CN210647445U - 一种掩膜板再生装置 - Google Patents

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张明
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Abstract

本实用新型公开了一种掩膜板再生装置,包括矩形箱体,所述矩形箱体内设有清洁机构以及支撑结构;上述支撑结构主要包括:一对步进电机以及一对丝杠架;所述矩形箱体前壁面开设有矩形通孔,所述矩形箱体上壁面开设有条形通孔,所述矩形箱体内左右两侧壁面均开设有条形凹槽,所述一对丝杠架分别安置于一对所述条形凹槽内部,所述一对丝杠架上均安置有丝杠,每个所述丝杠上均套装有螺母,本实用新型涉及掩膜板再生技术领域。便于掩膜板进行合理的清理除锈,提高掩膜板清理的使用效果,使其对掩膜板上的锈以及污渍进行清理,使其掩膜板再次使用。

Description

一种掩膜板再生装置
技术领域
本实用新型涉及掩膜板再生技术领域,具体为一种掩膜板再生装置。
背景技术
掩膜板长时间使用或者放置时,由于空气水分或者放置位置阴暗潮湿,导致掩膜板生锈,同时也会受到灰尘等影响,锈、灰尘等长时间存在掩膜板上,导致掩膜板被腐蚀,降低掩膜板质量,并且掩膜板长时间使用时,掩膜板表面也会附着油渍污渍,导致掩膜板无法使用,所以需要对掩膜板进行清理,使其再次使用。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种掩膜板再生装置,解决了现有的掩膜板长时间使用或者放置时,由于空气水分或者放置位置阴暗潮湿,导致掩膜板腐蚀生锈,受到灰尘等影响,锈长时间存在掩膜板上,导致掩膜板被腐蚀,所以导致降低掩膜板质量。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:包括矩形箱体,所述矩形箱体内设有清洁机构以及支撑结构;
上述,支撑结构主要包括:一对步进电机以及一对丝杠架;
所述矩形箱体前壁面开设有矩形通孔,所述矩形箱体上壁面开设有条形通孔,所述矩形箱体内左右两侧壁面均开设有条形凹槽,所述一对丝杠架分别安置于一对所述条形凹槽内部,所述一对丝杠架上均安置有丝杠,每个所述丝杠上均套装有螺母,每个所述螺母上均安装有门型架,每个所述门型架前方的支腿上均开设有螺纹口,每个所述螺纹口内均插住有螺纹杆;
上述,清洁机构主要包括:水箱、水泵以及若干个对高压喷头;
所述水箱安置于矩形箱体侧壁面,所述矩形箱体内侧壁面且位于一对条形凹槽左右两侧固定有横杆,所述若干个对高压喷头分别安置于一对所述横杆上,且位置相对应,所述水泵安置于水箱内部,所述水泵上套装有与若干个对高压喷头的分水管。
优选的,所述矩形箱体上壁面铰链连接有与条形通孔相匹配的第一挡门,所述第一挡门上安装有第一把手。
优选的,所述矩形箱体侧壁面下端开设有流水口,所述流水口内插装有活塞。
优选的,所述矩形箱体前壁面铰链连接有与矩形通孔相匹配的第二挡门,所述第二挡门上安装有第二把手。
优选的,所述一对步进电机驱动端上均套装有固定架,每个所述固定架均与条形凹槽相连接。
优选的,每个所述螺纹杆上均套装有环形把手。
有益效果
本实用新型提供了一种掩膜板再生装置。具备以下有益效果:便于掩膜板进行合理的清理除锈,提高掩膜板清理的使用效果,使其对掩膜板上的锈以及污渍进行清理,使其掩膜板再次使用。
附图说明
图1为本实用新型所述一种掩膜板再生装置的结构示意图。
图2为本实用新型所述一种掩膜板再生装置的主视图。
图3为本实用新型所述一种掩膜板再生装置的水箱侧视图。
图中:1-矩形箱体;2-环形把手;3-步进电机;4-丝杠架;5-丝杠;6-螺母;7-门型架;8-螺纹杆;9-水箱;10-水泵;11-高压喷头;12-固定架;13-横杆;14-第一挡门;15-第一把手;16-活塞;17-第二挡门;18-第二把手;19-分水管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
下列为本案中的电气件采用的种类以及作用:
电机驱动器:驱动器又称为“伺服控制器”、“伺服放大器”,是用来控制伺服电机的一种控制器,其作用类似于变频器作用于普通交流马达,属于伺服系统的一部分,主要应用于高精度的定位系统。一般是通过位置、速度和力矩三种方式对伺服电机进行控制,实现高精度的传动系统定位,目前是传动技术的高端产品。
实施例:通过本领域人员,将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接,并且应该根据实际情况,选择合适的控制器,以满足控制需求,具体连接以及控制顺序,应参考下述工作原理中,各电气件之间先后工作顺序完成电性连接,其详细连接手段,为本领域公知技术,下述主要介绍工作原理以及过程,不在对电气控制做说明。
请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种掩膜板再生装置。
