CN210399829U - 一种半导体化学器皿干燥装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体化学器皿干燥装置，包括箱体，所述箱体的外侧设置有电源插孔，所述箱体的中部通过轴承座转动连接有支撑轴，所述箱体的的内壁设置有侧支架，所述箱体的底侧铺设有电加热丝，所述箱体的上端通过内螺纹旋接有盖帽，所述侧支架的侧端嵌接有风扇，所述支撑轴的外侧固定连接有托架。该实用新型装置通过设置电加热丝配合风扇能够高效的、快速的干燥制备器皿，使得清洗的器皿能够继续投入使用，通过设置紫外线灯珠能够一定程度的杀灭和抑制细菌，提高半导体化学材质的制备效果，通过设置活动环配合固定环和固定栓能够根据不同的制备器皿实现高效的调节，避免尺寸不合适导致干燥过程中器皿损坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体化学的技术领域，特别涉及一种半导体化学器皿干燥装置。
背景技术
半导体化学是指研究半导体材料的制备、分析以及半导体器件和集成电路生产工艺中的特殊化学问题的化学分支学科；
器皿是指用以盛装物品的物件的总称；器皿可以由不同的材料制成，并做成各种形状，以满足不同的需求器皿是指用以盛装物品的物件的总称；器皿可以由不同的材料制成，并做成各种形状，以满足不同的需求；
在半导体化学材质的制备过程中，经常需要用到一些不同尺寸的器皿，在使用结束后需要清洗，然后干燥，目前器皿干燥设备功能单一，尺寸固定，往往无法满足半导体化学材质制备器皿的需求。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种半导体化学器皿干燥装置，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种半导体化学器皿干燥装置，包括箱体，所述箱体的外侧设置有电源插孔，所述箱体的中部通过轴承座转动连接有支撑轴，所述箱体的的内壁设置有侧支架，所述箱体的底侧铺设有电加热丝，所述箱体的上端通过内螺纹旋接有盖帽，所述侧支架的侧端嵌接有风扇，所述支撑轴的外侧固定连接有托架，所述托架的上端固定连接有盛放圈，所述盖帽的下侧设置有紫外线灯珠，所述盛放圈通过连接扣卡接有固定环，所述固定环的一侧通过固定栓固定连接有活动环。
进一步地，所述电加热丝为镍金属材料，所述电加热丝组成环状加热圈。
进一步地，所述侧支架共设置四组，所述侧支架对称分布在箱体内壁。
进一步地，所述风扇对应托架分层设置，所述风扇采用内嵌式设计，所述风扇的安装高度略高于托架的位置。
进一步地，所述紫外线灯珠安装在盖帽上，所述紫外线灯珠与电加热丝和风扇形成联动控制。
进一步地，所述支撑轴可以手动通过轴承座形成旋转，所述支撑轴上的托架为错位分层设计。
进一步地，所述活动环为铝合金材质，所述活动环能够向固定环内收缩形成较小的固定环，所述活动环的两侧通过固定栓实现在固定环内的固定。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该实用新型装置通过设置电加热丝配合风扇能够高效的、快速的干燥制备器皿，使得清洗的器皿能够继续投入使用，通过设置紫外线灯珠能够一定程度的杀灭和抑制细菌，提高半导体化学材质的制备效果，通过设置活动环配合固定环和固定栓能够根据不同的制备器皿实现高效的调节，避免尺寸不合适导致干燥过程中器皿损坏。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图。
图2为本实用新型箱体俯视图。
图3为本实用新型盛放圈结构示意图。
图中：1、箱体；2、盛放圈；3、侧支架；4、风扇；5、内螺纹；6、盖帽；7、紫外线灯珠；8、支撑轴；9、托架；10、轴承座；11、电加热丝；12、电源插孔；13、连接扣；14、活动环；15、固定栓；16、固定环。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1-3所示，一种半导体化学器皿干燥装置，包括箱体1，所述箱体1的外侧设置有电源插孔12，所述箱体1的中部通过轴承座10转动连接有支撑轴8，所述箱体1的的内壁设置有侧支架3，所述箱体1的底侧铺设有电加热丝11，所述箱体1的上端通过内螺纹5旋接有盖帽6，所述侧支架3的侧端嵌接有风扇4，所述支撑轴8的外侧固定连接有托架9，所述托架9的上端固定连接有盛放圈2，所述盖帽6的下侧设置有紫外线灯珠7，所述盛放圈2通过连接扣13卡接有固定环16，所述固定环16的一侧通过固定栓15固定连接有活动环14。
