CN210036564U - 平行度检测工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种平行度检测工具，涉及靶材背衬管检测技术领域。该平行度检测工具包括：刀口尺，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管上；以及，检测组件，所述检测组件包括一测量尺，用于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差；所述检测组件可相对于所述刀口尺移动，以在与所述待检测靶材背衬管的长度方向平行的方向上调整所述测量尺的位置，使所述测量尺移动至便于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差的位置。本实用新型实施例的平行度检测工具能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。

Description

平行度检测工具

技术领域

本实用新型涉及靶材背衬管检测技术领域，尤其涉及一种平行度检测工具。

背景技术

现有的薄膜太阳能电池芯片通常采用磁控溅射方式在基板上形成功能性膜层，而靶材是磁控溅射中的溅射源。薄膜太阳能电池芯片制备中采用的靶材通常包括圆柱形的背衬管和涂覆在背衬管外周面的一层合金粉末涂层。而在靶材生产前需要检验靶材背衬管的平行度是否满足生产要求，目前通常采用刀口尺与塞规配合来检测靶材背衬管的平行度，这种检测方法操作不方便，且无法精确测量靶材背衬管的平行度误差值。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种平行度检测工具，用于解决现有技术中靶材背衬管平行度检测不方便，无法精确测量靶材背衬管的平行度误差的问题。

本实用新型实施例的一种平行度检测工具，用于检测靶材背衬管的平行度，包括：

刀口尺，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管上；

以及，检测组件，所述检测组件包括一测量尺，用于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差；

所述检测组件可相对于所述刀口尺移动，以在与所述待检测靶材背衬管的长度方向平行的方向上调整所述测量尺的位置，使所述测量尺移动至便于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差的位置。

本实用新型实施例的平行度检测工具在进行待检测靶材背衬管测量时，首先将平行度检测工具垂直放置于待检测靶材背衬管上，即将刀口尺垂直放在待检测背衬管上，保持两端与待检测靶材背衬管贴合，之后移动刀口尺上的检测组件，使测量尺移动至便于测量待检测靶材背衬管的平行度误差的位置，最后通过测量尺测量待检测靶材背衬管的平行度误差。本实用新型实施例的平行度检测工具同时具备了刀口尺和塞规的功能，能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本实用新型技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本实用新型的技术方案，并不构成对本实用新型技术方案的限制。

图1为本实用新型的平行度检测工具的一些实施例的立体图；

图2为图1中A区域的放大图；

图3为本实用新型的平行度检测工具的检测组件的一些实施例的爆炸图；

图4为本实用新型的平行度检测工具与待检测靶材背衬管组合的一些实施例的示意图。

附图标记说明：

100-平行度检测工具；

1-刀口尺； 11-直线轨道； 12-刀口尺主体；

13-把手； 111-基板； 112-支撑柱；

1111-第一开口； 1112-第二开口； 1113-横梁；

2-检测组件；

21-测量尺； 22-连接件； 23-锁紧固定件；

211-开口槽； 221-U型槽部； 222-滑块部；

200-待检测靶材背衬管。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

另外，需要说明的是，本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面对本实用新型一些实施例提供的平行度检测工具进行说明。

参见图1-图4所示，图中示出了本实用新型一些实施例提供的平行度检测工具的结构示意图。本实用新型实施例的平行度检测工具100，用于检测靶材背衬管的平行度，包括：

刀口尺1，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管200上；

需要说明的是，本实施例中刀口尺1为刀口形直尺的一种，其具有一个测量面，该测量面呈刃口状，用于测量工件的平面形状误差。可选地，为了便于测量待检测靶材背衬管长度方向上的平行度，本实施例中刀口尺1的工作棱边的长度大于或等于待检测靶材背衬管200的长度。

以及，检测组件2，检测组件2包括一测量尺21，用于测量待检测靶材背衬管200的平行度误差；检测组件2可相对于刀口尺1移动，以在与待检测靶材背衬管200的长度方向平行的方向上调整测量尺21的位置，使测量尺21移动至便于测量待检测靶材背衬管200的平行度误差的位置。

