CN210314466U - 一种全自动溅镀装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及溅镀技术领域，具体为一种全自动溅镀装置。
背景技术
溅镀是指在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快，以Cu,Au,Ag等最高，Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以直流辉光放电(glow discharge)产生，在10-1—10Pa真空度，在两极间加高压产生放电，正离子会轰击负电之靶材而溅射也靶材，而镀至被镀物上。但是，目前的溅镀装置其工件夹具通常放置在底部，这就导致溅镀效率低，自动化程度低。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种全自动溅镀装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。
所述阴极电极固定支架外侧设有密封绝缘衬垫，密封绝缘衬垫安装在下固定板上。
所述溅镀气体入口上安装有电磁阀，溅镀气体入口通过输送管连接于溅镀气体存储罐，溅镀气体存储罐安装在上固定板上。
所述抽真空排出口连接于抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵安装支架上，所述真空泵安装支架安装在下固定板上。
所述溅镀件固定支架包括左夹紧杆、右夹紧杆，所述左夹紧杆、右夹紧杆交叉设置，所述左夹紧杆、右夹紧杆中部提高旋转销安装固定，所述左夹紧杆、右夹紧杆上端之间设有双头气缸，所述双头气缸的输出轴通过旋转销安装在左夹紧杆、右夹紧杆上端，所述双头气缸的缸体一侧上设有支架固定杆，支架固定杆安装在旋转电机的输出轴上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端外侧设有防刮衬垫，所述防刮衬垫可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。
所述防刮衬垫安装在衬垫固定座上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端设有固定孔，衬垫固定座通过固定卡环可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的溅镀件固定支架结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型，在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
实施例1
如图1所示，一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓3，所述溅镀仓3上端设有上固定板2、下端设有下固定板1，下固定板1安装在设备支架13上，所述上固定板2上设有阳极电极9、所述下固定板1上设有阴极电极8，所述阳极电极9通过阳极电极固定支架10安装在上固定板2，阴极电极8通过阴极电极固定支架11安装在下固定板1上，所述溅镀仓3一侧设有溅镀气体入口17、另一侧设有抽真空排出口6，所述溅镀仓3内设有溅镀件固定支架4，溅镀件固定支架4一端安装在旋转电机14上，所述旋转电机14通过电机固定座15安装在溅镀仓3内。
实施例2
如图1所示，一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓3，所述溅镀仓3上端设有上固定板2、下端设有下固定板1，下固定板1安装在设备支架13上，所述上固定板2上设有阳极电极9、所述下固定板1上设有阴极电极8，所述阳极电极9通过阳极电极固定支架10安装在上固定板2，阴极电极8通过阴极电极固定支架11安装在下固定板1上，所述溅镀仓3一侧设有溅镀气体入口17、另一侧设有抽真空排出口6，所述溅镀仓3内设有溅镀件固定支架4，溅镀件固定支架4一端安装在旋转电机14上，所述旋转电机14通过电机固定座15安装在溅镀仓3内。
所述阴极电极固定支架11外侧设有密封绝缘衬垫12，密封绝缘衬垫12安装在下固定板1上。
所述溅镀气体入口17上安装有电磁阀16，溅镀气体入口17通过输送管18连接于溅镀气体存储罐19，溅镀气体存储罐19安装在上固定板2上。
所述抽真空排出口6连接于抽真空泵5，所述抽真空泵5安装在真空泵安装支架7上，所述真空泵安装支架7安装在下固定板1上。
实施例3
如图1、图2所示，一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓3，所述溅镀仓3上端设有上固定板2、下端设有下固定板1，下固定板1安装在设备支架13上，所述上固定板2上设有阳极电极9、所述下固定板1上设有阴极电极8，所述阳极电极9通过阳极电极固定支架10安装在上固定板2，阴极电极8通过阴极电极固定支架11安装在下固定板1上，所述溅镀仓3一侧设有溅镀气体入口17、另一侧设有抽真空排出口6，所述溅镀仓3内设有溅镀件固定支架4，溅镀件固定支架4一端安装在旋转电机14上，所述旋转电机14通过电机固定座15安装在溅镀仓3内。
所述溅镀件固定支架4包括左夹紧杆41、右夹紧杆42，所述左夹紧杆41、右夹紧杆42交叉设置，所述左夹紧杆41、右夹紧杆42中部提高旋转销43安装固定，所述左夹紧杆41、右夹紧杆42上端之间设有双头气缸45，所述双头气缸45的输出轴46通过旋转销安装在左夹紧杆41、右夹紧杆42上端，所述双头气缸45的缸体一侧上设有支架固定杆44，支架固定杆44安装在旋转电机的输出轴上，所述左夹紧杆41、右夹紧杆42两端外侧设有防刮衬垫48，所述防刮衬垫48可拆卸的安装在左夹紧杆41、右夹紧杆42上。
所述防刮衬垫48安装在衬垫固定座47上，所述左夹紧杆41、右夹紧杆42两端设有固定孔，衬垫固定座47通过固定卡环49可拆卸的安装在左夹紧杆41、右夹紧杆42上。
本实用新型在溅镀仓3内设有溅镀件固定支架4，溅镀件固定支架4一端安装在旋转电机14上，所述旋转电机14通过电机固定座15安装在溅镀仓3内，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，溅镀件固定支架4包括左夹紧杆41、右夹紧杆42，所述左夹紧杆41、右夹紧杆42交叉设置，左夹紧杆41、右夹紧杆42两端外侧设有防刮衬垫48，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，其特征在于：所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。
2.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述阴极电极固定支架外侧设有密封绝缘衬垫，密封绝缘衬垫安装在下固定板上。
3.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述溅镀气体入口上安装有电磁阀，溅镀气体入口通过输送管连接于溅镀气体存储罐，溅镀气体存储罐安装在上固定板上。
4.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述抽真空排出口连接于抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵安装支架上，所述真空泵安装支架安装在下固定板上。
5.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述溅镀件固定支架包括左夹紧杆、右夹紧杆，所述左夹紧杆、右夹紧杆交叉设置，所述左夹紧杆、右夹紧杆中部提高旋转销安装固定，所述左夹紧杆、右夹紧杆上端之间设有双头气缸，所述双头气缸的输出轴通过旋转销安装在左夹紧杆、右夹紧杆上端，所述双头气缸的缸体一侧上设有支架固定杆，支架固定杆安装在旋转电机的输出轴上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端外侧设有防刮衬垫，所述防刮衬垫可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。
6.根据权利要求5所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述防刮衬垫安装在衬垫固定座上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端设有固定孔，衬垫固定座通过固定卡环可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。
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