CN210699098U - 一种插片机分片水路反冲装置及插片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种插片机分片水路反冲装置及插片机，该插片机分片水路反冲装置包括水箱、水泵、喷头、过滤器和排污管，过滤器包括进水部、过滤部和出水部，进水部与水泵相连，出水部与喷头相连，过滤部与进水部及出水部均相连，过滤部上设有反冲口；反冲口与外部水源或者外部气源相连，外部水源可朝向反冲口输送反冲水流，外部气源可朝向反冲口输送反冲气流，外部水源或者外部气源与反冲口之间设有反冲阀，排污管的一端连接在进水部和水箱的出水管之间。反冲水流或者反冲气流可将过滤部的杂物冲入排污管。该插片机分片水路反冲装置能够保证整个分片水路的通畅性，提高分片水路的分片效率。

Description

一种插片机分片水路反冲装置及插片机

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种插片机分片水路反冲装置及插片机。

背景技术

现有的插片机分片水路，由于硅片切割过程中的硅粉、树脂版粉末、切割液等物质凝聚，会造成管路和喷头堵塞，目前的解决方法是在水箱或管路中增加过滤网或过滤器,在实际使用过程中需要根据过滤网堵塞的情况不定时的摘下进行清洗，但是在清洗过程中会混入碎硅片和杂物造成二次堵塞。此外，管道中的粘稠聚集物堵塞管道，需不定时的将喷头拆卸进行清洗，从而降低了插片机分片水路的分片效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种插片机分片水路反冲装置，该插片机分片水路反冲装置能够保证整个分片水路的通畅性，提高分片水路的分片效率。

本实用新型的另一个目的在于提出一种插片机，该插片机具有较高的分片效率。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

一种插片机分片水路反冲装置，包括依次相连的水箱、水泵和喷头，所述插片机分片水路反冲装置还包括：过滤器，所述过滤器包括进水部、过滤部和出水部，所述进水部与所述水泵相连，所述出水部与所述喷头相连，所述过滤部与所述进水部及所述出水部均相连，所述过滤部上设有反冲口；所述反冲口与外部水源或者外部气源相连，所述外部水源可朝向所述反冲口输送反冲水流，所述外部气源可朝向所述反冲口输送反冲气流，所述外部水源或者所述外部气源与所述反冲口之间设有反冲阀；排污管，所述排污管的一端连接在所述进水部和所述水箱的出水管之间，其中：所述反冲水流或者所述反冲气流可将所述过滤部的杂物冲入所述排污管。

在一些实施例中，所述的插片机分片水路反冲装置，还包括：反冲单向阀，所述反冲单向阀设在所述反冲阀与所述反冲口之间，所述反冲单向阀被配置为允许所述反冲气流或者反冲水流由所述反冲阀流向所述反冲口。

在一些具体的实施例中，所述的插片机分片水路反冲装置，还包括：减压阀，所述减压阀设在所述反冲单向阀和所述反冲阀之间。

在一些实施例中，所述排污管的一端连接在所述水泵和所述进水部之间，所述排污管与所述水泵之间设有第一单向阀，所述第一单向阀被配置允许液体由所述水泵流向所述排污管。

在一些具体的实施例中，所述排污管上设有排污阀。

在一些具体的实施例中，所述反冲源为气泵，所述排污管上还设有液体传感器，在液体的流动方向上，所述排污阀位于所述液体传感器的下游，所述排污阀可根据所述液体传感器的检测结果开闭。

在一些实施例中，所述排污管的一端连接在所述水箱的出水管与所述水泵之间，所述出水管上设有第二单向阀，在水流的流动方向上，所述第二单向阀位于所述排污管的上游，所述第二单向阀被配置允许液体由所述出水管流向所述水箱。

在一些实施例中，所述排污管上设有排污单向阀，所述排污单向阀被配置阻止液体由所述排污管流向所述水泵。

在一些实施例中，所述过滤器为Y型过滤器。

一种插片机，包括所述的插片机分片水路反冲装置。

本实用新型的插片机分片水路反冲装置，由于过滤部上设有与外部水源或者外部气源相连的反冲口，反冲口和外部水源或者外部气源之间设有反冲阀，能够实现在拆篮和装篮的间隙对水路管道、过滤部以及喷头进行清洗，保证了整个分片水路的通畅性，提高了分片水路的分片效率。

本实用新型实施例的插片机，由于具有前文所述的插片机分片水路反冲装置，分片水路分片效率较高从而提升了插片机的分片效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例的插片机分片水路反冲装置的结构示意图。

图2是图1所述的插片机分片水路反冲装置在反冲状态下的示意图。

图3是本实用新型另一个实施例的插片机分片水路反冲装置的结构示意图。

图4是图3所述的插片机分片水路反冲装置在反冲状态下的示意图。

附图标记：

1、水箱；2、水泵；3、喷头；4、过滤器；41、进水部；42、过滤部；43、出水部；5、反冲阀；6、排污管；61、排污阀；62、排污单向阀；7、反冲单向阀；8、第一单向阀；9、第二单向阀。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图4描述本实用新型实施例的一种插片机分片水路反冲装置的具体结构。

如图1-图4所示，本实用新型的插片机分片水路反冲装置包括水箱1、水泵2、喷头3、过滤器4和排污管6，过滤器4包括进水部41、过滤部42和出水部43，进水部41与水泵2相连，出水部43与喷头3相连，过滤部42与进水部41及出水部43均相连，过滤部42上设有反冲口；反冲口与外部水源或者外部气源相连，外部水源可朝向反冲口输送反冲水流，外部气源可朝向反冲口输送反冲气流，外部水源或者外部气源与反冲口之间设有反冲阀5，排污管6的一端连接在进水部41和水箱1的出水管之间。

首先需要说明的是，在实际使用过程中，装有硅片的花篮放置在水箱1上部，水泵2将水箱1内的水抽出并且由喷头3朝向硅片喷出，一方面将切割完毕的多个硅片分块便于取片装置将硅片从花篮中取出，另一方面对硅片进行清洁。由于花篮设在水箱1上部，也就是说水箱1的水循环使用时，硅片上的污染物会进入水箱1中从而参与循环，在工作较长时间后管路、喷头3和过滤部42均有污染物堆积，需要人为进行冲洗。

但是在本实用新型中，过滤部42上设有反冲口，反冲口适于与外部水源或者外部气源相连，外部水源可以朝向反冲口输送反冲水流，外部气源可以朝向反冲口输送反冲气流，过滤部42、过滤器4和水泵2之间的连接管道内污物均可在外部气源和外部水源的作用下被冲入排污管6排出，这样实现了对过滤部42和连接管道的免拆卸清洁。此外，外部水流或者外部气流在流向过滤部42的同时还有一部分会流向喷头3，这样也起到了清洁喷头3的作用。

这里需要补充说明的是，当反冲口与外部气源相连且在反冲清洁时，污染物是跟随分片管道中的水流在反冲气流的作用下流向排污管6的。而当反冲口与外部水源相连且在反冲清洁时，污染物是跟随分片管道中的水流以及反冲水流流向排污管6的。

此外，当取片装置将花篮中的全部硅片取出后，机械手可以将空花篮取下，并且将另一个装满硅片的花篮安装在水箱1上部，在这个卸篮和装篮的过程中，水泵2是停止工作的，也就是说此时水泵2不再将水箱1内的水抽出。在本实用新型中，外部水源和外部气源与反冲口之间设有反冲阀5。这样在实际使用过程中在水泵2停止的同时可以打开反冲阀5，从而使得反冲水流或者反冲气流进入分片水路，从而将过滤部42、连接管道内污物冲出并且清洁喷头3。也就是说，冲洗过滤部42、连接管道和喷头3可以在卸篮和装篮的间隙进行，无需停机反冲清洗。这样既能保证过滤部42、连接管道和喷头3的清洁度，保证分片水路的畅通，又能提高分片水路的分片效率。

本实用新型的插片机分片水路反冲装置，由于过滤部42上设有与外部水源或者外部气源相连的反冲口，反冲口和外部水源或者外部气源之间设有反冲阀5，能够实现在拆篮和装篮的间隙对水路管道、过滤部42以及喷头3进行清洗，保证了整个分片水路的通畅性，提高了分片水路的分片效率。

在一些实施例中，如图1-图4所示，插片机分片水路反冲装置还包括反冲单向阀7，反冲单向阀7设在反冲阀5与反冲口之间，反冲单向阀7被配置为允许反冲气流或者反冲水流由反冲阀5流向反冲口。可以理解的是，增设的反向单向阀只允许反冲气流或者反冲水流由于反冲阀5流向反冲口，也就是说在反冲清洁过程中，原本位于水路管道内的水是无法通过反冲单向阀7的，这样保证了反冲水流和反冲气流的清洁力度，从而较好地保证了整个分片水路的洁净度。

