CN210325703U - 一种边缘刻蚀用喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种边缘刻蚀用喷淋装置，包括动力箱、抽入管、水泵、支撑板和控制面板，所述动力箱的内部固定有支撑板，支撑板的顶端安装有水泵，所述水泵的输入端固定有抽入管，所述伸缩管的一端固定有铰接片，铰接片的表面安装有等间距的紧固螺丝，所述铰接片远离伸缩管的一侧安装有防护罩，防护罩的内部固定有喷洒板，所述喷洒板的内部安装有输送管道，所述恒温板的内部安装有保温石棉网，抗腐蚀板的内部设有等间距的聚四氟乙烯。本实用新型不仅提高了装置使用时的喷淋效果，增强了装置使用时喷淋位置的精确性，而且避免了装置使用时喷淋溶液性质改变。

Description

一种边缘刻蚀用喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及喷淋装置技术领域，具体为一种边缘刻蚀用喷淋装置。

背景技术

边缘刻蚀机主要用来替代手工对外延硅片进行边缘刻蚀处理，喷淋装置目前也广泛的应用到了边缘刻蚀机中去，主要是配合边缘刻蚀机采用酸腐蚀的方法去除氧化膜，近年来的发展也较为迅速。

目前市面上这种的使用与发展都较为迅速，一般普通的边缘刻蚀机用的喷淋装置都可以解决基本出现的问题，但使用中仍有不足，具体问题有以下几点。

1、传统的此类装置使用时的耐酸的性能较差，很容易在喷淋容易在工作途中与其发生反应，导致喷淋效果变差；

2、传统的此类装置使用时较为木讷，不能够变换长度与角度，使其使用起来较为费力，且喷淋位置不够精确；

3、传统的此类装置的喷淋溶液易受温度的改变，外界温度过高或多低都影响喷淋效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种边缘刻蚀用喷淋装置，以解决上述背景技术中提出装置喷淋效果变差、喷淋位置不够精确以及喷淋溶液易受温度的改变的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种边缘刻蚀用喷淋装置，包括动力箱、抽入管、水泵、支撑板和控制面板，所述动力箱的内部固定有支撑板，支撑板的顶端安装有水泵，所述水泵的输入端固定有抽入管，且抽入管远离水泵的一端延伸至动力箱的外部，所述动力箱的表面安装有控制面板，且控制面板内部单片机的输出端与水泵的输入端电性连接，所述动力箱的一侧焊接有连接底座，连接底座的表面设有螺孔，所述连接底座远离动力箱的一端设有伸缩管，且伸缩管的一端延伸至连接底座的内部，所述伸缩管的一端固定有铰接片，铰接片的表面安装有等间距的紧固螺丝，所述铰接片远离伸缩管的一侧安装有防护罩，防护罩的内部固定有喷洒板，所述喷洒板的内部安装有输送管道，且输送管道的一端与水泵的输出端固定连接，所述输送管道与喷洒板的内部皆设有PVC板，PVC板的内部固定有恒温板，所述恒温板的内部安装有保温石棉网，所述PVC板的内部安装有抗腐蚀板，抗腐蚀板的内部设有等间距的聚四氟乙烯。

优选的，所述动力箱内部的底端固定有减噪棉。

优选的，所述动力箱表面的中心位置处固定有螺纹沉孔，同时螺纹沉孔两侧的动力箱表面皆安装有夹持板，并且夹持板的顶端焊接有等间距的弹性开口环，且弹性开口环与螺纹沉孔相互配合。

优选的，所述喷洒板的表面设有等间距的喷嘴。

优选的，所述伸缩管的表面套装有紧固环，紧固环一侧的伸缩管表面缠绕有缓冲弹簧。

优选的，所述螺孔位置处的连接底座表面铰接有调节栓。

优选的，所述恒温板的内部安装有等间距的加热棒，同时加热棒的表面固定有等间距的陶瓷颗粒，并且陶瓷颗粒两侧的加热棒表面皆焊接有等间距的散热翅。

优选的，所述加热棒两侧的恒温板表面填充有导热沙。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该边缘刻蚀用喷淋装置不仅高了装置使用时的喷淋效果，增强了装置使用时喷淋位置的精确性，而且避免了装置使用时喷淋溶液性质改变；

1、通过在输送管道与喷洒板的内部皆设PVC板，PVC板的内部固定恒温板，恒温板的内部安装保温石棉网，PVC板的内部安装抗腐蚀板，抗腐蚀板的内部设等间距的聚四氟乙烯，实现了装置的抗酸碱功能，从而提高了装置使用时的喷淋效果；

2、通过在动力箱的一侧焊接连接底座，连接底座的表面设螺孔，连接底座远离动力箱的一端设伸缩管，伸缩管的一端固定铰接片，铰接片的表面安装等间距的紧固螺丝，实现了装置的角度切换功能，从而增强了装置使用时喷淋位置的精确性；

3、通过在恒温板的内部安装等间距的加热棒，加热棒的表面固定等间距的陶瓷颗粒，陶瓷颗粒两侧的加热棒表面皆焊接等间距的散热翅，实现了装置的恒温功能，从而避免了装置使用时喷淋溶液性质改变。

附图说明

图1为本实用新型的剖视结构示意图；

图2为本实用新型的主视结构示意图；

图3为本实用新型的抗腐蚀板放大结构示意图；

图4为本实用新型的保温板放大结构示意图；

图5为本实用新型的伸缩管放大结构示意图；

图6为本实用新型的侧视结构示意图

图7为本实用新型的系统框架结构示意图。

图中：1、动力箱；2、抽入管；3、水泵；4、输送管道；5、连接底座； 6、铰接片；7、防护罩；8、喷洒板；9、喷嘴；10、紧固螺丝；11、伸缩管；12、支撑板；13、减噪棉；14、调节栓；15、螺孔；16、控制面板；17、恒温板；18、抗腐蚀板；19、聚四氟乙烯；20、PVC板；21、加热棒；22、散热翅；23、陶瓷颗粒；24、导热沙；25、保温石棉网；26、夹持板；27、螺纹沉孔；28、弹性开口环；29、紧固环；30、缓冲弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7，本实用新型提供的一种实施例：一种边缘刻蚀用喷淋装置，包括动力箱1、抽入管2、水泵3、支撑板12和控制面板16，动力箱1的内部固定有支撑板12，动力箱1表面的中心位置处固定有螺纹沉孔27，同时螺纹沉孔27两侧的动力箱1表面皆安装有夹持板26，并且夹持板26的顶端焊接有等间距的弹性开口环28，且弹性开口环28与螺纹沉孔27相互配合，用于夹持作用，动力箱1内部的底端固定有减噪棉13，用于减噪，支撑板12的顶端安装有水泵3，该水泵3的型号可为150QJ20-54/9，水泵3的输入端固定有抽入管2，且抽入管2远离水泵3的一端延伸至动力箱1的外部，动力箱 1的表面安装有控制面板16，该控制面板16的型号可为KTP600，且控制面板 16内部单片机的输出端与水泵3的输入端电性连接，动力箱1的一侧焊接有连接底座5，连接底座5的表面设有螺孔15，螺孔15位置处的连接底座5表面铰接有调节栓14，调节长度，连接底座5远离动力箱1的一端设有伸缩管 11，伸缩管11的表面套装有紧固环29，紧固环29一侧的伸缩管11表面缠绕有缓冲弹簧30，用于将其夹持在平板表面，同时起到精装缓冲的作用，且伸缩管11的一端延伸至连接底座5的内部，伸缩管11的一端固定有铰接片6，铰接片6的表面安装有等间距的紧固螺丝10，铰接片6远离伸缩管11的一侧安装有防护罩7，防护罩7的内部固定有喷洒板8，喷洒板8的表面设有等间距的喷嘴9，用于喷淋，喷洒板8的内部安装有输送管道4，且输送管道4的一端与水泵3的输出端固定连接，输送管道4与喷洒板8的内部皆设有PVC 板20，PVC板20的内部固定有恒温板17，恒温板17的内部安装有等间距的加热棒21，加热棒21两侧的恒温板17表面填充有导热沙24，用于散热，同时加热棒21的表面固定有等间距的陶瓷颗粒23，并且陶瓷颗粒23两侧的加热棒21表面皆焊接有等间距的散热翅22，保持恒温，恒温板17的内部安装有保温石棉网25，PVC板20的内部安装有抗腐蚀板18，抗腐蚀板18的内部设有等间距的聚四氟乙烯19。

工作原理：使用时，首先通过动力箱1表面的螺纹沉孔27将整个装置安装固定，再通过其两侧夹持板26表面等间距的弹性开口环28将其夹持在指定位置处，随后再通过操作控制面板16使其控制水泵3的开启，抽入管2会将溶液经输送管道4送至喷洒板8的内部，最后由喷洒板8表面的喷嘴9喷洒至边角，可通过铰接片6表面的紧固螺丝10与连接底座5表面的螺孔15 调节长度与角度，实现了装置的角度切换功能，从而增强了装置使用时喷淋位置的精确性，喷淋过程中控制面板16会控制加热棒21的加热，同时散热翅22与导热沙24对外进行散热，保温石棉网25起到了保温的作用，实现了装置的恒温功能，从而避免了装置使用时喷淋溶液性质改变，同时PVC板20 与其内部的恒温板17以及抗腐蚀板18内部的聚四氟乙烯19都起到了良好的抗腐蚀作用，实现了装置的抗酸碱功能，从而提高了装置使用时的喷淋效果，完成边缘刻蚀用喷淋装置的工作。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (8)

1.一种边缘刻蚀用喷淋装置，包括动力箱(1)、抽入管(2)、水泵(3)、支撑板(12)和控制面板(16)，其特征在于：所述动力箱(1)的内部固定有支撑板(12)，支撑板(12)的顶端安装有水泵(3)，所述水泵(3)的输入端固定有抽入管(2)，且抽入管(2)远离水泵(3)的一端延伸至动力箱(1)的外部，所述动力箱(1)的表面安装有控制面板(16)，且控制面板(16)内部单片机的输出端与水泵(3)的输入端电性连接，所述动力箱(1)的一侧焊接有连接底座(5)，连接底座(5)的表面设有螺孔(15)，所述连接底座(5)远离动力箱(1)的一端设有伸缩管(11)，且伸缩管(11)的一端延伸至连接底座(5)的内部，所述伸缩管(11)的一端固定有铰接片(6)，铰接片(6)的表面安装有等间距的紧固螺丝(10)，所述铰接片(6)远离伸缩管(11)的一侧安装有防护罩(7)，防护罩(7)的内部固定有喷洒板(8)，所述喷洒板(8)的内部安装有输送管道(4)，且输送管道(4)的一端与水泵(3)的输出端固定连接，所述输送管道(4)与喷洒板(8)的内部皆设有PVC板(20)，PVC板(20)的内部固定有恒温板(17)，所述恒温板(17)的内部安装有保温石棉网(25)，所述PVC板(20)的内部安装有抗腐蚀板(18)，抗腐蚀板(18)的内部设有等间距的聚四氟乙烯(19)。

2.根据权利要求1所述的一种边缘刻蚀用喷淋装置，其特征在于：所述动力箱(1)内部的底端固定有减噪棉(13)。

3.根据权利要求1所述的一种边缘刻蚀用喷淋装置，其特征在于：所述动力箱(1)表面的中心位置处固定有螺纹沉孔(27)，同时螺纹沉孔(27)两侧的动力箱(1)表面皆安装有夹持板(26)，并且夹持板(26)的顶端焊接有等间距的弹性开口环(28)，且弹性开口环(28)与螺纹沉孔(27)相互配合。

4.根据权利要求1所述的一种边缘刻蚀用喷淋装置，其特征在于：所述喷洒板(8)的表面设有等间距的喷嘴(9)。

5.根据权利要求1所述的一种边缘刻蚀用喷淋装置，其特征在于：所述伸缩管(11)的表面套装有紧固环(29)，紧固环(29)一侧的伸缩管(11)表面缠绕有缓冲弹簧(30)。

6.根据权利要求1所述的一种边缘刻蚀用喷淋装置，其特征在于：所述螺孔(15)位置处的连接底座(5)表面铰接有调节栓(14)。

7.根据权利要求1所述的一种边缘刻蚀用喷淋装置，其特征在于：所述恒温板(17)的内部安装有等间距的加热棒(21)，同时加热棒(21)的表面固定有等间距的陶瓷颗粒(23)，并且陶瓷颗粒(23)两侧的加热棒(21)表面皆焊接有等间距的散热翅(22)。

8.根据权利要求7所述的一种边缘刻蚀用喷淋装置，其特征在于：所述加热棒(21)两侧的恒温板(17)表面填充有导热沙(24)。

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