CN210765480U - 蒸发源分配装置及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，提供一种蒸发源分配装置及蒸镀装置，蒸发源分配装置包括盖体与底座，底座包括装配座，装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；盖体包括分配部，分配部内部设分配腔，分配部上间隔地开设多个出气孔，出气孔连通至分配腔；盖体与装配座装配式连接，装配座能盖合于分配腔的开放面；进气口连通至分配腔。本申请实施例中蒸发源分配装置的盖体与底座为装配式连接结构，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。

Description

蒸发源分配装置及蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，特别涉及一种蒸发源分配装置及蒸镀装置。

背景技术

随着科技的发展，铜铟镓硒(简称：CIGS)太阳能电池板的应用越来越广泛，CIGS太阳能电池板包括CIGS膜层，且通常使用蒸镀装置来制备CIGS膜层。

蒸镀装置包括蒸镀腔、分配管、金属源蒸发源以及硒源蒸发源。在制备GIGS膜层的过程中，需要将金属源放入金属源蒸发源、硒源放入硒源蒸发源，并将基板以及该金属源蒸发源和硒源蒸发源放入蒸镀腔内，使得金属源蒸发源以及硒源蒸发源均正对基板，分配管与硒源蒸发源连通。之后加热金属源蒸发源，以使得金属源熔化后向基板辐射金属粒子，并加热硒源蒸发源，以使得硒源蒸发出硒蒸汽，该硒蒸汽会进入分配管，并经分配管分配后到达基板，以使得基板上的金属粒子以及硒蒸汽反应形成GIGS膜层。

在真空蒸镀设备中，为了提高蒸发源扩散的均匀性，会采用一些辅助扩散的开孔管状结构，这类管状结构的装置被称作分配器。一般分配器包括分配管以及进气管，分配管上开设有多个出气孔。维护清理时需要非常小心避免磕碰，局部部位甚至无法清理到位，更换频率高，使用成本高。

这类分配器再加工难度大，需要调整蒸发源均匀性时，很难再开孔或封堵孔位。现设备中常见的分配器结构简单，为竖直与水平的管路连接，然后在水平管路上开孔，用于蒸发物质的扩散，受限于水平管路的形状，扩散范围与扩散角度固定，导致大范围检测时，均匀性不佳，被加工镀件上的镀层呈现出一种中间向两侧逐渐变薄的扇形分布。

另外一方面，现有分配装置一般采用耐腐蚀/高温的石英或高分子陶瓷材质。此类材质的耐受性较好，但缺点在于易碎且在温度急剧变化时容易发生应力破损。

实用新型内容

为解决现有技术中蒸发源分配装置不易清理、维护困难的问题，本实用新型的一个主要目的在于，提供一种更易于使用中清理和维护的蒸发源分配装置及蒸镀装置。

本实用新型的另一个主要目的在于克服上述现有技术的分配不均匀的缺陷，提供一种可提供更佳分配效果的蒸发源分配装置及蒸镀装置。

为实现上述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：

根据本实用新型的一个方面，提供了一种蒸发源分配装置，包括盖体与底座，所述底座包括装配座，所述装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；所述盖体包括分配部，所述分配部内部设分配腔，所述分配部上间隔地开设多个出气孔，所述出气孔连通至所述分配腔；所述盖体与所述装配座装配式连接，所述装配座能盖合于所述分配腔的开放面；所述进气口连通至所述分配腔。通过多个所述出气孔向待加工件表面均匀地送出蒸发源所产生气体。

另一方面，本申请实施例还认为是提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括蒸镀腔、设置于所述蒸镀腔内的一个或多个如前所述的蒸发源分配装置。

由上述技术方案可知，本实用新型的蒸发源分配装置及蒸镀装置的优点和积极效果在于：

相比于原有一体式分配管，本申请实施例中盖体与底座为装配式连接结构，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。能直接提升分配装置的清洗效果，并且，假如其中一部分损坏后，可以通过部分更换来进行维修。

附图说明

通过结合附图考虑以下对本实用新型的优选实施例的详细说明，本实用新型的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本实用新型的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：

图1为本实用新型实施例提供的蒸发源分配装置的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的蒸发源分配装置的结构分解示意图；

图3为本实用新型实施例提供的蒸发源分配装置的使用状态侧视图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

图1为本实用新型实施例提供的蒸发源分配装置的立体结构示意图，以及图2为本实用新型实施例提供的蒸发源分配装置的结构分解示意图；参照如图所示意，本申请实施例提供一种蒸发源分配装置1，主要包括盖体11与底座12，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。

参照图中所示例，底座12包括面向盖体11的装配座121，装配座121开设有进气口122(见图2)，进气口122用于通入蒸发源所产生气体；同时，底座12还可以选择设置外接的进气管123，进气口122可通过进气管123接通至蒸发源，或者也可以认为进气管123为蒸发源自身的出气管，也就是说进气管123内还可用于设置有能产生加工气体的蒸发源。

其中盖体11主要包括分配部111与连接部112，分配部111内部设有用于分配及均化工艺气体的分配腔，且分配部111上间隔地开设多个出气孔113，出气孔113连通至分配腔；盖体11可通过连接部112与装配座121装配式连接，装配座121能盖合于分配腔的开放面，以形成闭合的分配腔；同时，进气口122连通至分配腔，以向分配腔内供应蒸发源产生的工艺气体。

应该理解的是，连接部112与装配座121的装配式连接可选择法兰式装配结构。也就是说，连接部112是一体形成于分配部111底部边缘的方形板片，而装配座121是与连接部112面对面对接的一个板件，连接部112与装配座121对应的位置上均开设多个装配孔，可通过螺栓与螺母的组合将连接部112与装配座121压紧连接，连接部112与装配座121两者之间具有对接的密封平面，以此实现密封连接。本领域技术可以理解的是，装配连接的形式并不以此为限，只要能实现可装配式紧固连接即可，比如，可将连接部112或装配座121其中一个设为侧面开放的滑槽，另一个板件卡入后再利用螺栓或其他紧固件压紧即可。

再如图中所示例，为了适配镀件尺寸，蒸发源分配装置1整体可呈长条形，如此，底座12上可设两个或两个以上的进气口122。进气口122的数量视镀件尺寸大小进行选择，可根据下方通道的蒸发源数量适配地选择。

如图中所示例，分配部111的形状可选择为截面(垂直于分配部111长度方向轴线的截面)呈半圆形或半椭圆形，各个出气孔113的开设方向均选择与分配部111外表面垂直，也就是说这些出气孔113的轴线可选择为均通过该分配部111的轴线。分配部111两个端部114外形可呈面形或椭圆球面形，端部114可与分配部111同轴设置，且端部114开还设有呈弧形排列的出气孔113，此弧形的弧顶位于端部114的中部，同样的端部的各个出气孔113的开设方向均选择与端部114外表面垂直，也就是说这些出气孔113的轴线可选择为均过该分配部111的轴线与该端部114圆心重合的位置。如此设置，是为了将分配部中气体尽量向外扩散，以增大作用面积，减少一个蒸镀装置中分配装置1的使用数量，从而降低成本。

本领域技术人员可以理解的是，出气孔113的朝向也可以统一向一个方向，比如图中显示的均面向上方。但是，依据前面介绍，在需要更大扩散面积需求的技术方案中，以前一段落中所提出的各个出气孔113的开设方向均选择与分配部111外表面垂直为较优选择。

再一方面，在针对出气孔113的一具体示例性方案中，分配部111主体上的多个出气孔113可以选择分布为顺分配部111长度方向轴线方向排列的多排，包括位于中部的中排S1，及位于中排S1一侧的第一侧排S2以及第二侧排S3，以及相对于中排S1与第一侧排S2以及第二侧排S3对称关系的第三侧排S4以及第四侧排S5。这其中，中排S1至第一侧排S2之间的间距，大于第一侧排S2至第二侧排S3之间的间距。以此设置是为了实现，分配部111上的出气孔113密度由邻近进气口122的一侧向远离进气口122的一侧逐渐减小。如此实施后，通过对两侧的出气孔加密，以均化中排S1位置的出气孔113的出气量，以便于使得分配部111全部作用面积上的出气量均匀。

本申请实施例中，盖体11以及/或者底座12材质可选择为耐高温且耐硒化的石英、陶瓷或金属材料。石英、陶瓷材质的实施例中，两者可以分别加工成型，之后再装配使用。

可以理解的是，其中所述的耐高温且耐硒化的金属材料可以选择为钛(Ti)、铬(Gr)、钼(Mo)、钨(W)或包含这些金属的合金。

本申请实施例中，盖体11以及/或者底座12材质较佳为选择为钛(Ti)、钼(Mo)、钛合金或钼合金，钛、钼、钛合金或钼合金已在产业中应用，确实可以达到耐高温且耐硒化的作用，同时具有性价比更高的优势。

而另一实施例中，盖体11以及/或者底座12材质为耐高温金属材料，比如选择为成本较低的钢、铝、铝合金、不锈钢成型，之后表面成型有耐硒化材料涂层或耐硒化材料镀层。可以理解的是，耐硒化材料可选择为钛、铬、钼、钨或包含这些金属的合金，当然也可以选择为陶瓷材质覆层。较佳实施例中选择为钼或其合金。

请参照图3所示，本申请实施例还可以认为是提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括蒸镀腔、设置于蒸镀腔内的一个或多个如前面实施例中给出的蒸发源分配装置。上述实施例的蒸发源分配装置，较佳应用为与硒源蒸发源配合的分配。参照图3所示意，应用上述实施例中的分配装置后，被加工镀件2上的镀层3呈现可以呈现为全部面种上的均匀分布，提高了蒸镀品质。另一方面本领域技术人员可以理解的是，上述实施例的蒸发源分配装置，也可应用为与金属蒸发源配合的气体分配，并不以上此为具体限制。

以上结合附图示例说明了本实用新型的一些优选实施例式。本实用新型所属技术领域的普通技术人员应当理解，上述具体实施方式部分中所示出的具体结构和工艺过程仅仅为示例性的，而非限制性的。而且，本实用新型所属技术领域的普通技术人员可对以上所述所示的各种技术特征按照各种可能的方式进行组合以构成新的技术方案，或者进行其它改动，而都属于本实用新型的范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸发源分配装置(1)，其特征在于，包括盖体(11)与底座(12)，

所述底座(12)包括装配座(121)，所述装配座(121)设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口(122)；

所述盖体(11)包括分配部(111)，所述分配部(111)内部设分配腔，所述分配部(111)上间隔地开设多个出气孔(113)，多个所述出气孔(113)连通至所述分配腔；所述盖体(11)与所述装配座(121)装配式连接，所述装配座(121)能盖合于所述分配腔的开放面；所述进气口(122)连通至所述分配腔。

2.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述盖体(11)在面向所述底座(12)的一侧还设置有连接部(112)，所述盖体(11)通过所述连接部(112)与所述装配座(121)装配式连接。

3.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述蒸发源分配装置(1)整体呈长条形，所述底座(12)上设两个或两个以上的所述进气口(122)。

4.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述分配部(111)横截面呈半圆形或半椭圆形，各个出气孔(113)的开设方向均与所述分配部(111)外表面垂直。

5.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述底座(12)还包括进气管(123)，所述进气口(122)通过所述进气管(123)接通至所述蒸发源。

6.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述分配部(111)两个端部(114)外形呈圆球面形或椭圆球面形，所述端部(114)开设有呈弧形排列的出气孔(113)，此弧形的弧顶位于端部(114)的中部。

7.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述分配部(111)上的多个所述出气孔(113)分布为顺所述分配部(111)长度方向轴线方向排列的多排，包括位于中部的中排(S1)，及位于所述中排(S1)一侧的第一侧排(S2)以及第二侧排(S3)，以及相对于所述中排(S1)与所述第一侧排(S2)以及所述第二侧排(S3)对称关系的第三侧排(S4)以及第四侧排(S5)。

8.如权利要求7所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述中排(S1)至所述第一侧排(S2)之间的间距，大于所述第一侧排(S2)至所述第二侧排(S3)之间的间距。

9.如权利要求1至8任一项所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述盖体(11)以及/或者底座(12)材质为金属材料。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括蒸镀腔、设置于所述蒸镀腔内的一个或多个如权利要求1至9任一项所述的蒸发源分配装置。

Images