在一些具体的实施例中，插片机分片水路反冲装置还包括减压阀(图未示出)，减压阀设在反冲单向阀7和反冲阀5之间。可以理解的是，在反冲清洗的过程中，如果反冲水流或者反冲气流的压强过大可能会导致喷头3开裂或者喷头3飞出，或者水路管道开裂或者水路管道连接处脱开的现象发生。在本实用新型中，增设的减压阀既能保证反冲水流和反冲气流具有足够的压强以实现反冲清洁，又能避免喷头3开裂、分出或者水路管道开裂或者连接处脱开的现象发生，从而保证了反冲清洁能够稳定且安全进行。

在一些实施例中，如图1-图2所示，排污管6的一端连接在水泵2和进水部41之间，排污管6与水泵2之间设有第一单向阀8，第一单向阀8被配置允许液体由水泵2流向排污管6。可以理解的是，由于排水管的一端连接在水泵2和进水部41之间，而反冲水流或者反冲气流在清洁过程中驱动污物跟随水流离开过滤部42，经进水部41流向水泵2。第一单向阀8能够避免带有污物的水流流向水泵2从而进入水箱1的现象发生，从而保证了代用污物的水流能够顺利的从排污管6排出而不参与循环。

在一些具体的实施例中，如图1-图4所示，排污管6上设有排污阀61。可以理解的是，在喷头3喷水分片时可将排污阀61关闭，这样能够避免在喷头3喷水分片时水流从排污管6排出，从而影响水箱1内的液体正常循环使用。

在一些具体的实施例中，排污管6上还设有液体传感器，在液体的流动方向上，排污阀61位于液体传感器的下游，排污阀61可根据液体传感器的检测结果开闭。可以理解的是，当反冲口连接的是外部气源时，反冲气流可以驱动水路管道内残留的液体流向排污管6。由于此时水泵2是停止工作的，因此通入反冲气流一段时间后水路管道内已经没有液体了，此时继续通入反冲气流并不能进一步清洁水路管道和过滤部42。因此，为了避免浪费资源，可以在排污管6上设有液体传感器，当液体传感器检测不到液体时，将反冲阀5关闭，反冲气流不再进入水路管道内部。

在一些实施例中，如图3-图4所示，排污管6的一端连接在水箱1的出水管与水泵2之间，出水管上设有第二单向阀9，在水流的流动方向上，第二单向阀9位于排污管6的上游，第二单向阀9被配置允许液体由出水管流向水泵2。可以理解的是，由于排污管6的一端连接在水箱1的出水管和水泵2之间，因此在反冲清洗的过程中，污物跟随水流依次经过过滤部42、进水部41以及水泵2进入排污管6。第二单向阀9的存在能够避免含有污物的水流进入水箱1从而污染水箱1内的液体，这样保证了反冲清洁的效果，从而保证了分片水路的洁净度。

在一些实施例中，如图3-图4所示，排污管6上设有排污单向阀62，排污单向阀62被配置阻止液体由排污管6流向水箱1。由此，较好地避免了污水倒流从而污染水箱1内的液体的现象，保证了分片水路的洁净度。

在一些实施例中，过滤器4为Y型过滤器。Y型过滤器具有过滤面积大、滤网效率高、使用寿命长等特点，采用Y型过滤器能够较好实现对分片水路内杂物的过滤，保证分片水路的洁净度。

实施例1：

如图1-图2所示，本实施例的插片机分片水路反冲装置包括水箱1、水泵2、喷头3、过滤器4、排污管6、反冲单向阀7和第一单向阀8，过滤器4为Y型过滤器且包括进水部41、过滤部42和出水部43，进水部41与水泵2相连，出水部43与喷头3相连，过滤部42与进水部41及出水部43均相连，过滤部42上设有反冲口，反冲口与外部水源或者外部气源相连，外部水源可朝向反冲口输送反冲水流，外部气源可朝向反冲口输送反冲气流，外部水源或者外部气源与反冲口之间设有反冲阀5，反冲阀5和反冲口之间设有反冲单向阀7，排污管6的一端连接在水泵2和进水部41之间，排污管6与水泵2之间设有第一单向阀8，第一单向阀8被配置允许液体由水泵2流向排污管6。

