CN210630059U - 一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 - Google Patents
一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210630059U CN210630059U CN201921757208.2U CN201921757208U CN210630059U CN 210630059 U CN210630059 U CN 210630059U CN 201921757208 U CN201921757208 U CN 201921757208U CN 210630059 U CN210630059 U CN 210630059U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sets
- direct current
- magnetron sputtering
- sputtering power
- front panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,包括主体、前面板和侧插板,所述主体与前面板的侧壁固定焊接,其远离侧插板的一侧开有贯穿其顶壁的散热槽,其内腔中设有电动伸缩杆和封闭板,所述封闭板的底壁安装有温度传感器,所述主体上还设有PLC板,所述温度传感器和电动伸缩杆均与PLC板电性连接,所述主体远离前面板的一侧固定焊接有两组与之内腔相通的套管。该便于组装的直流磁控溅射电源壳体,通过设置了伸缩槽、弹簧、回弹块和通孔,通过使两组回弹块分别收缩进两组伸缩槽内,即可使其与两组通孔分离,进而将防护圈从套管上取下,从而方便地清理风机和金属滤网上的灰尘,使清理灰尘的操作简单且效果更好。
Description
技术领域
本实用新型属于机电设备技术领域,具体涉及一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体。
背景技术
直流磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。该类电源具有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及反应膜层环境使用。
直流磁控溅射电源在使用前需要将其置于特定的壳体内,但现有技术中该类壳体使用时间较长之后,壳体散热口位置会聚集较多灰尘,不管是散热口本身还是其内的风扇,清理起来均十分不便,因此清理的效果也不好。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,包括主体、前面板和侧插板,所述主体与前面板的侧壁固定焊接,其远离侧插板的一侧开有贯穿其顶壁的散热槽,其内腔中设有电动伸缩杆和封闭板,所述封闭板的底壁安装有温度传感器,所述主体上还设有PLC板,所述温度传感器和电动伸缩杆均与PLC板电性连接,所述主体远离前面板的一侧固定焊接有两组与之内腔相通的套管;
两组所述套管外侧均套设有防护圈,所述套管外壁的两侧均开有伸缩槽,其内安装有风机,两组所述伸缩槽内均设有弹簧和回弹块,所述防护圈的两侧均开有通孔,其内设有金属滤网,所述主体内腔开口的顶部和底部分别开有两组滑槽和两组定位槽,所述侧插板的侧壁上分别固定焊接有两组第一插块和两组第二插块,所述主体远离前面板的一侧设有电源接口。
优选的,所述前面板远离主体的一侧镶嵌安装有两组显示屏,其侧壁上还安装有操作按钮。
优选的,所述电动伸缩杆的两端分别与封闭板的底壁和主体内腔的底壁固定焊接,所述封闭板与散热槽内腔的开口卡合。
优选的,所述弹簧的两端分别与伸缩槽内腔和回弹块相向的两侧固定焊接,两组所述伸缩槽对称分布在套管的两侧。
优选的,两组所述回弹块分别与两组通孔卡合固定,所述金属滤网的外壁与防护圈内侧壁远离套管的一侧固定焊接。
优选的,两组所述第一插块分别与两组滑槽插接固定,两组所述第二插块分别与两组定位槽插接固定,所述侧插板与主体的侧壁紧密贴合。
本实用新型的技术效果和优点:该便于组装的直流磁控溅射电源壳体,通过设置了伸缩槽、弹簧、回弹块和通孔,通过使两组回弹块分别收缩进两组伸缩槽内,即可使其与两组通孔分离,进而将防护圈从套管上取下,从而方便地清理风机和金属滤网上的灰尘,使清理灰尘的操作简单且效果更好;通过设置了滑槽、定位槽、第一插块和第二插块,使第一插块从滑槽内脱离,使第二插块从定位槽内脱离,即可使侧插板从主体上取下并打开主体内腔,从而方便地进行电源的安装和取出;通过设置了温度传感器、PLC板、散热槽、电动伸缩杆和封闭板,当温度传感器检测到温度达到35摄氏度时,PLC板驱动电动伸缩杆伸长并打开散热槽,使散热槽配合两组套管实现空气的迅速流动,从而在温度过高时实现迅速散热。
附图说明
图1为本实用新型的前面板的结构示意图;
图2为本实用新型的整体结构示意图;
图3为本实用新型的分离图;
图4为本实用新型的套管和防护圈的结构示意图;
图5为本实用新型的套圈的竖直剖面图;
图6为本实用新型的电路连接图。
图中:1主体、2前面板、3侧插板、4显示屏、5操作按钮、6散热槽、7电动伸缩杆、8封闭板、9套管、10防护圈、11伸缩槽、12弹簧、13回弹块、14通孔、15金属滤网、16电源接口、17滑槽、18定位槽、19第一插块、20第二插块、21风机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-6所示的一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,包括主体1、前面板2和侧插板3,所述主体1与前面板2的侧壁固定焊接,其远离侧插板3的一侧开有贯穿其顶壁的散热槽6,其内腔中设有电动伸缩杆7和封闭板8,所述封闭板8的底壁安装有温度传感器,温度传感器的型号可选用pt100,所述主体1上还设有PLC板,PLC板的型号可选用S7-200,其可以安装在主体1的顶壁(或其它合适位置),所述温度传感器和电动伸缩杆7均与PLC板电性连接,所述主体1远离前面板2的一侧固定焊接有两组与之内腔相通的套管9;
两组所述套管9外侧均套设有防护圈10,所述套管9外壁的两侧均开有伸缩槽11,其内安装有风机21,两组所述伸缩槽11内均设有弹簧12和回弹块13,所述防护圈10的两侧均开有通孔14,其内设有金属滤网15,金属滤网15起到一定的防尘作用,所述主体1内腔开口的顶部和底部分别开有两组滑槽17和两组定位槽18,所述侧插板3的侧壁上分别固定焊接有两组第一插块19和两组第二插块20,所述主体1远离前面板2的一侧设有电源接口16,通过使电源接口16与外接的电源电性连接,可以给该电源壳体上所有用电的结构供电。
具体的,所述前面板2远离主体1的一侧镶嵌安装有两组显示屏4,其侧壁上还安装有操作按钮5,显示屏4用于显示直流磁控溅射电源的参数,通过操作按钮5可以实现对直流磁控溅射电源的控制。
具体的,所述电动伸缩杆7的两端分别与封闭板8的底壁和主体1内腔的底壁固定焊接,所述封闭板8与散热槽6内腔的开口卡合,当电动伸缩杆7收缩至最短时,封闭板8刚好收纳在散热槽6内,如图1所示,封闭板8顶壁和主体1顶壁高度持平。
具体的,所述弹簧12的两端分别与伸缩槽11内腔和回弹块13相向的两侧固定焊接,两组所述伸缩槽11对称分布在套管9的两侧,当弹簧12处于自然状态时,回弹块13有一部分伸出伸缩槽11,因此其穿过通孔14后可以固定防护圈10。
具体的,两组所述回弹块13分别与两组通孔14卡合固定,所述金属滤网15的外壁与防护圈10内侧壁远离套管9的一侧固定焊接。
具体的,两组所述第一插块19分别与两组滑槽17插接固定,两组所述第二插块20分别与两组定位槽18插接固定,所述侧插板3与主体1的侧壁紧密贴合,滑槽17和定位槽18的水平剖面均呈“T”字形,当第一插块19(和第二插块20)插接安装在滑槽17(和定位槽18)之后,其与滑槽17和(定位槽18)的侧壁紧密贴合,因此可以使侧插板3保持稳定。
具体的,该便于组装的直流磁控溅射电源壳体,在使用时,首先使用电源线连接电源接口16和外接的电源,使直流磁控溅射电源和两组风机21(以及其他需要用电部件)均可以正常工作,在直流磁控溅射电源从主体1内腔的开口送入主体1内腔中,该直流磁控溅射电源不与电动伸缩杆7接触,之后使两组第二插块20插接安装在两组定位槽18内,使两组第一插块19插接安装在两组滑槽17内,从而使侧插板3可以与主体1内腔开口所在一侧紧密贴合,从而封闭主体1,直流磁控溅射电源工作时,如果其长时间高负载工作而导致温度传感器检测到温度达到35摄氏度(或其它可能损坏直流磁控溅射电源的温度),温度传感器会传输电信号至PLC板,PLC板驱动电动伸缩杆7伸长从而使封闭板8与散热槽6分离,从而打开散热槽6,此时外界空气可从散热槽6进入主体1的内腔,再在两组风机21工作下将含有热量的空气排出,即可实现快速散热的效果,当两组风机21工作时间较长后,套管9和防护圈10上附着较多灰尘时,挤压两组回弹块13进入两组伸缩槽11内,此时即可使防护圈10从套管9上取下,从而清理金属滤网15和风机21。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,包括主体(1)、前面板(2)和侧插板(3),其特征在于:所述主体(1)与前面板(2)的侧壁固定焊接,其远离侧插板(3)的一侧开有贯穿其顶壁的散热槽(6),其内腔中设有电动伸缩杆(7)和封闭板(8),所述封闭板(8)的底壁安装有温度传感器,所述主体(1)上还设有PLC板,所述温度传感器和电动伸缩杆(7)均与PLC板电性连接,所述主体(1)远离前面板(2)的一侧固定焊接有两组与之内腔相通的套管(9);
两组所述套管(9)外侧均套设有防护圈(10),所述套管(9)外壁的两侧均开有伸缩槽(11),其内安装有风机(21),两组所述伸缩槽(11)内均设有弹簧(12)和回弹块(13),所述防护圈(10)的两侧均开有通孔(14),其内设有金属滤网(15),所述主体(1)内腔开口的顶部和底部分别开有两组滑槽(17)和两组定位槽(18),所述侧插板(3)的侧壁上分别固定焊接有两组第一插块(19)和两组第二插块(20),所述主体(1)远离前面板(2)的一侧设有电源接口(16)。
2.根据权利要求1所述的一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,其特征在于:所述前面板(2)远离主体(1)的一侧镶嵌安装有两组显示屏(4),其侧壁上还安装有操作按钮(5)。
3.根据权利要求1所述的一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,其特征在于:所述电动伸缩杆(7)的两端分别与封闭板(8)的底壁和主体(1)内腔的底壁固定焊接,所述封闭板(8)与散热槽(6)内腔的开口卡合。
