CN210497435U - 一种切割晶圆用的清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种切割晶圆用的清洗设备，包括支撑架，所述支撑架上部设置有驱动装置，所述驱动装置与摇摆杆的一端活动连接，所述摇摆杆的另一端与清洗箱固定连接，所述摇摆杆通过转轴与支撑架活动连接，所述清洗箱上部设置有箱盖，所述清洗箱上设置有多个通孔，所述清洗箱内壁均由弹性材料制成，所述清洗箱下方设置有清洗池，所述清洗池下部设置有气缸推杆。通过清洗箱，使晶圆能够在清洗池中被清洗干净，且能够对晶圆的两面都进行充分的清洗，清洗效率高。

Description

一种切割晶圆用的清洗设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，具体涉及一种切割晶圆用的清洗设备。

背景技术

电子产品主要靠其内的芯片来实现对其的控制，芯片若质量差，会导致理疗仪在工作时不稳定，所以芯片是电子产品内极其重要的部分，芯片主要载体即为晶圆，所以晶圆的质量会影响到芯片的质量，晶圆在制作集成电路之前首先需要进行清洗，目前的晶圆清洗设备存在清洗效果差、清洗速度慢的缺点，导致晶圆清洗效率低，清洗时间长等问题。

发明内容

本实用新型的目的在于：针对上述目前的晶圆清洗设备存在清洗效果差、清洗速度慢的现象导致晶圆清洗效率低，清洗时间长等问题，本实用新型提供一种切割晶圆用的清洗设备。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种切割晶圆用的清洗设备，包括支撑架，所述支撑架上部设置有驱动装置，所述驱动装置与摇摆杆的一端活动连接，所述摇摆杆的另一端与清洗箱固定连接，所述摇摆杆通过转轴与支撑架活动连接，所述清洗箱上部设置有箱盖，所述清洗箱上设置有多个通孔，所述清洗箱内壁均由弹性材料制成，所述清洗箱下方设置有清洗池，所述清洗池下部设置有气缸推杆。

工作原理：

需要清洗晶圆时，打开箱盖，将晶圆放入清洗箱中。然后向清洗池内放入清洗液，再打开气缸推杆，推杆伸长将清洗箱没入清洗液中。通过设置通孔，使清洗液能够进入清洗箱内，便于对晶圆进行清洗。然后启动驱动装置，驱动装置使摇摆杆带动清洗箱进行摇动，清洗箱在摇动过程中晶圆和清洗液发生碰撞，将晶圆上的杂质清洗干净。通过清洗箱，使晶圆能够在清洗池中被清洗干净，且能够对晶圆的两面都进行充分的清洗，清洗效率高。通过设置气缸推杆，使清洗池能够进行升降，清洗完成后清洗箱和清洗液能够分离，便于晶圆的取放。

进一步，所述驱动装置包括驱动电机，所述驱动电机与短连杆的一端活动连接，所述短连杆的另一端与长连杆的一端活动连接，所述长连杆的另一端与摇摆杆活动连接。清洗时启动驱动电机，驱动电机带动短连杆转动，短连杆带动长连杆转动，长连杆带动摇摆杆进行往复运动，实现对晶圆的清洗工作。通过设置驱动装置，使装置机械化程度高，减少了人工的使用，缩短了清洗时间。

进一步，所述清洗箱数量为2-6个，所述清洗箱之间固定连接。通过设置多个清洗箱，可以同时对多个晶圆同时进行清洗，进一步提高清洗效率。

进一步，所述清洗池内壁上设置有防撞垫。通过设置防撞垫，可以避免清洗箱直接撞向清洗池，延长清洗池的使用寿命。

进一步，所述气缸推杆一侧设置有热风机，所述热风机与排风管的一端连接，所述排风管的另一端延伸至支撑架上部与排风口连接。通过设置热风机、排风管和排风口，在晶圆清洗完毕后可以对晶圆进行干燥，便于晶圆的存放，且清洗箱中的水可以流到清洗池中，避免将地面弄湿。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1.通过设置通孔，使清洗液能够进入清洗箱内，便于对晶圆进行清洗；

2.通过清洗箱，使晶圆能够在清洗池中被清洗干净，且能够对晶圆的两面都进行充分的清洗，清洗效率高；

3.通过设置气缸推杆，使清洗池能够进行升降，清洗完成后清洗箱和清洗液能够分离，便于晶圆的取放；

4.通过设置驱动装置，使装置机械化程度高，减少了人工的使用，缩短了清洗时间；

5.通过设置多个清洗箱，可以同时对多个晶圆同时进行清洗，进一步提高清洗效率；

6.通过设置防撞垫，可以避免清洗箱直接撞向清洗池，延长清洗池的使用寿命；

7.通过设置热风机、排风管和排风口，在晶圆清洗完毕后可以对晶圆进行干燥，便于晶圆的存放，且清洗箱中的水可以流到清洗池中，避免将地面弄湿。

附图说明

本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中：

图1是本实用新型清洗装置示意图。

附图标记：1-支撑架，2-排风管，3-排风口，4-清洗池，5-防撞垫，6-箱盖，7-通孔，8-清洗箱，9-热风机，10-气缸推杆，11-转轴，12-摇摆杆，13-长连杆，14-短连杆，15-驱动电机，16-驱动装置。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

