CN210758405U - 一种用于 ito 靶材冷压固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于ITO靶材冷压固定装置，包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板，所述固定板侧边设有固定凹槽，所述固定板上均匀排布有透压圆孔；在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方，然后用皮筋夹紧夹稳，使其连成一体；再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压，透压圆孔在让冷压过程中，使水可以自由均匀地从固定板中穿过，进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材，从而不影响冷压的效果；可使靶材结构完整性得到了很好的保护，外观上没有明显裂纹，靶材亦未出现进水现象；可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性，为进一步的加工带来更大的便利。
Description
技术领域
本实用新型涉及ITO靶材领域，特别涉及一种用于ITO靶材冷压固定装置
背景技术
在传统的冷压方式下对块状ITO靶材进行冷压时，会导致ITO靶材由于各个方向都受力，因此ITO靶材在冷压后会呈现出四分五裂的现象。此时，对ITO 靶材的完整程度造成极大的破坏，同时亦导致对ITO靶材的进一步加工变得相当困难。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种令ITO靶材经冷压处理后，可在致密程度提高的同时，保持外观完整的冷压固定装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种用于ITO靶材冷压固定装置，包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板，所述固定板侧边设有固定凹槽，所述固定板上均匀排布有透压圆孔；所述固定板通过与固定凹槽配合的皮筋固定；所述固定板采用PVC材料，规格为 180mm×150mm×10mm；所述透压圆孔直径为20mm。
本实用新型的有益效果是：本冷压固定装置在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方，然后用皮筋夹紧夹稳，使其连成一体；再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压，透压圆孔在让冷压过程中，使水可以自由均匀地从固定板中穿过，进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材，从而不影响冷压的效果；可使靶材结构完整性得到了很好的保护，外观上没有明显裂纹，靶材亦未出现进水现象；可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性，为进一步的加工带来更大的便利。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的示意图。
具体实施方式
参照图1，一种用于ITO靶材冷压固定装置，包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板，在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方，固定板规格为180mm×150mm×10mm；然后用皮筋夹紧在固定凹槽内，使固定板与ITO靶材间夹稳并连成一体；再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压，固定板上的额透压圆孔在让冷压过程中，使水可以自由均匀地从固定板中穿过，进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材，从而不影响冷压的效果，透压圆孔可采用直径为20mm的圆孔，同时采用7×6的排列方式；可使靶材结构完整性得到了很好的保护，外观上没有明显裂纹，靶材亦未出现进水现象；可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性，为进一步的加工带来更大的便利。
Claims (1)
1.一种用于ITO靶材冷压固定装置，其特征在于，包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板(1)，所述固定板(1)侧边设有固定凹槽(2)，所述固定板(1)上均匀排布有透压圆孔(3)；所述固定板(1)通过与固定凹槽(2)配合的皮筋固定；所述固定板(1)采用PVC材料，规格为180mm×150mm×10mm；所述透压圆孔(3)直径为20mm。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201822035850.1U CN210758405U (zh) | 2018-12-05 | 2018-12-05 | 一种用于 ito 靶材冷压固定装置 |
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|---|---|---|---|
| CN201822035850.1U CN210758405U (zh) | 2018-12-05 | 2018-12-05 | 一种用于 ito 靶材冷压固定装置 |
Publications (1)
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| CN210758405U true CN210758405U (zh) | 2020-06-16 |
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| CN201822035850.1U Active CN210758405U (zh) | 2018-12-05 | 2018-12-05 | 一种用于 ito 靶材冷压固定装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN210758405U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113352433A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-07 | 芜湖映日科技股份有限公司 | 一种用于平面ito靶材冷等静压的包装方法 |
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2018
- 2018-12-05 CN CN201822035850.1U patent/CN210758405U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN113352433A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-07 | 芜湖映日科技股份有限公司 | 一种用于平面ito靶材冷等静压的包装方法 |
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| GR01 | Patent grant | ||
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