CN210059184U - 一种玻璃晶圆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱，清洗箱的内部设置有放置框，放置框的内壁之间固定有多个第一隔板、第二隔板，且第一隔板和第二隔板之间十字交叉设置，第一隔板和第二隔板底部均固定有放置板，第二隔板上开设有前后贯穿的第一通孔，第一通孔的内部固定有第一过滤网，放置框的两侧外壁均固定有对称设置的固定块，清洗箱的两侧内壁顶端均开设有对称设置的凹槽，且固定块与凹槽卡接设置。本实用新型能够对多个晶圆进行分开放置，利用超声波进行清洗，避免了相邻晶圆之间的碰撞磨损，提高了实用性，而且能够对清洗后的水源进行过滤吸附处理，进行循环利用，提高了资源利用率。

Description

一种玻璃晶圆清洗装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃晶圆技术领域，尤其涉及一种玻璃晶圆清洗装置。

背景技术

现有的玻璃晶圆进行清洗时，往往是将一大推晶圆放在一起进行冲洗，相邻的晶圆之间容易发生磕碰，造成磨损，为此，我们提出了一种玻璃晶圆清洗装置。

实用新型内容

本实用新型提出的一种玻璃晶圆清洗装置，解决了现有的玻璃晶圆进行清洗时，往往是将一大推晶圆放在一起进行冲洗，相邻的晶圆之间容易发生磕碰，造成磨损的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的内部设置有放置框，所述放置框的内壁之间固定有多个第一隔板、第二隔板，且第一隔板和第二隔板之间十字交叉设置，所述第一隔板和第二隔板底部均固定有放置板，所述第二隔板上开设有前后贯穿的第一通孔，第一通孔的内部固定有第一过滤网，所述放置框的两侧外壁均固定有对称设置的固定块，所述清洗箱的两侧内壁顶端均开设有对称设置的凹槽，且固定块与凹槽卡接设置，所述清洗箱的一侧外壁固定有对称设置的超声波发生器，且超声波发生器的发生头延伸至清洗箱内部。

优选的，所述清洗箱的一侧侧壁连接有循环管，且循环管的两端均与清洗箱内部连通，所述循环管的外侧壁固定有输送泵以及第一阀门。

优选的，所述循环管上连接有处理箱，处理箱的两侧侧壁之间固定有第二过滤网和第三过滤网。

优选的，所述第二过滤网的滤孔直径大于第三过滤网的滤孔之间。

优选的，所述第二过滤网和第三过滤网之间放置有吸附剂。

优选的，所述清洗箱的一侧外壁固定有出料管，出料管上固定有第二阀门。

优选的，所述处理箱的一侧外壁开设有第二通孔，第二通孔的一侧侧壁转动连接有箱门，且箱门位于第二过滤网和第三过滤网之间，所述箱门的外侧壁连接有密封垫，所述箱门与处理箱之间连接有锁扣。

本实用新型中

1通过设置的清洗箱、放置框、第一过滤网、固定块、超声波发生器，能够对多个晶圆进行分开放置，利用超声波进行清洗，避免了相邻晶圆之间的碰撞磨损，提高了实用性：

2：通过设置的处理箱以及循环管之间的配合，能够对清洗后的水源进行过滤吸附处理，进行循环利用，提高了资源利用率；

本实用新型能够对多个晶圆进行分开放置，利用超声波进行清洗，避免了相邻晶圆之间的碰撞磨损，提高了实用性，而且能够对清洗后的水源进行过滤吸附处理，进行循环利用，提高了资源利用率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种玻璃晶圆清洗装置的结构俯视图。

图2为本实用新型提出的一种玻璃晶圆清洗装置的处理箱侧壁结构示意图。

图中标号：1清洗箱、2放置框、3第一隔板、4第二隔板、5第一过滤网、6凹槽、7固定块、8超声波发生器、9循环管、10第一阀门、11输送泵、12处理箱、13第二过滤网、14第三过滤网、15吸附剂、16箱门、17锁扣、18出料管、19第二阀门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱1，清洗箱1的内部设置有放置框2，放置框2的内壁之间固定有多个第一隔板3、第二隔板4，且第一隔板3和第二隔板4之间十字交叉设置，第一隔板3和第二隔板4底部均固定有放置板，第二隔板4上开设有前后贯穿的第一通孔，第一通孔的内部固定有第一过滤网5，放置框2的两侧外壁均固定有对称设置的固定块7，清洗箱1的两侧内壁顶端均开设有对称设置的凹槽6，且固定块7与凹槽6卡接设置，清洗箱1的一侧外壁固定有对称设置的超声波发生器8，且超声波发生器8的发生头延伸至清洗箱1内部。

清洗箱1的一侧侧壁连接有循环管9，且循环管9的两端均与清洗箱1内部连通，循环管9的外侧壁固定有输送泵11以及第一阀门10，循环管9上连接有处理箱12，处理箱12的两侧侧壁之间固定有第二过滤网13和第三过滤网14，第二过滤网13的滤孔直径大于第三过滤网14的滤孔之间，第二过滤网13和第三过滤网14之间放置有吸附剂15，清洗箱1的一侧外壁固定有出料管18，出料管18上固定有第二阀门19，处理箱12的一侧外壁开设有第二通孔，第二通孔的一侧侧壁转动连接有箱门16，且箱门16位于第二过滤网13和第三过滤网14之间，箱门16的外侧壁连接有密封垫，箱门16与处理箱12之间连接有锁扣17。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施例：当对玻璃晶圆进行清洗时，将多个晶圆分别放入放置框2的隔层内，然后往清洗箱1内部加入清洗水源，使清洗水源盖住晶圆，启动G-1006Z型号的超声波发生器8，利用超声波进行清洗，清洗完成后，取出晶圆，然后打开第一阀门10，启动输送泵11，在输送泵11的作用下，水源进入循环管9内，然后进入处理箱1内部，经第二过滤网13、吸附剂15和第三过滤网14进行处理，最后处理后的水源重新进入清洗箱1内，当水源不在使用时，打开第二阀门19，从出料管18排出，当对吸附剂15进行更换时，打开D108型的锁扣17，打开箱门16，进行更换，该设计简单快捷，能够对多个晶圆进行分开放置，利用超声波进行清洗，避免了相邻晶圆之间的碰撞磨损，提高了实用性，而且能够对清洗后的水源进行过滤吸附处理，进行循环利用，提高了资源利用率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱，其特征在于，所述清洗箱的内部设置有放置框，所述放置框的内壁之间固定有多个第一隔板、第二隔板，且第一隔板和第二隔板之间十字交叉设置，所述第一隔板和第二隔板底部均固定有放置板，所述第二隔板上开设有前后贯穿的第一通孔，第一通孔的内部固定有第一过滤网，所述放置框的两侧外壁均固定有对称设置的固定块，所述清洗箱的两侧内壁顶端均开设有对称设置的凹槽，且固定块与凹槽卡接设置，所述清洗箱的一侧外壁固定有对称设置的超声波发生器，且超声波发生器的发生头延伸至清洗箱内部。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗箱的一侧侧壁连接有循环管，且循环管的两端均与清洗箱内部连通，所述循环管的外侧壁固定有输送泵以及第一阀门。

3.根据权利要求2所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于，所述循环管上连接有处理箱，处理箱的两侧侧壁之间固定有第二过滤网和第三过滤网。

4.根据权利要求3所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二过滤网的滤孔直径大于第三过滤网的滤孔之间。

5.根据权利要求4所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于，所述第二过滤网和第三过滤网之间放置有吸附剂。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗箱的一侧外壁固定有出料管，出料管上固定有第二阀门。

7.根据权利要求3所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于，所述处理箱的一侧外壁开设有第二通孔，第二通孔的一侧侧壁转动连接有箱门，且箱门位于第二过滤网和第三过滤网之间，所述箱门的外侧壁连接有密封垫，所述箱门与处理箱之间连接有锁扣。

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