下面结合图1对本实用新型作详细说明。

实施例1

一种切割晶圆用的清洗设备，包括支撑架1，所述支撑架1上部设置有驱动装置16，所述驱动装置16与摇摆杆12的一端活动连接，所述摇摆杆12的另一端与清洗箱8固定连接，所述摇摆杆12通过转轴11与支撑架1活动连接，所述清洗箱8上部设置有箱盖6，所述清洗箱8上设置有多个通孔7，所述清洗箱8内壁均由弹性材料制成，所述清洗箱8下方设置有清洗池4，所述清洗池4下部设置有气缸推杆10。

工作原理：

需要清洗晶圆时，打开箱盖6，将晶圆放入清洗箱8中。然后向清洗池4内放入清洗液，再打开气缸推杆10，推杆伸长将清洗箱8没入清洗液中。通过设置通孔7，使清洗液能够进入清洗箱8内，便于对晶圆进行清洗。然后启动驱动装置16，驱动装置16使摇摆杆12带动清洗箱8进行摇动，清洗箱8在摇动过程中晶圆和清洗液发生碰撞，将晶圆上的杂质清洗干净。通过清洗箱8，使晶圆能够在清洗池4中被清洗干净，且能够对晶圆的两面都进行充分的清洗，清洗效率高。通过设置气缸推杆10，使清洗池4能够进行升降，清洗完成后清洗箱8和清洗液能够分离，便于晶圆的取放。

实施例2

在实施例1的基础之上，所述驱动装置16包括驱动电机15，所述驱动电机15与短连杆14的一端活动连接，所述短连杆14的另一端与长连杆13的一端活动连接，所述长连杆13的另一端与摇摆杆12活动连接。清洗时启动驱动电机15，驱动电机15带动短连杆14转动，短连杆14带动长连杆13转动，长连杆13带动摇摆杆12进行往复运动，实现对晶圆的清洗工作。通过设置驱动装置16，使装置机械化程度高，减少了人工的使用，缩短了清洗时间。

实施例3

在实施例1的基础之上，所述清洗箱8数量为2-6个，所述清洗箱8之间固定连接。通过设置多个清洗箱8，可以同时对多个晶圆同时进行清洗，进一步提高清洗效率。

实施例4

在实施例1的基础之上，所述清洗池4内壁上设置有防撞垫5。通过设置防撞垫5，可以避免清洗箱8直接撞向清洗池4，延长清洗池4的使用寿命。

实施例5

在实施例1的基础之上，所述气缸推杆10一侧设置有热风机9，所述热风机9与排风管2的一端连接，所述排风管2的另一端延伸至支撑架1上部与排风口3连接。通过设置热风机9、排风管2和排风口3，在晶圆清洗完毕后可以对晶圆进行干燥，便于晶圆的存放，且清洗箱8中的水可以流到清洗池4中，避免将地面弄湿。

Claims (5)

1.一种切割晶圆用的清洗设备，包括支撑架(1)，其特征在于，所述支撑架(1)上部设置有驱动装置(16)，所述驱动装置(16)与摇摆杆(12)的一端活动连接，所述摇摆杆(12)的另一端与清洗箱(8)固定连接，所述摇摆杆(12)通过转轴(11)与支撑架(1)活动连接，所述清洗箱(8)上部设置有箱盖(6)，所述清洗箱(8)上设置有多个通孔(7)，所述清洗箱(8)内壁均由弹性材料制成，所述清洗箱(8)下方设置有清洗池(4)，所述清洗池(4)下部设置有气缸推杆(10)。

2.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述驱动装置(16)包括驱动电机(15)，所述驱动电机(15)与短连杆(14)的一端活动连接，所述短连杆(14)的另一端与长连杆(13)的一端活动连接，所述长连杆(13)的另一端与摇摆杆(12)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述清洗箱(8)数量为2-6个，所述清洗箱(8)之间固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述清洗池(4)内壁上设置有防撞垫(5)。

5.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述气缸推杆(10)一侧设置有热风机(9)，所述热风机(9)与排风管(2)的一端连接，所述排风管(2)的另一端延伸至支撑架(1)上部与排风口(3)连接。

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