CN210677376U - 一种皮秒激光切割器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种皮秒激光切割器,包括:掺钛蓝宝石激光器、第一激光放大器、扩束器、波片、反射镜、第一聚焦透镜、掺钕氟化钇锂激光器,第二激光放大器、第二聚焦透镜、格兰激光棱镜、铷池、格兰汤姆森棱镜、抛物形镜、折射棱镜、碟片晶体、冷却单元和输出耦合镜;其中,两束激光被所述格兰激光棱镜相交于所述铷池内经铷原子偏振光谱线温稳频后射入所述格兰汤姆森棱镜,经过所述格兰汤姆森棱镜消光后射到所述抛物形镜后反射入所述折射棱镜,经所述折射棱镜射入所述碟片晶体,然后反射到所述输出耦合镜内,输出用于高精度切割的紫外皮秒激光。
Description
技术领域
本实用新型属于皮秒激光领域,尤其涉及一种皮秒激光切割器。
背景技术
近年来,超短脉冲激光器发展迅猛,皮秒、皮秒激光器已走出实验室。尤其是皮秒激光器已完全达到工业化级别并开始应用于激光加工领域。皮秒激光具有超短脉冲(纳秒激光脉冲宽度的千分之一),可有效减少激光与材料相互作用所产生的热效应。且皮秒激光器具有高重复频率,相比纳秒激光器200kHz左右的重复频率,皮秒激光器可提升至1~2MHz级别。为了使皮秒激光频率进一步稳定,并进一步提高切割精度,本实用新型提出了一种结构简单的解决办法。
实用新型内容
本实用新型提出了一种皮秒激光切割器,包括:掺钛蓝宝石激光器、第一激光放大器、扩束器、波片、反射镜、第一聚焦透镜、掺钕氟化钇锂激光器,第二激光放大器、第二聚焦透镜、格兰激光棱镜、铷池、格兰汤姆森棱镜、抛物形镜、折射棱镜、碟片晶体、冷却单元和输出耦合镜;其中,所述掺钛蓝宝石激光器射出的激光通过光纤进入第一激光放大器后放大输出功率,透过扩束器扩大光束后经波片、反射镜射入第一聚焦透镜,透过所述第一聚焦透镜后聚焦到格兰激光棱镜中;掺钕氟化钇锂激光器射出的激光通过光线进入第二激光放大器后射入第二聚焦透镜,通过第二聚焦透镜聚焦到所述格兰激光棱镜当中;两束激光被所述格兰激光棱镜以5mrad相交于所述铷池内经铷原子偏振光谱线温稳频后射入所述格兰汤姆森棱镜,经过所述格兰汤姆森棱镜消光后射到所述抛物形镜后反射入所述折射棱镜,经所述折射棱镜射入所述碟片晶体,然后反射到所述输出耦合镜内,输出紫外皮秒激光,所述冷却单元设置在所述碟片晶体背面。
本实用新型提出的所述皮秒激光切割器中,经所述第一激光放大器后输出的激光为中心波长为800nm的宽带皮秒激光。
本实用新型提出的所述皮秒激光切割器中,经所述第二激光放大器后输出的激光为中心波长为1000nm的窄带皮秒激光。
本实用新型提出的所述皮秒激光切割器中,进一步包括:设置在所述格兰汤姆森后方的两个探测器,所述探测器用于探测在所述铷池发生相干反应的相干光线的频率。
本实用新型提出的所述皮秒激光切割器中,所述探测器进一步连接减法器和频谱分析仪。
本实用新型提出的所述皮秒激光切割器中,所述铷池为85Rb原子池。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益的技术效果:本实用新型使钛宝石激光器输出频率稳定在其上,有效地抑制了温漂造成的频率漂移,具有灵敏度高、响应速度快、实用等优点。
附图说明
图1为本实用新型皮秒激光切割器的是示意图。
具体实施方式
下面通过附图以及具体实施例对本实用新型技术方案做详细的说明,应当理解本申请实施例以及实施例中的具体特征是对本申请技术方案的详细的说明,而不是对本申请技术方案的限定,在不冲突的情况下,本申请实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。
本文中术语“和/或”,仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,A和/或B,可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。另外,本文中字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
如图1所示,本实用新型提出了一种皮秒激光切割器,包括:掺钛蓝宝石激光器1、第一激光放大器2、扩束器3、波片4、反射镜5、第一聚焦透镜6、掺钕氟化钇锂激光器7,第二激光放大器8、第二聚焦透镜9、格兰激光棱镜10、铷池11、格兰汤姆森棱镜12、抛物形镜16、折射棱镜17、碟片晶体18、冷却单元19和输出耦合镜20;其中,所述掺钛蓝宝石激光器1射出的激光通过光纤进入第一激光放大器2后放大输出功率,透过扩束器3扩大光束后经波片4、反射镜5射入第一聚焦透镜6,透过所述第一聚焦透镜6后聚焦到格兰激光棱镜10中;掺钕氟化钇锂激光器7射出的激光通过光线进入第二激光放大器8后射入第二聚焦透镜9,通过第二聚焦透镜9聚焦到所述格兰激光棱镜10当中;两束激光被所述格兰激光棱镜10以5mrad相交于所述铷池11内经铷原子偏振光谱线温稳频后射入所述格兰汤姆森棱镜12,经过所述格兰汤姆森棱镜12消光后射到所述抛物形镜16后反射入所述折射棱镜17,经所述折射棱镜17射入所述碟片晶体18,然后反射到所述输出耦合镜20内输出紫外皮秒激光,所述冷却单元19设置在所述碟片晶体18背面。
射出紫外皮秒激光。经所述第一激光放大器2后输出的激光为中心波长为800nm的宽带皮秒激光。经所述第二激光放大器8后输出的激光为中心波长为1000nm的窄带皮秒激光。本实用新型提出的所述皮秒激光切割器中,所述铷池11为85Rb原子池。
优选的,在所述格兰汤姆森后方设置两个探测器13、连接减法器14和频谱分析仪15,所述探测器13用于探测在所述铷池11发生相干反应的相干光线的频率,通过频谱分析仪15有效的检测温漂造成的频率漂移,具有灵敏度高、响应速度快、实用等优点。
上述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员,在不脱离本实用新型的技术方案的范围内,对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动,均属未脱离本实用新型的技术方案的内容,仍属于本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种皮秒激光切割器,其特征在于,包括:掺钛蓝宝石激光器、第一激光放大器、扩束器、波片、反射镜、第一聚焦透镜、掺钕氟化钇锂激光器,第二激光放大器、第二聚焦透镜、格兰激光棱镜、铷池、格兰汤姆森棱镜、抛物形镜、折射棱镜、碟片晶体、冷却单元和输出耦合镜;其中,所述掺钛蓝宝石激光器射出的激光通过光纤进入第一激光放大器后放大输出功率,透过扩束器扩大光束后经波片、反射镜射入第一聚焦透镜,透过所述第一聚焦透镜后聚焦到格兰激光棱镜中;掺钕氟化钇锂激光器射出的激光通过光线进入第二激光放大器后射入第二聚焦透镜,通过第二聚焦透镜聚焦到所述格兰激光棱镜当中;两束激光被所述格兰激光棱镜以5mrad相交于所述铷池内经铷原子偏振光谱线温稳频后射入所述格兰汤姆森棱镜,经过所述格兰汤姆森棱镜消光后射到所述抛物形镜后反射入所述折射棱镜,经所述折射棱镜射入所述碟片晶体,然后反射到所述输出耦合镜内,输出紫外皮秒激光,所述冷却单元设置在所述碟片晶体背面。
2.根据权利要求1所述的皮秒激光切割器,其特征在于,经所述第一激光放大器后输出的激光为中心波长为800nm的宽带皮秒激光。
3.根据权利要求1所述的皮秒激光切割器,其特征在于,经所述第二激光放大器后输出的激光为中心波长为1000nm的窄带皮秒激光。
4.根据权利要求1所述的皮秒激光切割器,其特征在于,进一步包括:设置在所述格兰汤姆森后方的两个探测器,所述探测器用于探测在所述铷池发生相干反应的相干光线的频率。
5.根据权利要求4所述的皮秒激光切割器,其特征在于,所述探测器进一步连接减法器和频谱分析仪。
6.根据权利要求4所述的皮秒激光切割器,其特征在于,所述铷池为85Rb原子池。
Priority Applications (1)
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CN201920798168.XU CN210677376U (zh) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 一种皮秒激光切割器 |
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Publications (1)
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CN201920798168.XU Active CN210677376U (zh) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 一种皮秒激光切割器 |
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2019
- 2019-05-30 CN CN201920798168.XU patent/CN210677376U/zh active Active
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