CN210207830U - 一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管的中部对夹安装有阀门，所述螺纹软管的底部连接有顶部开口的收集筒，且收集筒的顶部卡接于过滤机构，所述收集筒一侧外壁的底部位置处连接有水泵，且水泵通过导管连接有固定于收集槽顶部一侧的水龙头，所述水龙头的出水端通过螺纹连接有喷头。本实用新型能够冲洗并通过超声波清理碳化硅晶片上附着的碎屑，能够过滤和收集碎屑，避免碎屑四处飞舞，避免造成环境污染。

Description

一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。

背景技术

金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为 3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm²。

现有的碳化硅晶片在抛光过程中的废屑没有设置收集装置，容易造成碎屑随着风力四处飞舞，不仅难以清理，而且容易造成空气环境污染。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管的中部对夹安装有阀门，所述螺纹软管的底部连接有顶部开口的收集筒，且收集筒的顶部卡接于过滤机构，所述收集筒一侧外壁的底部位置处连接有水泵，且水泵通过导管连接有固定于收集槽顶部一侧的水龙头，所述水龙头的出水端通过螺纹连接有喷头。

优选的，所述漏屑板为底部凹陷的球壳状结构，且漏屑板上开设有等距离分布的漏屑孔，漏屑孔的孔径为2-5mm。

优选的，所述过滤机构包括从上往下依次套接的第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒，且第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒的直径依次增大，所述第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒上均开设有过滤孔，且第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒过滤孔的孔径依次减小。

优选的，所述第一滤筒顶部焊接有盖板，且盖板与收集筒的顶部相卡接，所述盖板顶部开设有插接孔，且螺纹软管插接于插接孔内。

优选的，所述第一滤筒和第二滤筒两侧外壁的底部位置处均焊接有弹性金属挂钩，且第二滤筒和第三滤筒顶部外壁的两侧均焊接有与弹性金属挂钩相挂接的吊耳。

优选的，所述超声波发生器和水泵均连接有开关，且开关连接有 PLC控制器，开关和PLC控制器均固定于收集槽的一侧外壁上。

本实用新型的有益效果为：

1、水泵抽取收集筒内的水，通过喷头冲洗抛光后的碳化硅晶片, 通过球壳状结构的漏屑板能够收集抛光后的碳化硅晶片，关闭阀门，能够通过在收集槽内盛放清水，通过超声波发生器产生超声波清洗碳化硅晶片，碎屑经漏屑孔流入收集槽底部；

2、打开阀门，收集槽内的碎屑和清水流入过滤机构内，经第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒层层过滤和收集，不会堵塞过滤机构，且便于拆卸第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒，方便取出碳化硅碎屑，不会造成空气和环境污染。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置的过滤机构结构示意图。

图中：1收集槽、2超声波发生器、3漏屑板、4螺纹软管、5阀门、6收集筒、7过滤机构、8水泵、9水龙头、10喷头、11盖板、 12第一滤筒、13第二滤筒、14第三滤筒、15吊耳、16弹性金属挂钩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽 1，收集槽1底部内壁上通过支架安装有漏屑板3，且漏屑板3的四边外壁与收集槽1的内壁粘接，收集槽1的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器2，收集槽1的底部内壁上连接有螺纹软管4，且螺纹软管4的中部对夹安装有阀门5，螺纹软管4的底部连接有顶部开口的收集筒6，且收集筒6的顶部卡接于过滤机构7，收集筒6一侧外壁的底部位置处连接有水泵8，且水泵8通过导管连接有固定于收集槽1顶部一侧的水龙头9，水龙头9的出水端通过螺纹连接有喷头 10。

本实用新型中，漏屑板3为底部凹陷的球壳状结构，且漏屑板3 上开设有等距离分布的漏屑孔，漏屑孔的孔径为2-5mm，过滤机构7 包括从上往下依次套接的第一滤筒12、第二滤筒13和第三滤筒14，且第一滤筒12、第二滤筒13和第三滤筒14的直径依次增大，第一滤筒12、第二滤筒13和第三滤筒14上均开设有过滤孔，且第一滤筒12、第二滤筒13和第三滤筒14过滤孔的孔径依次减小，第一滤筒12顶部焊接有盖板11，且盖板11与收集筒6的顶部相卡接，盖板11顶部开设有插接孔，且螺纹软管4插接于插接孔内，第一滤筒 12和第二滤筒13两侧外壁的底部位置处均焊接有弹性金属挂钩16，且第二滤筒13和第三滤筒14顶部外壁的两侧均焊接有与弹性金属挂钩16相挂接的吊耳15，超声波发生器2和水泵8均连接有开关，且开关连接有PLC控制器，PLC控制器的型号为S7-200,开关和PLC控制器均固定于收集槽1的一侧外壁上。

工作原理：水泵8抽取收集筒6内的水，通过喷头10冲洗抛光后的碳化硅晶片,通过球壳状结构的漏屑板3能够收集抛光后的碳化硅晶片，关闭阀门5，能够通过在收集槽1内盛放清水，通过超声波发生器2产生超声波清洗碳化硅晶片，碎屑经漏屑孔流入收集槽1底部，打开阀门5，收集槽1内的碎屑和清水流入过滤机构7内，经第一滤筒12、第二滤筒13和第三滤筒14层层过滤和收集，不会堵塞过滤机构，且便于拆卸第一滤筒12、第二滤筒13和第三滤筒14，方便取出碳化硅碎屑，不会造成空气和环境污染。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽(1)，其特征在于，所述收集槽(1)底部内壁上通过支架安装有漏屑板(3)，且漏屑板(3)的四边外壁与收集槽(1)的内壁粘接，所述收集槽(1)的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器(2)，所述收集槽(1)的底部内壁上连接有螺纹软管(4)，且螺纹软管(4)的中部对夹安装有阀门(5)，所述螺纹软管(4)的底部连接有顶部开口的收集筒(6)，且收集筒(6)的顶部卡接于过滤机构(7)，所述收集筒(6)一侧外壁的底部位置处连接有水泵(8)，且水泵(8)通过导管连接有固定于收集槽(1)顶部一侧的水龙头(9)，所述水龙头(9)的出水端通过螺纹连接有喷头(10)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述漏屑板(3)为底部凹陷的球壳状结构，且漏屑板(3)上开设有等距离分布的漏屑孔，漏屑孔的孔径为2-5mm。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述过滤机构(7)包括从上往下依次套接的第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)，且第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)的直径依次增大，所述第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)上均开设有过滤孔，且第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)过滤孔的孔径依次减小。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述第一滤筒(12)顶部焊接有盖板(11)，且盖板(11)与收集筒(6)的顶部相卡接，所述盖板(11)顶部开设有插接孔，且螺纹软管(4)插接于插接孔内。

5.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述第一滤筒(12)和第二滤筒(13)两侧外壁的底部位置处均焊接有弹性金属挂钩(16)，且第二滤筒(13)和第三滤筒(14)顶部外壁的两侧均焊接有与弹性金属挂钩(16)相挂接的吊耳(15)。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述超声波发生器(2)和水泵(8)均连接有开关，且开关连接有PLC控制器，开关和PLC控制器均固定于收集槽(1)的一侧外壁上。

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