实施例2：

如图3-图4所示，本实施例的插片机分片水路反冲装置包括水箱1、水泵2、喷头3、过滤器4、排污管6、反冲单向阀7、第二单向阀9和排污单向阀62，过滤器4为Y型过滤器且包括进水部41、过滤部42和出水部43，进水部41与水泵2相连，出水部43与喷头3相连，过滤部42与进水部41及出水部43均相连，过滤部42上设有反冲口，反冲口与外部水源或者外部气源相连，外部水源可朝向反冲口输送反冲水流，外部气源可朝向反冲口输送反冲气流，外部水源或者外部气源与反冲口之间设有反冲阀5，反冲阀5和反冲口之间设有反冲单向阀7，排污管6的一端连接在水泵2和进水部41之间，排污管6的一端连接在水箱1的出水管与水泵2之间，出水管上设有第二单向阀9，在水流的流动方向上，第二单向阀9位于排污管6的上游，第二单向阀9被配置允许液体由出水管流向水泵2。排污管6上设有排污阀61和排污单向阀62，排污单向阀62被配置阻止液体由排污管6流向水箱1。

实施例1及实施例2的插片机分片水路反冲装置均具有以下优点：

1、实现了过滤部42、喷头3自清洁，减少了手动清理次数；

2、实现了分片水路较为清洁，避免喷头3堵塞，提高分片的稳定和均匀性，降低硅片的隐裂、硅落、崩边的概率；

3、在插片机卸蓝的空闲自动完成反冲排污和分片水路清理，提高了插片机的分片效率。

一种插片机，包括的插片机分片水路反冲装置。

本实用新型实施例的插片机，由于具有前文所述的插片机分片水路反冲装置，分片水路分片效率较高从而提升了插片机的分片效率。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种插片机分片水路反冲装置，包括依次相连的水箱(1)、水泵(2)和喷头(3)，其特征在于，所述插片机分片水路反冲装置还包括：

过滤器(4)，所述过滤器(4)包括进水部(41)、过滤部(42)和出水部(43)，所述进水部(41)与所述水泵(2)相连，所述出水部(43)与所述喷头(3)相连，所述过滤部(42)与所述进水部(41)及所述出水部(43)均相连，所述过滤部(42)上设有反冲口，所述反冲口与外部水源或者外部气源相连，所述外部水源可朝向所述反冲口输送反冲水流，所述外部气源可朝向所述反冲口输送反冲气流，所述外部水源或者所述外部气源与所述反冲口之间设有反冲阀(5)；

排污管(6)，所述排污管(6)的一端连接在所述进水部(41)和所述水箱(1)的出水管之间。

2.根据权利要求1所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，还包括：反冲单向阀(7)，所述反冲单向阀(7)设在所述反冲阀(5)与所述反冲口之间，所述反冲单向阀(7)被配置为允许所述反冲气流或者所述反冲水流由所述反冲阀(5)流向所述反冲口。

3.根据权利要求2所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，还包括：减压阀，所述减压阀设在所述反冲单向阀(7)和所述反冲阀(5)之间。

4.根据权利要求1所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，所述排污管(6)的一端连接在所述水泵(2)和所述进水部(41)之间，所述排污管(6)与所述水泵(2)之间设有第一单向阀(8)，所述第一单向阀(8)被配置允许液体由所述水泵(2)流向所述排污管(6)。

5.根据权利要求4所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，所述排污管(6)上设有排污阀(61)。

6.根据权利要求5所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，所述排污管(6)上还设有液体传感器，在液体的流动方向上，所述排污阀(61)位于所述液体传感器的下游，所述排污阀(61)可根据所述液体传感器的检测结果开闭。

7.根据权利要求1所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，所述排污管(6)的一端连接在所述水箱(1)的出水管与所述水泵(2)之间，所述出水管上设有第二单向阀(9)，在水流的流动方向上，所述第二单向阀(9)位于所述排污管(6)的上游，所述第二单向阀(9)被配置允许液体由所述出水管流向所述水泵(2)。

8.根据权利要求7所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，所述排污管(6)上设有排污单向阀(62)，所述排污单向阀(62)被配置阻止液体由所述排污管(6)流向所述水箱(1)。

9.根据权利要求1所述的插片机分片水路反冲装置，其特征在于，所述过滤器(4)为Y型过滤器。

10.一种插片机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的插片机分片水路反冲装置。

Images