CN210361998U - 一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置 - Google Patents
一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210361998U CN210361998U CN201920992930.8U CN201920992930U CN210361998U CN 210361998 U CN210361998 U CN 210361998U CN 201920992930 U CN201920992930 U CN 201920992930U CN 210361998 U CN210361998 U CN 210361998U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wall
- fixed
- crystal bar
- push rod
- silicon carbide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Vibration Dampers (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆和固定于一端的联轴器，所述连接杆另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆，且支撑杆远离连接杆的一端焊接有同一个固定管，所述固定管的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔，且固定管的外壁上通过螺丝固定有与通孔数量相匹配的夹持机构，所述夹持机构包括推杆电机、固定于推杆电机一端的压力传感器、与压力传感器连接的弧形结构缓冲垫和固定于推杆电机一侧外壁上的微处理器。本实用新型能够实时监测夹持机构对碳化硅晶棒的夹持力度，能够根据压力信息调节对碳化硅晶棒的夹持力，提供稳定的夹持力，能够在夹持机构与碳化硅晶棒接触时缓冲接触力度，避免碳化硅受损。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅晶棒加工技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置。
背景技术
现有的用于加工碳化硅的夹具，结构复杂，不易使用，且夹具夹持机构通常通过实心垫块或垫片夹持，而实心垫块或垫片施加夹持力度后，施力点与碳化硅为硬性接触，易使碳化硅在夹持过程中造成损伤。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆和固定于一端的联轴器，所述连接杆另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆，且支撑杆远离连接杆的一端焊接有同一个固定管，所述固定管的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔，且固定管的外壁上通过螺丝固定有与通孔数量相匹配的夹持机构，所述夹持机构包括推杆电机、固定于推杆电机一端的压力传感器、与压力传感器连接的弧形结构缓冲垫和固定于推杆电机一侧外壁上的微处理器，且推杆电机的输出轴滑动插接于通孔的内壁上。
优选的，所述缓冲垫包括为硅胶或橡胶制成的中空垫体，且中空垫体长度方向的两侧内壁之间连接有隔膜，所述隔膜将中空垫体的内部分隔为第一储液室和位于第一储液室一侧的第二储液室。
优选的，所述隔膜的两侧外壁上均固定有等距离分布的弹簧，且弹簧的另一端与中空垫体的内壁连接。
优选的，所述弹簧的两端均焊接有支撑片，且支撑片分别与隔膜的外壁和中空垫体的内壁粘接。
优选的，所述推杆电机通过导线与微处理器连接，且压力传感器通过信号线与微处理器连接。
本实用新型的有益效果为：
1、通过在缓冲垫一端安装压力传感器，能够实时监测夹持机构对碳化硅晶棒的夹持力度，微处理器接收压力传感器传输的压力信息，能够根据压力信息调节推杆电机对碳化硅晶棒的夹持力，提供稳定的夹持力；
2、通过在橡胶或硅胶制成的中空垫体内安装隔膜，能够在隔膜的两侧安装弹簧和盛放缓冲液，能够在缓冲垫与碳化硅晶棒接触时通过弹簧、隔膜缓冲接触力度，避免碳化硅受损。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置的缓冲垫结构示意图。
图中：1连接杆、2联轴器、3支撑杆、4固定管、5推杆电机、6通孔、7压力传感器、8缓冲垫、9中空垫体、10隔膜、11第一储液室、12第二储液室、13弹簧、14支撑片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆1和固定于一端的联轴器2，连接杆1另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆3，且支撑杆3远离连接杆1的一端焊接有同一个固定管4，固定管4的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔6，且固定管4的外壁上通过螺丝固定有与通孔6数量相匹配的夹持机构，夹持机构包括推杆电机5、固定于推杆电机5一端的压力传感器7、与压力传感器7连接的弧形结构缓冲垫8和固定于推杆电机5一侧外壁上的微处理器，且推杆电机5的输出轴滑动插接于通孔6的内壁上。
本实用新型中，缓冲垫8包括为硅胶或橡胶制成的中空垫体9，且中空垫体9长度方向的两侧内壁之间连接有隔膜10，隔膜10将中空垫体9的内部分隔为第一储液室11和位于第一储液室11一侧的第二储液室12，隔膜10的两侧外壁上均固定有等距离分布的弹簧13，且弹簧13的另一端与中空垫体9的内壁连接，弹簧13的两端均焊接有支撑片14，且支撑片14分别与隔膜10的外壁和中空垫体9的内壁粘接，推杆电机5通过导线与微处理器连接，且压力传感器7通过信号线与微处理器连接，微处理器型号为ARM9TDMI。
工作原理：通过在缓冲垫8一端安装压力传感器7，能够实时监测夹持机构对碳化硅晶棒的夹持力度，微处理器接收压力传感器7传输的压力信息，能够根据压力信息调节推杆电机5对碳化硅晶棒的夹持力，提供稳定的夹持力，通过在橡胶或硅胶制成的中空垫体9内安装隔膜10，能够在隔膜10的两侧安装弹簧13和盛放缓冲液，能够在缓冲垫8与碳化硅晶棒接触时通过弹簧13、隔膜10缓冲接触力度，避免碳化硅受损。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆(1)和固定于一端的联轴器(2)，其特征在于，所述连接杆(1)另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆(3)，且支撑杆(3)远离连接杆(1)的一端焊接有同一个固定管(4)，所述固定管(4)的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔(6)，且固定管(4)的外壁上通过螺丝固定有与通孔(6)数量相匹配的夹持机构，所述夹持机构包括推杆电机(5)、固定于推杆电机(5)一端的压力传感器(7)、与压力传感器(7)连接的弧形结构缓冲垫(8)和固定于推杆电机(5)一侧外壁上的微处理器，且推杆电机(5)的输出轴滑动插接于通孔(6)的内壁上。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述缓冲垫(8)包括为硅胶或橡胶制成的中空垫体(9)，且中空垫体(9)长度方向的两侧内壁之间连接有隔膜(10)，所述隔膜(10)将中空垫体(9)的内部分隔为第一储液室(11)和位于第一储液室(11)一侧的第二储液室(12)。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述隔膜(10)的两侧外壁上均固定有等距离分布的弹簧(13)，且弹簧(13)的另一端与中空垫体(9)的内壁连接。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述弹簧(13)的两端均焊接有支撑片(14)，且支撑片(14)分别与隔膜(10)的外壁和中空垫体(9)的内壁粘接。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述推杆电机(5)通过导线与微处理器连接，且压力传感器(7)通过信号线与微处理器连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920992930.8U CN210361998U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920992930.8U CN210361998U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210361998U true CN210361998U (zh) | 2020-04-21 |
Family
ID=70267894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920992930.8U Active CN210361998U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210361998U (zh) |
-
2019
- 2019-06-28 CN CN201920992930.8U patent/CN210361998U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201915461U (zh) | 水管管卡 | |
| CN210361998U (zh) | 一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置 | |
| CN216382835U (zh) | 消防工程用管道固定架 | |
| CN218267740U (zh) | 一种抗压能力强的管接头 | |
| CN211373911U (zh) | 一种具有防震功能的扭矩压力表 | |
| CN214305785U (zh) | 一种稳定性高的橡胶波纹管 | |
| CN212824968U (zh) | 圆管固定工装 | |
| CN211317997U (zh) | 一种拉伸试样断后标距测量台 | |
| CN209839342U (zh) | 一种稳定性良好的弹簧支吊架 | |
| CN211118216U (zh) | 一种抗静电阻燃塑料复合管的连接接头 | |
| CN212859205U (zh) | 一种金属铸造用高稳定性夹持装置 | |
| CN220983566U (zh) | 一种防水型光纤连接器 | |
| CN212776475U (zh) | 一种具有耐腐蚀绝缘层的超声波换能器 | |
| CN211373910U (zh) | 一种便于安装的储气罐专用压力表 | |
| CN211371467U (zh) | 一种燃气输送管道安装用防沉降装置 | |
| CN215001873U (zh) | 一种用于供热系统的供热管网 | |
| CN215573405U (zh) | 一种管式温度传感器固定座 | |
| CN214662885U (zh) | 一种抗风压型排烟管道用固定支架 | |
| CN220910688U (zh) | 一种建筑给水管道挂墙装置 | |
| CN213694115U (zh) | 一种基于水下主动式侦听的水声换能器 | |
| CN214888554U (zh) | 伸展末端缓冲型自卸式气弹簧 | |
| CN214744126U (zh) | 一种限制风管地震位移的抗震支架 | |
| CN214118775U (zh) | 一种刀架的超长联轴器传动机构 | |
| CN217175897U (zh) | 一种建筑工程结构缝隙灌浆辅助装置 | |
| CN217784399U (zh) | 一种输料管道的固定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |