44，所述支撑块44上固设有一位移传感器45，所述位移传感器45用于记录放置在所述承载板22上石英管100的旋转圈数；部分所述卡片43可延伸至设置在所述位移传感器45上的测量口46内。

如图3至4所示，微型电机5的电机轴贯穿固设在箱体1的挡板51与呈十字形的锁止爪52固接，所述锁止爪52与所述移动门53的内壁紧贴；所述移动门53上还设有把手58。所述挡板51与所述微型电机5的电机轴之间通过旋转轴承54连接。

所述微型电机5的电机轴上还固设有一转盘57，所述转盘57上固设有一红外线发射器55，所述挡板51上固设有用以接受所述红外线发射器55发射出的信号的红外线接收器56。当然，也可为其他感应装置，均属于本实用新型的保护范畴，不做过多赘述。

工作过程：

将待清洗的石英管100放置于承载板22上；

微型电机5驱动与其固接的锁止爪52转动从而带动移动门53转动直至所述移动门53完全关闭；

驱动电机32驱动转轴33转动，所述转轴33的转动带动第一主动齿轮34和第二主动齿轮41旋转，所述第一主动齿轮34驱动与其通过链条38连接的第一从动齿轮37转动；所述第一从动齿轮37带动承载板22绕所述承载板圆心下方的喷头旋转进行喷洗石英管100的内壁，所述承载板22上的喷嘴24对石英管100上死角处清洗；

同时，所述第二主动齿轮41驱动与其啮合的第二从动齿轮42转动；所述第二从动齿轮42上固设的位移传感器45记录石英管100的旋转圈数，在石英管100达到指定圈数时所述驱动电机32停止；

所述移动门53打开，并取出石英管100。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种全自动化石英管清洗装置，包括箱体（1）以及设置在所述箱体（1）内用以承载倒扣放置的石英管（100）的承载机构（2），其特征在于：所述承载机构（2）的圆心设有一开口（21）；所述开口（21）下放置有喷头，可面向所述石英管（100）的内壁进行喷淋；所述箱体（1）上还设有驱动所述承载机构（2）绕所述喷头转动的驱动组件（3）和用以控制所述承载机构（2）旋转圈数的控制组件（4）。

2.根据权利要求1所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述驱动组件（3）包括设置在所述箱体（1）内的L形的固定板（31），所述固定板（31）上固设有一驱动电机（32），所述驱动电机（32）的电机轴通过联轴器与转轴（33）固接，所述转轴（33）上固设有一第一主动齿轮（34）；所述箱体（1）上还设有一固定块（35），所述固定块（35）上设有一可自转地旋转柱（36），所述旋转柱（36）上固设有一第一从动齿轮（37），所述第一从动齿轮（37）和第一主动齿轮（34）之间通过链条（38）连接；所述承载机构（2）固接在所述旋转柱（36）上。

3.根据权利要求2所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述控制组件（4）包括固设在所述固设在所述转轴（33）上的第二主动齿轮（41），所述固定板（31）上固设有一第二从动齿轮（42），所述第二从动齿轮（42）和所述第二主动齿轮（41）相啮合；所述第二从动齿轮（42）上还固设有一卡片（43），所述固定板（31）上固设有一支撑块（44），所述支撑块（44）上固设有一位移传感器（45），部分所述卡片（43）可延伸至设置在所述位移传感器（45）上的测量口（46）内。

4.根据权利要求2所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述箱体（1）上还设有支撑柱（11），所述支撑柱（11）上枢轴设有一张紧齿轮（12），所述张紧齿轮（12）与所述链条（38）紧贴。

5.根据权利要求2所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述承载机构（2）包括固设在所述旋转柱（36）上的承载板（22），所述承载板（22）上开设有一组用以排除清洗液的排水口（23）和用以对所述石英管（100）死角进行喷淋清洗的喷嘴（24），所述喷嘴（24）由阀门（25）控制。

6.根据权利要求5所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述承载板（22）上还设有用以将所述石英管（100）限位的限位块（26）和限位条（27）。

7.根据权利要求1所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述箱体（1）上还固设有一微型电机（5），所述微型电机（5）的电机轴贯穿固设在箱体（1）的挡板（51）与呈十字形的锁止爪（52）固接，所述锁止爪（52）与移动门（53）的内壁紧贴；所述挡板（51）与所述微型电机（5）的电机轴之间通过旋转轴承（54）连接。

8.根据权利要求7所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述微型电机（5）的电机轴上还固设有一转盘（57），所述转盘（57）上固设有一红外线发射器（55），所述挡板（51）上固设有用以接受所述红外线发射器（55）发射出的信号的红外线接收器（56）。

9.根据权利要求7所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述移动门（53）上还设有把手（58）。

10.根据权利要求1所述的全自动化石英管清洗装置，其特征在于：所述箱体（1）的顶部还设有一排气口（13），所述排气口（13）与所述承载机构（2）连通。

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