4.根据权利要求1所述的一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,其特征在于:所述弹簧(12)的两端分别与伸缩槽(11)内腔和回弹块(13)相向的两侧固定焊接,两组所述伸缩槽(11)对称分布在套管(9)的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,其特征在于:两组所述回弹块(13)分别与两组通孔(14)卡合固定,所述金属滤网(15)的外壁与防护圈(10)内侧壁远离套管(9)的一侧固定焊接。
6.根据权利要求1所述的一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体,其特征在于:两组所述第一插块(19)分别与两组滑槽(17)插接固定,两组所述第二插块(20)分别与两组定位槽(18)插接固定,所述侧插板(3)与主体(1)的侧壁紧密贴合。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921757208.2U CN210630059U (zh) | 2019-10-19 | 2019-10-19 | 一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921757208.2U CN210630059U (zh) | 2019-10-19 | 2019-10-19 | 一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN210630059U true CN210630059U (zh) | 2020-05-26 |
Family
ID=70757823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201921757208.2U Active CN210630059U (zh) | 2019-10-19 | 2019-10-19 | 一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN210630059U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112911866A (zh) * | 2021-01-23 | 2021-06-04 | 董银高 | 基于干燥防护机构的电路板安装壳 |
-
2019
- 2019-10-19 CN CN201921757208.2U patent/CN210630059U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112911866A (zh) * | 2021-01-23 | 2021-06-04 | 董银高 | 基于干燥防护机构的电路板安装壳 |
CN112911866B (zh) * | 2021-01-23 | 2022-06-03 | 温州尚瑞光电科技有限公司 | 基于干燥防护机构的电路板安装壳 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN210630059U (zh) | 一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体 | |
CN210985308U (zh) | 一种高密封性综合配电箱 | |
CN217721381U (zh) | 一种传输信号稳定性强的工业交换机 | |
CN203243645U (zh) | 防水密封遥控器盒 | |
CN204036896U (zh) | 一种榨油机 | |
CN106972363A (zh) | 一种环保的电气柜用封闭式除尘散热系统 | |
CN210352009U (zh) | 一种用于lcd显示模组的散热装置 | |
CN209845494U (zh) | 一种易除尘散热的显示器外壳 | |
CN207676250U (zh) | 一种基于电子信息技术的显示装置 | |
CN218734362U (zh) | 一种耐高温的路由器主板 | |
CN212005835U (zh) | 一种感应式油烟机开关总成 | |
CN213522912U (zh) | 一种烤烟房用温控变频器 | |
CN220273892U (zh) | 一种加热棒 | |
CN214899416U (zh) | 一种控制柜的散热除尘装置 | |
CN201452930U (zh) | 烤箱电子板组件隔热装置 | |
CN209281815U (zh) | 一种便于散热的液晶拼接屏 | |
CN214960380U (zh) | 一种用于控制调光玻璃的新型电源 | |
CN213520935U (zh) | 一种设有减震装置的配电箱 | |
CN220769592U (zh) | 发动机组双线供能转接件 | |
CN220937726U (zh) | 一种蒸汽排放机构、集成组件以及集成灶 | |
CN217693384U (zh) | 一种具有网络监控功能的可网管交换机 | |
CN218916394U (zh) | 一种多功能集成式传感器 | |
CN218300707U (zh) | 一种基于物联网的智能电能质量综合控制柜体 | |
CN218124114U (zh) | 一种用于配电箱的顶部高效散热结构 | |
CN219881521U (zh) | 数显电烙铁屏幕控温装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |