CN210546720U - 一种晶圆的超声波清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及超声波清洗装置领域，公开了一种晶圆的超声波清洗机，包括清洗机主体和清洗试剂出口，所述清洗试剂出口安装在清洗机主体的侧壁上，所述清洗试剂出口上安装有控制阀门，所述清洗机主体内设有用于放置晶圆的放置板，所述放置板上安装有用于对晶圆进行限位的环形限位板，所述放置板和环形限位板上均开设有便于清洗机主体内清洗试剂充分对晶圆进行浸润的限位凸台，所述放置板的下端安装有对其进行升降的伸缩装置，可以将带超声清洗的晶圆放置在放置板上，且放置板可以进行升降，工作人员无需将手放入清洗试剂中，简化操作过程。
Description
技术领域
本实用新型涉及超声波清洗装置领域，更具体地说，特别涉及一种晶圆的超声波清洗机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。超声波在液体中传播，使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动，液体与清洗槽振动时有自己固有频率，这种振动频率是声波频率，所以人们就听到嗡嗡声。随着清洗行业的不断发展，越来越多的行业和企业运用到了超声波清洗机。对超声波清洗机原理由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质--清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动。这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区，当声压达到一定值时，气泡迅速增大，然后突然闭合。并在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压，破坏不溶性污物而使他们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子及脱离，从而达到清洗件净化的目的。在这种被称之为"空化"效应的过程中，气泡闭合可形成几百度的高温和超过1000个气压的瞬间高压。
公开为CN209006301U的中国实用新型专利公开了一种清洗医疗仪器用超声波清洗机，涉及到医疗器械清洗领域，包括清洗机主体，所述清洗机主体的两侧中部均固定安装有超声波发生器，清洗机主体的内腔底端中部固定连接有支撑柱，支撑柱的顶端固定连接有连接转盘，连接转盘的底端活动连接有活动套管，活动套管套接在支撑柱的外侧。本实用新型通过在清洗机主体的两侧均设置有超声波发生器，超声波发生器可以向清洗机主体内发出超声波，达到了快速清洗医疗器械的效果，外置的驱动电机通过传动轴、齿轮和轮齿条能够带动活动套管转动，活动套管通过连接杆带动搅拌桨转动，搅拌桨能够使清洗机主体内的清洗水形成漩涡，提高了医疗器械的清洗效率。
但是现有的超声波清洗剂没有合适的用于放置晶圆的平台，导致晶圆清洗的不够干净，且晶圆在从清洗机主体内清洗试剂中拿取得过程不够方便，往往需要工作人员戴手套将手放入清洗试剂中进行操作，十分麻烦。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆的超声波清洗机，以解决现有的超声波清洗剂没有合适的用于放置晶圆的平台，导致晶圆清洗的不够干净，且晶圆在从清洗机主体内清洗试剂中拿取得过程不够方便，往往需要工作人员戴手套将手放入清洗试剂中进行操作，十分麻烦的问题。
为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
一种晶圆的超声波清洗机，包括清洗机主体和清洗试剂出口，所述清洗试剂出口安装在清洗机主体的侧壁上，所述清洗试剂出口上安装有控制阀门，其特征在于：所述清洗机主体内设有用于放置晶圆的放置板，所述放置板上安装有用于对晶圆进行限位的环形限位板，所述放置板和环形限位板上均开设有便于清洗机主体内清洗试剂充分对晶圆进行浸润的限位凸台，所述放置板的下端安装有对其进行升降的伸缩装置，可以将带超声清洗的晶圆放置在放置板上，且放置板可以进行升降，工作人员无需将手放入清洗试剂中，简化操作过程。
进一步地，所述清洗机主体的上端通过合页转动地安装有盖板，使盖板可以对清洗机主体进行封闭。
进一步地，所述清洗机主体的下表面安装有用于支撑的若干个支腿。
进一步地，所述伸缩装置为旋转气缸，所述旋转气缸的动力输出端贯穿清洗机主体的下部并延伸至清洗机主体内，所述旋转气缸的动力输出端通过固定装置与放置板的底板固定连接，所述旋转气缸通过安装装置与清洗机主体固定连接，伸缩装置结构简单，效果佳，通过旋转气缸动力输出端的伸缩带动放置板进行升降，且可以带动放置板进行旋转，可以增加清洗效果，并将清洗完成后晶圆上附着的清洗试剂甩出。
进一步地，所述固定装置包括螺杆、第二螺母和，所述螺杆与旋转气缸的动力输出端固定连接，所述第二螺母和均螺纹安装在螺杆上，且第二螺母和分别位于放置板的两侧，可以将放置板进行拆卸，便于安装和后续的检修。
进一步地，所述安装装置包括安装座、安装板和螺钉，所述安装板与安装座固定连接，所述安装板通过螺钉与清洗机主体固定连接，所述旋转气缸安装在安装座上，可以将旋转气缸进行拆卸，便于安装和后续的检修。
进一步地，所述环形限位板上还安装有把手和盖体，所述盖体外壁设有外螺纹，所述环形限位板内部设有与所述外螺纹形状相匹配的内螺纹，所述把手一面与盖体固定连接，所述把手的另一面安装有第一螺母，便于转动把手。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：当需要对晶圆进行清洗时，打开旋转气缸，旋转气缸的动力输出端带动放置板向上移动，转动第一螺母将把手取下，将晶圆放置在放置板上，通过旋转气缸带动放置板向下移动至清洗试剂中，清洗试剂通过限位凸台进入把手、放置板和环形限位板形成的空腔内，然后通过清洗机主体产生高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质--清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动。这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区，当声压达到一定值时，气泡迅速增大，然后突然闭合。并在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压，破坏不溶性污物而使他们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子及脱离，从而达到清洗件净化的目的，可以将带超声清洗的晶圆放置在放置板上，且放置板可以进行升降，工作人员无需将手放入清洗试剂中，简化操作过程。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型中清洗机主体的结构示意图；
图3是图1中A处的结构示意图。
附图标记说明：1清洗机主体、2清洗试剂出口、3支腿、4盖板、5螺杆、6安装座、7旋转气缸、8安装板、9螺钉、10放置板、12环形限位板、13限位凸台、14盖体、15把手、16第一螺母、17第二螺母。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1-3所示，本实用新型提供一种晶圆的超声波清洗机，包括清洗机主体1和清洗试剂出口2，清洗试剂出口2安装在清洗机主体1的侧壁上，清洗试剂出口2上安装有控制阀门，清洗机主体1内设有用于放置晶圆的放置板10，放置板10上安装有用于对晶圆进行限位的环形限位板11，放置板10和环形限位板11上均开设有便于清洗机主体1内清洗试剂充分对晶圆进行浸润的限位凸台12，放置板10的下端安装有对其进行升降的伸缩装置，可以将带超声清洗的晶圆放置在放置板10上，且放置板10可以进行升降，工作人员无需将手放入清洗试剂中，简化操作过程。
本实施例中，清洗机主体1的上端通过合页转动地安装有盖板4，使盖板4可以对清洗机主体1进行封闭。
本实施例中，清洗机主体1的下表面安装有用于支撑的若干个支腿3。
本实施例中，伸缩装置为旋转气缸7，此为现有装置，本领域技术人员从外部采购，旋转气缸7的动力输出端贯穿清洗机主体1的下部并延伸至清洗机主体1内，旋转气缸7的动力输出端通过固定装置与放置板10的底板固定连接，旋转气缸7通过安装装置与清洗机主体1固定连接，伸缩装置结构简单，效果佳，通过旋转气缸7动力输出端的伸缩带动放置板10进行升降，且可以带动放置板10进行旋转，可以增加清洗效果，并将清洗完成后晶圆上附着的清洗试剂甩出。
本实施例中，固定装置包括螺杆5、第二螺母16和17，螺杆5与旋转气缸7的动力输出端固定连接，第二螺母16和17均螺纹安装在螺杆5上，且第二螺母16和17分别位于放置板10的两侧，可以将放置板10进行拆卸，便于安装和后续的检修。
本实施例中，安装装置包括安装座6、安装板8和螺钉9，安装板8与安装座6固定连接，安装板8通过螺钉9与清洗机主体1固定连接，旋转气缸7安装在安装座6上，可以将旋转气缸7进行拆卸，便于安装和后续的检修。
本实施例中，环形限位板11上还安装有把手14和盖体13，盖体13外壁设有外螺纹，环形限位板11内部设有与外螺纹形状相匹配的内螺纹，把手14一面与盖体13固定连接，把手14的另一面安装有第一螺母15，便于转动把手14。
本实用新型的工作原理为：当需要对晶圆进行清洗时，打开旋转气缸7，旋转气缸7的动力输出端带动放置板10向上移动，转动第一螺母15将把手14取下，将晶圆放置在放置板10上，通过旋转气缸7带动放置板10向下移动至清洗试剂中，清洗试剂通过限位凸台12进入把手14、放置板10和环形限位板11形成的空腔内，然后通过清洗机主体1产生高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质--清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50-500μm的微小气泡，存在于液体中的微小气泡在声场的作用下振动。这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区，当声压达到一定值时，气泡迅速增大，然后突然闭合。并在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压，破坏不溶性污物而使他们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子及脱离，从而达到清洗件净化的目的，可以将带超声清洗的晶圆放置在放置板10上，且放置板10可以进行升降，工作人员无需将手放入清洗试剂中，简化操作过程。
虽然结合附图描述了本实用新型的实施方式，但是专利所有者可以在所附权利要求的范围之内做出各种变形或修改，例如对固定装置进行常规替换，只要不超过本实用新型的权利要求所描述的保护范围，都应当在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种晶圆的超声波清洗机，包括清洗机主体(1)和清洗试剂出口(2)，所述清洗试剂出口(2)安装在清洗机主体(1)的侧壁上，所述清洗试剂出口(2)上安装有控制阀门，其特征在于：所述清洗机主体(1)内设有用于放置晶圆的放置板(10)，所述放置板(10)上安装有用于对晶圆进行限位的环形限位板(11)，所述放置板(10)和环形限位板(11)上均开设有便于清洗机主体(1)内清洗试剂充分对晶圆进行浸润的限位凸台(12)，所述放置板(10)的下端安装有对其进行升降的伸缩装置。
2.根据权利要求1所述的晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述清洗机主体(1)的上端通过合页转动地安装有盖板(4)。
3.根据权利要求1所述的晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述清洗机主体(1)的下表面安装有用于支撑的若干个支腿(3)。
4.根据权利要求1所述的晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述伸缩装置为旋转气缸(7)，所述旋转气缸(7)的动力输出端贯穿清洗机主体(1)的下部并延伸至清洗机主体(1)内，所述旋转气缸(7)的动力输出端通过固定装置与放置板(10)的底板固定连接，所述旋转气缸(7)通过安装装置与清洗机主体(1)固定连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述固定装置包括螺杆(5)、第二螺母(16)和(17)，所述螺杆(5)与旋转气缸(7)的动力输出端固定连接，所述第二螺母(16)和(17)均螺纹安装在螺杆(5)上，且第二螺母(16)和(17)分别位于放置板(10)的两侧。
6.根据权利要求4所述的晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述安装装置包括安装座(6)、安装板(8)和螺钉(9)，所述安装板(8)与安装座(6)固定连接，所述安装板(8)通过螺钉(9)与清洗机主体(1)固定连接，所述旋转气缸(7)安装在安装座(6)上。
7.根据权利要求1所述的晶圆的超声波清洗机，其特征在于：所述环形限位板(11)上还安装有把手(14)和盖体(13)，所述盖体(13)外壁设有外螺纹，所述环形限位板(11)内部设有与所述外螺纹形状相匹配的内螺纹，所述把手(14)一面与盖体(13)固定连接，所述把手(14)的另一面安装有第一螺母(15)。
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| CN201921047027.0U CN210546720U (zh) | 2019-07-06 | 2019-07-06 | 一种晶圆的超声波清洗机 |
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