CN210777094U - 一种芯片切割液流量监测报警装置 - Google Patents
一种芯片切割液流量监测报警装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210777094U CN210777094U CN201922273954.0U CN201922273954U CN210777094U CN 210777094 U CN210777094 U CN 210777094U CN 201922273954 U CN201922273954 U CN 201922273954U CN 210777094 U CN210777094 U CN 210777094U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipe
- welding
- guide arm
- piston
- flow monitoring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 9
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 210000003734 kidney Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种芯片切割液流量监测报警装置，包括方管，所述方管的上侧焊接有贯穿的圆管，所述圆管的内腔滑动连接有活塞，所述活塞的上端固定连接有圆柱形的导杆，所述导杆的上端口固定安装有衬套，所述导杆贯穿衬套并与其滑动连接，所述导杆的顶部焊接有圆形的顶板，所述顶板与衬套间连接有弹簧，所述圆管的上端设有外螺纹且螺接有圆筒，所述圆筒的顶部安装有贯穿的接近开关。使用时切割液从右端进入左端流出，切割液从圆孔进入圆管内并将活塞向上顶升，切割液的流量越大，导杆的上升高度就越大，当流量的阈值达到设定值时，顶板上移与接近开关的触头接触，触发报警信号，提醒工作人员及时调节流量，提高切割的成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片加工技术领域，具体为一种芯片切割液流量监测报警装置。
背景技术
半导体芯片制造过程中，晶粒一般呈矩形排列在芯片表面，芯片表面沿晶粒四周设有格子状的切割道，用以分隔各晶粒。目前普遍用金刚石刀具逐一对准切割道进行一次横向切割和一次纵向切割，从而分离晶粒。在切割的额过程为防止摩擦生热造成芯片损坏，需要对切割处喷洒切割液，目前的切割装置缺少流量监控报警器，如果切割液的流量过大，那么切割液喷出的冲击力较大，容易造成芯片变形损坏。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种芯片切割液流量监测报警装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片切割液流量监测报警装置，包括方管，所述方管的上侧焊接有贯穿的圆管，所述圆管的内腔滑动连接有活塞，所述活塞的上端固定连接有圆柱形的导杆，所述导杆的上端口固定安装有衬套，所述导杆贯穿衬套并与其滑动连接，所述导杆的顶部焊接有圆形的顶板，所述顶板与衬套间连接有弹簧，所述圆管的上端设有外螺纹且螺接有圆筒，所述圆筒的顶部安装有贯穿的接近开关，所述圆管的右侧壁设有贯穿的圆孔，所述圆管的左侧壁设有长条形的腰圆孔。
优选的，所述方管的两端焊接有方转圆接头，所述方转圆接头的外端焊接有连接套，所述连接套的内腔设有内螺纹。
优选的，所述活塞的外侧设有环槽，所述环槽中卡接有环形的橡胶密封圈。
优选的，所述圆管的下端与方管的内腔底部焊接，所述圆管的左右两侧焊接有矩形的隔板，所述隔板的另外三侧与方管的内壁焊接，所述圆管上焊接有环形的挡圈。
优选的，所述接近开关的触头位于顶板的正上方，所述弹簧套接在导杆上。
优选的，所述圆孔的面积大于腰圆孔的面积，所述圆孔与腰圆孔的最小水平间距大于活塞的高度。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：使用时切割液从右端进入左端流出，切割液从圆孔进入圆管内并将活塞向上顶升，圆孔和腰圆孔导通，切割液的流量越大，对活塞的压力就越大、导杆的上升高度就越大，当流量的阈值达到设定值时，顶板上移与接近开关的触头接触，触发报警信号，提醒工作人员及时调节流量，提高切割的成品率。
附图说明
图1为本实用新型内部结构示意图；
图2为本实用新型局部剖视结构示意图；
图3为本实用新型侧视结构示意图。
图中：1、方管；2、方转圆接头；3、连接套；4、圆管；5、圆孔；6、腰圆孔；7、活塞；8、橡胶密封圈；9、衬套；10、导杆；11、弹簧；12、顶板；13、接近开关；14、圆筒；15、挡圈；16、隔板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种芯片切割液流量监测报警装置，包括方管1，方管1的两端焊接有方转圆接头2，方转圆接头2的外端焊接有连接套3，连接套3的内腔设有内螺纹，连接套3用于和切割液管道连接。
方管1的上侧焊接有贯穿的圆管4，圆管4的内腔滑动连接有活塞7，活塞7的外侧设有环槽，环槽中卡接有环形的橡胶密封圈8，防止切割液从活塞7的边侧缝隙穿过。
活塞7的上端固定连接有圆柱形的导杆10，导杆10的上端口固定安装有衬套9，导杆10贯穿衬套9并与其滑动连接，导杆10的顶部焊接有圆形的顶板12，顶板12与衬套9间连接有弹簧11。
圆管4的上端设有外螺纹且螺接有圆筒14，圆筒14的顶部安装有贯穿的接近开关13，接近开关13的触头位于顶板12的正上方，圆管4的右侧壁设有贯穿的圆孔5，圆管4的左侧壁设有长条形的腰圆孔6，圆管4的下端与方管1的内腔底部焊接，切割液从圆孔5进入，将活塞7向上顶升，然后从腰圆孔6流出。
圆管4的左右两侧焊接有矩形的隔板16，隔板16的另外三侧与方管1的内壁焊接，圆管4上焊接有环形的挡圈15，圆孔5的面积大于腰圆孔6的面积，圆孔5与腰圆孔6的最小水平间距大于活塞7的高度，当没有切割液流通时，活塞7位于圆管4和腰圆孔6之间。
工作原理：使用时用过连接套3将本装置连接到切割液的输送管道中，切割液从右端进入左端流出。切割液从圆孔5进入圆管4内，将活塞7向上顶升，圆孔5和腰圆孔6导通，在管径固定的情况下，流量越大切割液对活塞7的压力越大、弹簧11的拉升量越大、导杆10的上升高度越大，当流量的阈值达到设定值时，顶板12上移到最高点与接近开关13的触头接触，接近开关13与报警器连接，使得报警器发现警报。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种芯片切割液流量监测报警装置，包括方管（1），其特征在于：所述方管（1）的上侧焊接有贯穿的圆管（4），所述圆管（4）的内腔滑动连接有活塞（7），所述活塞（7）的上端固定连接有圆柱形的导杆（10），所述导杆（10）的上端口固定安装有衬套（9），所述导杆（10）贯穿衬套（9）并与其滑动连接，所述导杆（10）的顶部焊接有圆形的顶板（12），所述顶板（12）与衬套（9）间连接有弹簧（11），所述圆管（4）的上端设有外螺纹且螺接有圆筒（14），所述圆筒（14）的顶部安装有贯穿的接近开关（13），所述圆管（4）的右侧壁设有贯穿的圆孔（5），所述圆管（4）的左侧壁设有长条形的腰圆孔（6）。
2.根据权利要求1所述的一种芯片切割液流量监测报警装置，其特征在于：所述方管（1）的两端焊接有方转圆接头（2），所述方转圆接头（2）的外端焊接有连接套（3），所述连接套（3）的内腔设有内螺纹。
3.根据权利要求1所述的一种芯片切割液流量监测报警装置，其特征在于：所述活塞（7）的外侧设有环槽，所述环槽中卡接有环形的橡胶密封圈（8）。
4.根据权利要求1所述的一种芯片切割液流量监测报警装置，其特征在于：所述圆管（4）的下端与方管（1）的内腔底部焊接，所述圆管（4）的左右两侧焊接有矩形的隔板（16），所述隔板（16）的另外三侧与方管（1）的内壁焊接，所述圆管（4）上焊接有环形的挡圈（15）。
5.根据权利要求1所述的一种芯片切割液流量监测报警装置，其特征在于：所述接近开关（13）的触头位于顶板（12）的正上方，所述弹簧（11）套接在导杆（10）上。
6.根据权利要求1所述的一种芯片切割液流量监测报警装置，其特征在于：所述圆孔（5）的面积大于腰圆孔（6）的面积，所述圆孔（5）与腰圆孔（6）的最小水平间距大于活塞（7）的高度。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922273954.0U CN210777094U (zh) | 2019-12-18 | 2019-12-18 | 一种芯片切割液流量监测报警装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922273954.0U CN210777094U (zh) | 2019-12-18 | 2019-12-18 | 一种芯片切割液流量监测报警装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210777094U true CN210777094U (zh) | 2020-06-16 |
Family
ID=71046054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922273954.0U Expired - Fee Related CN210777094U (zh) | 2019-12-18 | 2019-12-18 | 一种芯片切割液流量监测报警装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210777094U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114624355A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-06-14 | 贵州安康医学检验中心有限公司 | 医学检测取样装置 |
-
2019
- 2019-12-18 CN CN201922273954.0U patent/CN210777094U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114624355A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-06-14 | 贵州安康医学检验中心有限公司 | 医学检测取样装置 |
| CN114624355B (zh) * | 2022-03-07 | 2023-10-13 | 贵州安康医学检验中心有限公司 | 医学检测取样装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN210777094U (zh) | 一种芯片切割液流量监测报警装置 | |
| CN211855807U (zh) | 一种用于阀体的检测装置 | |
| CN217846415U (zh) | 一种采用斜面斜刃口针头的弹簧探针 | |
| CN212690938U (zh) | 一种集成阀组 | |
| CN206550749U (zh) | 一种冷却液喷嘴 | |
| CN218719034U (zh) | 一种液相单向阀 | |
| CN211040026U (zh) | 一种给水排水管道连接装置 | |
| CN212418738U (zh) | 一种截止阀接头孔检测工装结构 | |
| CN215171218U (zh) | 破碎机用油缸 | |
| CN206643069U (zh) | 一种便于添加液输入的进水连接装置 | |
| CN203730260U (zh) | 浆体管道输送位移自检筒式隔离罐 | |
| CN111982412B (zh) | 一种塑料瓶加工用漏气检测装置 | |
| CN210623731U (zh) | 一种用于阀门轴的带槽密封橡胶圈 | |
| CN219119195U (zh) | 一种漏液式油管悬挂装置 | |
| CN219502974U (zh) | 一种碟式分离机用油路监测装置 | |
| CN221386890U (zh) | 管式离心机底部防漏液结构 | |
| CN212203258U (zh) | 一种混凝土泵管的止回装置 | |
| CN216206101U (zh) | 一种新型过滤材料孔径测试装置 | |
| CN216206868U (zh) | 一种鸭嘴磁簧七格水位探头 | |
| CN220789882U (zh) | 一种密度套环装置 | |
| CN220918391U (zh) | 一种动态泵用药液过滤器 | |
| CN110608372B (zh) | 防击穿装置及防击穿排水器 | |
| CN209230865U (zh) | 用于隔离变送器和腐蚀介质的感压膜座 | |
| CN210950028U (zh) | 一种锥面硬密封的燃油开关 | |
| CN220435390U (zh) | 一种新型活塞杆 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200616 |