CN210040161U - 硅片的清洗提篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了硅片的清洗提篮，包括部件一和部件二，所述部件一和部件二的正面均固定安装有分隔板，所述部件一和部件二正面的底部均固定安装有位于分隔板下方的支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有缓冲垫，所述缓冲垫的上表面固定安装有固定槽，所述部件一正面的左右两侧和部件二正面的左右两侧分别固定安装有安装板一和安装板二，所述安装板一内侧的中部固定安装有滑块，所述安装板二内侧的中部开设有滑槽。该硅片的清洗提篮，通过滑块与滑槽滑动连接再通过螺栓穿过安装孔将滑块与滑槽固定连接，使得提篮的长度可以调节，能够放置许多不同尺寸的硅片，适用范围广，节省了采用设备的成本。

Description

硅片的清洗提篮

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为硅片的清洗提篮。

背景技术

硅片被广泛应用在电子行业中，常被用作精密元器件的原材料，作原材料的硅片要求很高的清洁度，硅片表面不能存在杂质，所以硅片的清洗是电子元件制作中一个重要环节，常见的硅片清洗方法是湿法化学清洗，方式是将硅片摆放在硅片提篮里，再放入清洗剂中冲洗。

目前使用的硅片清洗提篮采用一体式结构长宽大小固定，只能放置一种尺寸的硅片，需要不同的提篮才能够放置不同尺寸的硅片，使用很不方便并且造成生产成本增加。

另外硅片是易损材料，在将硅片装入提篮时如果将硅片从提篮顶部掉落至提篮底部，与提篮底部发生碰撞，会造成硅片受损，造成硅片质量下降，并且将硅片从提篮里取出时，提篮的顶部结构分隔板之间空间较小，取硅片时很困难。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了硅片的清洗提篮，具备提篮长度可以调节，保护硅片在提篮中不损坏，增加在提篮中硅片稳定性的优点，解决了上述背景技术中问题。

本实用新型提供如下技术方案：硅片的清洗提篮，包括部件一和部件二，所述部件一和部件二的正面均固定安装有分隔板，所述部件一和部件二正面的底部均固定安装有位于下方的，所述支撑板的上表面固定安装有缓冲垫，所述缓冲垫的上表面固定安装有固定槽，所述部件一正面的左右两侧和部件二正面的左右两侧分别固定安装有安装板一和安装板二，所述安装板一内侧的中部固定安装有滑块，所述安装板二内侧的中部开设有滑槽，所述滑块侧面的中部和滑槽的中部均开设有安装孔。

优选的，所述滑块的形状是“T形”，所述滑块与滑槽滑动连接。

优选的，所述的数量为13个，13个所述安装孔在滑块和滑槽上均为等间距分布。

优选的，所述固定槽位于两个相邻分隔板之间空隙的下方，所述固定槽开设在缓冲垫的内部，形状是三角形。

优选的，所述分隔板的顶部是楔形，所述分隔板底部与缓冲垫上表面互相接触，所述分隔板在水平方向相隔等距离设置，并且的数量是21个。

优选的，所述安装板一与安装板二通过螺栓贯穿安装孔固定连接。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

1、该硅片的清洗提篮，通过滑块与滑槽滑动连接再通过螺栓穿过安装孔将滑块与滑槽固定连接，使得提篮的长度可以调节，能够放置许多不同尺寸的硅片，适用范围广，节省了采用设备的成本。