支撑结构主要包括:一对步进电机3以及一对丝杠架4;
矩形箱体1前壁面开设有矩形通孔,矩形箱体1上壁面开设有条形通孔,矩形箱体1内左右两侧壁面均开设有条形凹槽,一对丝杠架4分别安置于一对条形凹槽内部,一对丝杠架4上均安置有丝杠5,每个丝杠5上均套装有螺母6,每个螺母6上均安装有门型架7,每个门型架7前方的支腿上均开设有螺纹口,每个螺纹口内均插住有螺纹杆8;
根据上述方案得出工作原理:矩形箱体1内的丝杠架4起到支撑作用,用于支撑丝杠5,并且丝杠5与步进电机3进行连接,步进电机3驱动端能够进行顺时针转动或者逆时针转动,当步进电机3顺时针转动时,带动丝杠5顺时针转动,从而到达螺母6顺势针转动,带动门型架7升起,当步进电机3逆时针转动时,带动丝杠5下降,从而螺母6下降,从而门型架7下降,将需要清理的掩膜板放置在门型架7之间,之后拧动螺纹杆8,顶住掩膜板,之后步进电机3顺时针转动,从而螺母6以及门型架7支撑的掩膜板升起。
上述清洁机构主要包括:水箱9、水泵10、若干个对高压喷头11以及一对轴承12;
水箱9安置于矩形箱体1侧壁面,矩形箱体1内侧壁面且位于一对条形凹槽左右两侧固定有横杆13,若干个对高压喷头11分别安置于一对横杆13上,且位置相对应,水泵10安置于水箱9内部,水泵10上套装有与若干个对高压喷头11的分水管;
根据上述方案得出工作原理:水泵10将水箱9内的水吸出,之后通过水泵10上的分水管19运输到多个高压喷头11内,通过高压喷头11降水喷出,对经过高压喷头11升起的掩膜板进行清理,之后通过条形通孔伸出,通过矩形通孔将螺纹杆8拧动,取下掩膜板。
作为优选的方案,更进一步地,矩形箱体1上壁面铰链连接有与条形通孔相匹配的第一挡门14,第一挡门14上安装有第一把手15;通过第一挡门14用于遮挡条形通孔。
作为优选的方案,更进一步地,矩形箱体1侧壁面下端开设有流水口,流水口内插装有活塞16;通过流水口的活塞16打开,便于污水排出。
作为优选的方案,更进一步地,矩形箱体1前壁面铰链连接有与矩形通孔相匹配的第二挡门17,第二挡门17上安装有第二把手18;通过第二挡门17用于遮挡矩形通孔。
作为优选的方案,更进一步地,一对步进电机3驱动端上均套装有固定架12,每个固定架12均与条形凹槽相连接;通过固定架12用于支撑步进电机3。
作为优选的方案,更进一步地,每个螺纹杆8上均套装有环形把手2;通过环形把手2在拧动螺纹杆8时具有施力点。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种掩膜板再生装置,包括矩形箱体(1),其特征在于,所述矩形箱体(1)内设有清洁机构以及支撑结构;
上述支撑结构包括:一对步进电机(3)以及一对丝杠架(4);
所述矩形箱体(1)前壁面开设有矩形通孔,所述矩形箱体(1)上壁面开设有条形通孔,所述矩形箱体(1)内左右两侧壁面均开设有条形凹槽,所述一对丝杠架(4)分别安置于一对所述条形凹槽内部,所述一对丝杠架(4)上均安置有丝杠(5),每个所述丝杠(5)上均套装有螺母(6),每个所述螺母(6)上均安装有门型架(7),每个所述门型架(7)前方的支腿上均开设有螺纹口,每个所述螺纹口内均插住有螺纹杆(8);
上述清洁机构包括:水箱(9)、水泵(10)以及若干个对高压喷头(11);
所述水箱(9)安置于矩形箱体(1)侧壁面,所述矩形箱体(1)内侧壁面且位于一对条形凹槽左右两侧固定有横杆(13),所述若干个对高压喷头(11)分别安置于一对所述横杆(13)上,且位置相对应,所述水泵(10)安置于水箱(9)内部,所述水泵(10)上套装有与若干个对高压喷头(11)的分水管(19)。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板再生装置,其特征在于,所述矩形箱体(1)上壁面铰链连接有与条形通孔相匹配的第一挡门(14),所述第一挡门(14)上安装有第一把手(15)。
3.根据权利要求1所述的一种掩膜板再生装置,其特征在于,所述矩形箱体(1)侧壁面下端开设有流水口,所述流水口内插装有活塞(16)。
4.根据权利要求1所述的一种掩膜板再生装置,其特征在于,所述矩形箱体(1)前壁面铰链连接有与矩形通孔相匹配的第二挡门(17),所述第二挡门(17)上安装有第二把手(18)。
5.根据权利要求1所述的一种掩膜板再生装置,其特征在于,所述一对步进电机(3)驱动端上均套装有固定架(12),每个所述固定架(12)均与条形凹槽相连接。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜板再生装置,其特征在于,每个所述螺纹杆(8)上均套装有环形把手(2)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112871831A (zh) * 2020-12-31 2021-06-01 常州高光半导体材料有限公司 掩膜版除尘除油设备

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