CN210495947U - 一种用于光刻胶生产的循环过滤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐、过滤器和第二储存罐，所述第一储存罐与第二储存罐之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器且依次串联连接，过滤器通过多组串联分级过滤，依据滤膜过滤直径的分级形成精细过滤，提高过滤效率；滤膜为聚四氟乙烯材质，满足光刻胶对过滤材质的要求，不污染过滤液；所述供给泵通过给过滤液加压提高过滤速率和过滤液的输送。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻胶设备技术领域，具体为一种用于光刻胶生产的循环过滤装置。
背景技术
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用；光刻胶又称为光致抗蚀剂，是由树脂、增光剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。
光刻胶生产过程中，为保证产品的清洁度，产品调整过后，将进行过滤，控制产品中的粒子数，为提高过滤效果，本发明提供一种用于光刻胶生产的循环过滤装置。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐、过滤器和第二储存罐，所述第一储存罐与第二储存罐之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器且依次串联连接，第一储存罐的出液端通过管道与供给泵连接，所述供给泵通过管道与第一过滤器的进液口连接，第三过滤器的出液口通过管道与第二储存罐连接，第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器的过滤直径依次减小形成多级过滤，所述过滤器为囊式过滤器结构，过滤器包括外壳、外腔、滤芯和内腔，外壳为圆柱筒状结构，外壳包裹着滤芯，外壳与滤芯之间为外腔，滤芯的内端为内腔。
优选的，所述过滤器的进液口和出液口设有对接接头，所述对接接头为外螺纹结构，对接接头通过转接头与管道连通。
优选的，所述滤芯外端设有虑框，虑框为筒状结构，虑框内设有滤膜，滤膜为疏水性聚四氟乙烯。
优选的，所述虑框的下端设有端盖口，滤膜的内腔通过端盖口与过滤器的出液口连筒，端盖口与出液口密封连接。
优选的，所述滤膜为折叠式结构，滤膜对应虑框堆叠为环形结构，且滤膜上端通过虑框密封。
优选的，所述的外壳的顶部与所述的滤芯的上端间留有空隙，以便过滤液通过进液口流入外腔，外腔的过滤液通过滤膜进入内腔并通过端盖口排出到出液口。
优选的，所述外壳两端设有气孔，外壳上端气孔与排气阀密封连接，排气阀另一端与排气管连通，排气阀内设有透气膜，外壳下端气孔通过闷盖密封连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：过滤器通过多组串联分级过滤，依据滤膜过滤直径的分级形成精细过滤，提高过滤效率；滤膜为聚四氟乙烯材质，满足光刻胶对过滤材质的要求，不污染过滤液；所述供给泵通过给过滤液加压提高过滤速率和过滤液的输送。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的过滤器结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
如图1～2所示，
本实施例中，一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐1、过滤器和第二储存罐2，所述第一储存罐1与第二储存罐2之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器11、第二过滤器12和第三过滤器13且依次串联连接，第一储存罐1的出液端通过管道与供给泵14连接，所述供给泵14通过管道与第一过滤器11的进液口连接，第三过滤器13的出液口通过管道与第二储存罐2连接，第一过滤器11、第二过滤器12和第三过滤器13的过滤直径依次减小形成多级过滤，所述过滤器为囊式过滤器结构，过滤器包括外壳21、外腔22、滤芯23和内腔24，外壳21为圆柱筒状结构，外壳21包裹着滤芯23，外壳21与滤芯23之间为外腔22，滤芯23的内端为内腔24。
本实施例中，所述过滤器的进液口和出液口设有对接接头25，所述对接接头25为外螺纹结构，对接接头25通过转接头26与管道连通。
本实施例中，所述滤芯23外端设有虑框27，虑框27为筒状结构，虑框27内设有滤膜28，滤膜28为疏水性聚四氟乙烯。
本实施例中，所述虑框27的下端设有端盖口29，滤膜28的内腔24通过端盖口29与过滤器的出液口连筒，端盖口29与出液口密封连接。
本实施例中，所述滤膜28为折叠式结构，滤膜28对应虑框27堆叠为环形结构，且滤膜28上端通过虑框27密封。
本实施例中，所述的外壳21的顶部与所述的滤芯23的上端间留有空隙，以便过滤液通过进液口流入外腔22，外腔22的过滤液通过滤膜28进入内腔24并通过端盖口29排出到出液口。
本实施例中，所述外壳21两端设有气孔，外壳上端气孔与排气阀15密封连接，排气阀15另一端与排气管连通，排气阀15内设有透气膜，外壳21下端气孔通过闷盖16密封连接。
本实用新型的工作原理为：过滤液从第一储存罐1通过输送供给泵14进入过滤器内，过滤器通过多组串联连接进行多级过滤，多组过滤器的过滤直径依次减小，完整终端过滤送入第二储存罐2。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐、过滤器和第二储存罐，其特征在于：所述第一储存罐与第二储存罐之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器且依次串联连接，第一储存罐的出液端通过管道与供给泵连接，所述供给泵通过管道与第一过滤器的进液口连接，第三过滤器的出液口通过管道与第二储存罐连接，第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器的过滤直径依次减小形成多级过滤，所述过滤器为囊式过滤器结构，过滤器包括外壳、外腔、滤芯和内腔，外壳为圆柱筒状结构，外壳包裹着滤芯，外壳与滤芯之间为外腔，滤芯的内端为内腔。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述过滤器的进液口和出液口设有对接接头，所述对接接头为外螺纹结构，对接接头通过转接头与管道连通。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述滤芯外端设有虑框，虑框为筒状结构，虑框内设有滤膜，滤膜为疏水性聚四氟乙烯。
4.根据权利要求3所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述虑框的下端设有端盖口，滤膜的内腔通过端盖口与过滤器的出液口连筒，端盖口与出液口密封连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述滤膜为折叠式结构，滤膜对应虑框堆叠为环形结构，且滤膜上端通过虑框密封。
6.根据权利要求5所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述的外壳的顶部与所述的滤芯的上端间留有空隙，以便过滤液通过进液口流入外腔，外腔的过滤液通过滤膜进入内腔并通过端盖口排出到出液口。
7.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，其特征在于：所述外壳两端设有气孔，外壳上端气孔与排气阀密封连接，排气阀另一端与排气管连通，排气阀内设有透气膜，外壳下端气孔通过闷盖密封连接。
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| CN201921368622.4U CN210495947U (zh) | 2019-08-22 | 2019-08-22 | 一种用于光刻胶生产的循环过滤装置 |
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|---|---|---|---|---|
| CN117101250A (zh) * | 2023-10-20 | 2023-11-24 | 福建省德尚电子材料有限公司 | 一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法 |
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- 2019-08-22 CN CN201921368622.4U patent/CN210495947U/zh active Active
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| CN117101250A (zh) * | 2023-10-20 | 2023-11-24 | 福建省德尚电子材料有限公司 | 一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法 |
| CN117101250B (zh) * | 2023-10-20 | 2023-12-22 | 福建省德尚电子材料有限公司 | 一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法 |
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