2、该硅片的清洗提篮，硅片放置在提篮里时从顶部掉落到底部很容易造成硅片底部的损坏，通过设置缓冲垫保护硅片的底部在放置过程中不受到破坏。

3、该硅片的清洗提篮，通过把硅片底部放置在固定槽底部的三角形内，增加了硅片底部的稳定性，减少硅片的晃动。

4、该硅片的清洗提篮，通过将分隔板的顶部设置成楔形，增加了硅片顶部与分隔板之间的距离，即增加了硅片两边空间，使得使用者可以方便得取出硅片。

附图说明

图1为本实用新型部件一主视图；

图2为本实用新型部件二主视图；

图3为本实用新型部件一与部件二安装侧视图；

图4为本实用新型固定槽放大主视图。

图中：1、部件一；2、部件二；3、分隔板；4、支撑板；5、缓冲垫；6、固定槽；7、安装板一；8、滑块；9、安装孔；10、安装板二；11、滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，硅片的清洗提篮，包括部件一1和部件二2，部件一1和部件二2的正面均固定安装有分隔板3，部件一1和部件二2正面的底部均固定安装有位于分隔板3下方的支撑板4，支撑板4的上表面固定安装有缓冲垫5，缓冲垫5的上表面固定安装有固定槽6，部件一1正面的左右两侧和部件二2正面的左右两侧分别固定安装有安装板一7和安装板二10，安装板一7内侧的中部固定安装有滑块8，安装板二10内侧的中部开设有滑槽11，滑块8侧面的中部和滑槽11的中部均开设有安装孔9。

其中，滑块8的形状是“T形”，滑块8与滑槽11滑动连接，利用滑块8在与滑槽11内部滑动连接使得部件一1与部件二2之间的长度可以调节，增加了提篮的适用范围。

其中，安装孔9的数量为13个，13个安装孔9在滑块8和滑槽11上均为等间距分布，利用螺栓穿过安装孔9将安装板一7与安装板二10固定连接，使得部件一1与部件二2之间固定连接。

其中，固定槽6位于两个相邻分隔板3之间空隙的下方，固定槽6开设在缓冲垫5的内部，形状是三角形，利用三角形的固定槽6稳定性好，把硅片的底部放置在固定槽6的底部时，硅片底部处于三角形的最低端，硅片左右方向移动空间小，增加了硅片的稳定性。

其中，分隔板3的顶部是楔形，分隔板3底部与缓冲垫5上表面互相接触，分隔板3在水平方向相隔等距离设置，并且的数量是21个，利用分隔板3的楔形上端增加了硅片两边的空间，当需要取出硅片时，硅片的两边的空间很大可以方便得取出放置在分隔板3缝隙里的硅片。

其中，安装板一7与安装板二10通过螺栓贯穿安装孔9固定连接，利用螺栓分别贯穿安装板一7与安装板二10侧面的安装孔9，将部件一1与部件二2固定连接，使得部件一1与部件二2组合成为提篮。

工作原理：使用的时候，取出部件一1与部件二2，使安装板一7在外侧安装板二10在内侧，将滑块8插入滑槽11内部，使得滑块8在滑槽11内部滑动连接，然后调节合适长度，通过螺栓分别贯穿安装板一7与安装板二10中部的安装孔9，将两侧的安装板一7与安装板二10固定连接，然后取出硅片，把硅片插入分隔板3之间的缝隙，使得硅片的底部位于固定槽6底部。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.硅片的清洗提篮，包括部件一(1)和部件二(2)，其特征在于：所述部件一(1)和部件二(2)的正面均固定安装有分隔板(3)，所述部件一(1)和部件二(2)正面的底部均固定安装有位于分隔板(3)下方的支撑板(4)，所述支撑板(4)的上表面固定安装有缓冲垫(5)，所述缓冲垫(5)的上表面固定安装有固定槽(6)，所述部件一(1)正面的左右两侧和部件二(2)正面的左右两侧分别固定安装有安装板一(7)和安装板二(10)，所述安装板一(7)内侧的中部固定安装有滑块(8)，所述安装板二(10)内侧的中部开设有滑槽(11)，所述滑块(8)侧面的中部和滑槽(11)的中部均开设有安装孔(9)。

2.根据权利要求1所述的硅片的清洗提篮，其特征在于：所述滑块(8)的形状是“T形”，所述滑块(8)与滑槽(11)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的硅片的清洗提篮，其特征在于：所述9的数量为十三个，十三个所述安装孔(9)在滑块(8)和滑槽(11)上均为等间距分布。

4.根据权利要求1所述的硅片的清洗提篮，其特征在于：所述固定槽(6)位于两个相邻分隔板(3)之间空隙的下方，所述固定槽(6)开设在缓冲垫(5)的内部，形状是三角形。

5.根据权利要求1所述的硅片的清洗提篮，其特征在于：所述分隔板(3)的顶部是楔形，所述分隔板(3)底部与缓冲垫(5)上表面互相接触，所述分隔板(3)在水平方向相隔等距离设置，并且的数量是21个。

6.根据权利要求1所述的硅片的清洗提篮，其特征在于：所述安装板一(7)与安装板二(10)通过螺栓贯穿安装孔(9)固定连接。

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