CN210394496U - 一种镀膜机靶头 - Google Patents

Abstract

本实用新型具体涉及一种镀膜机靶头，包括靶芯、套接于靶芯外的靶轴及依次套接在靶轴上的靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，所述靶轴上对应设置有靶头固定座套接台、靶框套接台、齿轮套接台、固定轴承套接台、油封组件套接台以及油封固定套套接台。通过在靶轴上依次套接靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，确保靶头在使用过程中靶轴与油封、油封固定套、靶芯等同心，避免靶轴在使用过程中出现左右摇摆的情形，从而确保油封与靶轴之间的密封性，避免靶头在使用过程中出现漏水的情况，同时还减少油封组件的磨损，延长油封组件的寿命。

Description

一种镀膜机靶头

技术领域

本实用新型属于镀膜机技术领域，具体涉及一种镀膜机靶头。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等多种镀膜机。目前镀膜机的靶头在使用过程中其靶轴在运转时总是左右摇摆不固定，导致油封受力不均匀，且对油封的磨损极大，进而导致油封寿命短、变形快的后果。进一步地，由于油封的磨损，进而导致靶头与靶轴的接触紧密性差。在镀膜生产过程中靶头内部的冷却水由于紧密性差的原因而产生泄露，而漏水则影响镀膜效果。现有的镀膜机不良率比较高。且，由于油寿命短，在镀膜过程中需要经常对靶头的油封进行拆卸更换，从而导致生产效率低、质量差、成本高、不良率高。

实用新型内容

基于上述现有技术的缺陷与不足，本实用新型的目的在于提供一种镀膜机靶头，大大延长油封的使用寿命，有效防止漏水现象的产生，且生产效率高、成本低。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：

一种镀膜机靶头，包括靶芯、套接于靶芯外的靶轴以及依次套接在靶轴上的靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，所述靶轴上对应设置有靶头固定座套接台、靶框套接台、齿轮套接台、固定轴承套接台、油封组件套接台以及油封固定套套接台。

作为优选，所述固定轴承为绝缘固定轴承。

作为优选，所述固定轴承为陶瓷固定轴承。

作为优选，所述油封组件包括两个依次层叠的第一油封件和第二油封件。

作为优选，所述第一油封件设置在固定轴承上方，第二油封件设置在第一油封件上方，油封固定套设置在第二油封件上方。

作为优选，所述靶头固定座设置有座肩用于承托靶框及靶框内的齿轮。

作为优选，所述靶头固定座与靶框之间设置一靶头绝缘垫。

作为优选，所述油封组件与油封固定套之间设置一油封套绝缘垫。

作为优选，所述油封固定套顶部开设有进水口，所述油封固定套侧壁开设有出水口。

作为优选，所述靶头还包括用于密封进水口的盖体，所述盖体设置于油封固定套的进水口处。

本实用新型相对于现有技术具有的优点及效果：

1.本实用新型通过在靶轴上依次套接靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，确保靶头在使用过程中靶轴与油封、油封固定套、靶芯等同心，避免靶轴在使用过程中出现左右摇摆的情形，从而确保油封与靶轴之间的密封性，避免靶头在使用过程中出现漏水的情况，同时还减少油封组件的磨损，延长油封组件的寿命。

2.本实用新型采用绝缘固定轴承确保镀膜机设备在运转过程中靶头固定座与靶芯之间的绝缘。

3.本实用新型的固定轴承采用陶瓷固定轴承，使用寿命长，且材料成本低，在靶头使用过程中不需要频繁更换固定轴承，生产效率高。

4.本实用新型油封组件的使用寿命长，从而提高了生产效率，且减少了材料损耗，降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型所述镀膜机靶头的爆炸图；

图2为本实用新型所述镀膜机靶头的剥离靶轴后的结构示意图；

图3为图2的侧视图。

其中，靶芯-1、靶轴-2、靶头固定座-3、靶框-4、齿轮-5、固定轴承-6、油封组件-7、油封固定套-8、靶头固定座套接台-101、靶框套接台-102、齿轮套接台-103、固定轴承套接台-104、油封组件套接台-105、油封固定套套接台-106、座肩-301、靶头绝缘垫-9、油封套绝缘垫-10、第一油封件-701、第二油封件-702、进水口-801、出水口-802、盖体-11。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例1

如图1、图2及图3所示，所述镀膜机靶头包括靶芯1、套接于靶芯外的靶轴2以及依次套接在靶轴上的靶头固定座3、靶框4、齿轮5、固定轴承6、油封组件7以及油封固定套8，所述靶轴上对应设置有靶头固定座套接台101、靶框套接台102、齿轮套接台103、固定轴承套接台104、油封组件套接台105以及油封固定套套接台106。所述镀膜机靶头通过在靶轴上依次套接靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，确保靶头在使用过程中靶轴与油封、油封固定套、靶芯等同心，避免靶轴在使用过程中出现左右摇摆的情形，从而确保油封与靶轴之间的密封性，避免靶头在使用过程中出现漏水的情况，同时还减少油封组件的磨损，延长油封组件的寿命。

在本实施例中，所述靶头固定座设置有座肩301用于承托靶框及靶框内的齿轮，所述座肩沿轴向承托固定靶框及靶框内的齿轮，防止靶头使用过程中靶框、齿轮沿轴向移位。

在本实施例中，所述固定轴承为采用缘固定轴承，具体为陶瓷固定轴承。采用缘固定轴承确保镀膜机设备在运转过程中靶头与靶芯之间的绝缘，同时选用陶瓷固定轴承使用寿命长，且材料成本低，此外在靶头使用过程中不需要频繁更换固定轴承，生产效率高。

在本实施例中，所述靶头固定座与靶框之间设置一靶头绝缘垫9，确保靶头固定座与靶框之间的绝缘性。

在本实施例中，所述油封组件与油封固定套之间设置一油封套绝缘垫10，确保油封与油封固定套之间的绝缘性。所述油封组件包括两个依次层叠的第一油封件701和第二油封件702，其中第一油封件设置在固定轴承上方，第二油封件设置在第一油封件上方，油封套绝缘垫设置在第二油封件上方。

在本实施例中，所述油封固定套顶部开设有进水口801，所述油封固定套侧壁开设有出水口802。所述靶头还包括用于密封进水口的盖体11，所述盖体设置于油封固定套的进水口处。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本实用新型；但是，凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，可利用以上所揭示的技术内容而作出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本实用新型的等效实施例；同时，凡依据本实用新型的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本实用新型的技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种镀膜机靶头，包括靶芯、套接于靶芯外的靶轴，其特征在于：还包括依次套接在靶轴上的靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，所述靶轴上对应设置有靶头固定座套接台、靶框套接台、齿轮套接台、固定轴承套接台、油封组件套接台以及油封固定套套接台。

2.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述固定轴承为绝缘固定轴承。

3.根据权利要求2所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述固定轴承为陶瓷固定轴承。

4.根据权利要求3所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述油封组件包括两个依次层叠的第一油封件和第二油封件。

5.根据权利要求4所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述第一油封件设置在固定轴承上方，第二油封件设置在第一油封件上方，油封固定套设置在第二油封件上方。

6.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述靶头固定座设置有座肩用于承托靶框及靶框内的齿轮。

7.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述靶头固定座与靶框之间设置一靶头绝缘垫。

8.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述油封组件与油封固定套之间设置一油封套绝缘垫。

9.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述油封固定套顶部开设有进水口，所述油封固定套侧壁开设有出水口。

10.根据权利要求9所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述靶头还包括用于密封进水口的盖体，所述盖体设置于油封固定套的进水口处。

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