其中，所述电加热丝11为镍金属材料，所述电加热丝11组成环状加热圈，通过电加热丝11配合风扇4能够快速的干燥器皿，便于继续投入半导体化学材质的制备。
其中，所述侧支架3共设置四组，所述侧支架3对称分布在箱体1内壁，通过设置侧支架3来固定风扇4使得器皿上的水分快速干燥，多层设置能够高效的干燥不同托架9上的器皿。
其中，所述风扇4对应托架9分层设置，所述风扇4采用内嵌式设计，所述风扇4的安装高度略高于托架9的位置，风扇4提高空气流通是的电加热丝11加热的热空气快速交换，使得器皿快速干燥。
其中，所述紫外线灯珠7安装在盖帽6上，所述紫外线灯珠7与电加热丝11和风扇4形成联动控制，通过紫外线灯珠7能够抑制和杀灭细菌，提高半导体化学材质的制备效果。
其中，所述支撑轴8可以手动通过轴承座10形成旋转，所述支撑轴8上的托架9为错位分层设计，通过可以旋转的支撑轴8能够快速高效的更换和安装需要干燥的器皿，提高效率。
其中，所述活动环14为铝合金材质，所述活动环14能够向固定环16内收缩形成较小的固定环16，所述活动环14的两侧通过固定栓15实现在固定环16内的固定，通过活动环14能够快速的调整固定圈大小，用户适配不同尺寸的器皿，起到稳定固定，有效避免干燥过程中滑动引起的器皿损坏。
需要说明的是，本实用新型为一种半导体化学器皿干燥装置，
使用步骤：用户握持盖帽6旋转内螺纹5打开盖帽6，根据不同尺寸的器皿调节活动环14和固定环16的大小，调整合适后，将器皿放入盛放圈2内，旋转托架9沿着支撑轴8旋转，在不同的托架9不断放置器皿，放置完成后，旋上盖帽6，接入电源插孔12，电加热丝11开始加热，热空气通过风扇4不断交换，使得器皿干燥，紫外线灯珠7也通过放射紫外线实现灭菌，器皿干燥后，拔掉电源插孔12，旋开盖帽6，等冷却后，取出器皿。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种半导体化学器皿干燥装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的外侧设置有电源插孔(12)，所述箱体(1)的中部通过轴承座(10)转动连接有支撑轴(8)，所述箱体(1)的内壁设置有侧支架(3)，所述箱体(1)的底侧铺设有电加热丝(11)，所述箱体(1)的上端通过内螺纹(5)旋接有盖帽(6)，所述侧支架(3)的侧端嵌接有风扇(4)，所述支撑轴(8)的外侧固定连接有托架(9)，所述托架(9)的上端固定连接有盛放圈(2)，所述盖帽(6)的下侧设置有紫外线灯珠(7)，所述盛放圈(2)通过连接扣(13)卡接有固定环(16)，所述固定环(16)的一侧通过固定栓(15)固定连接有活动环(14)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体化学器皿干燥装置，其特征在于：所述电加热丝(11)为镍金属材料，所述电加热丝(11)组成环状加热圈。
3.根据权利要求1所述的一种半导体化学器皿干燥装置，其特征在于：所述侧支架(3)共设置四组，所述侧支架(3)对称分布在箱体(1)内壁。
4.根据权利要求1所述的一种半导体化学器皿干燥装置，其特征在于：所述风扇(4)对应托架(9)分层设置，所述风扇(4)采用内嵌式设计，所述风扇(4)的安装高度略高于托架(9)的位置。
5.根据权利要求1所述的一种半导体化学器皿干燥装置，其特征在于：所述紫外线灯珠(7)安装在盖帽(6)上，所述紫外线灯珠(7)与电加热丝(11)和风扇(4)形成联动控制。
6.根据权利要求1所述的一种半导体化学器皿干燥装置，其特征在于：所述支撑轴(8)可以手动通过轴承座(10)形成旋转，所述支撑轴(8)上的托架(9)为错位分层设计。
7.根据权利要求1所述的一种半导体化学器皿干燥装置，其特征在于：所述活动环(14)为铝合金材质，所述活动环(14)能够向固定环(16)内收缩形成较小的固定环(16)，所述活动环(14)的两侧通过固定栓(15)实现在固定环(16)内的固定。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113320277A (zh) * | 2021-04-02 | 2021-08-31 | 重庆凯嵩科技有限公司 | 一种基于千层架循环烘干系统 |
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2019
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