需要说明的是，本实施例中测量尺21可以为带有刻度的直尺，也可以为数显深度尺，在本实施例中不做具体限定，只要能够实现测量待检测靶材背衬管的平行度误差即可。

本实用新型实施例的平行度检测工具100在进行待检测靶材背衬管200测量时，首先将平行度检测工具100垂直放置于待检测靶材背衬管200上，即将刀口尺1垂直放在待检测背衬管200上，保持两端与待检测靶材背衬管200贴合，之后移动刀口尺1上的检测组件2，使测量尺21移动至便于测量待检测靶材背衬管200的平行度误差的位置，最后通过测量尺21测量待检测靶材背衬管200的平行度误差。本实施例的平行度检测工具同时具备了刀口尺和塞规的功能，通过测量尺测量平行度误差，不仅测量精确度高，还可以减少与靶材背衬管表面的有效接触面积，进而减少对背衬管表面喷砂层的损伤。因此，本实用新型实施例的平行度检测工具能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。

为了便于移动检测组件以调整测量尺的位置，在一些实施例中，检测组件2与刀口尺1滑动连接。当然，本实施例中刀口尺1与检测组件2还可以采用其他连接方式，只要能实现检测组件2相对于刀口尺1移动即可，在此不一一举例说明。

在一些实施例中，如图2所示，本实施例中刀口尺1上设有直线轨道11；检测组件2还包括连接件22，设置于测量尺21上，连接件22滑动连接于直线轨道11上。本实施例的平行度检测工具100通过在刀口尺1上设置直线轨道11，检测组件2的连接件11沿直线轨道11滑动以实现测量尺21的位置调整，使得检测组件2与刀口尺1的安装简单，操作方便。

可选地，如图1所示，本实施例中直线导轨11设置于与刀口尺1的刀刃面相邻接的表面上，且直线导轨11与刀口尺1的工作棱边相平行。优选地，直线导轨11的长度与刀口尺1的工作棱边的长度相同。

在一些实施例中，直线轨道11包括凸条，连接件22上设有与凸条滑动配合的凹槽；或者，直线轨道11包括滑槽，连接件22上设有与滑槽滑动配合的滑块。当然，直线导轨11与连接件22之间的滑动连接结构不限于所列举的，这里就不再一一赘述。

在一些实施例中，如图2所示，本实施例中直线轨道11可拆卸地设置于刀口尺1上。本实施例中采用直线导轨11与刀口尺1可拆卸地连接方式，使得平行度检测工具100的各部件安装更加方便，且便于批量化加工生产，更适于产业化应用。

在一些实施例中，测量尺21可相对于连接件22移动，使测量尺21运动至与待检测靶材背衬管200的表面相接触的位置以进行平行度误差的测量。本实施例的平行度检测工具100进行待检测靶材背衬管200检测过程中，在测量尺21移动至待检测靶材背衬管200的待检测位置时，为了精确测量平行度误差，需要移动测量尺21向靠近待检测靶材背衬管200的方向移动，以使测量尺21与待检测靶材背衬管200表面相接触。

可选地，本实施例中测量尺21与连接件22滑动连接。当然，本实施例中测量尺21与连接件22还可以采用其连接方式，只要能实现测量尺21相对于连接件22移动即可，在此不一一举例说明。可选地，本实施例中测量尺21上设有滑槽，连接件22上设有与滑槽滑动配合的滑块。当然，测量尺21与连接件22之间的滑动连接结构不限于所列举的，这里就不再一一赘述。

在一些实施例中，如图2所示，直线轨道11包括：基板111，基板111包括第一开口1111、第二开口1112以及位于第一开口1111和第二开口1112之间的横梁1113；以及，多个支撑柱112，设置于基板111的四周，多个支撑柱112连接于刀口尺1上；如图3所示，连接件22包括U型槽部221，连接件22通过U型槽部221与横梁1133滑动配合。可选地，如图3所示，本实施例的测量尺21上设有开口槽211，连接件22包括与开口槽211滑动配合的滑块部222。本文仅列举了直线轨道11与连接件22的一个具体的结构形式，直线轨道11与连接件22还可以为其他结构形式，只要能实现测量尺21相对于连接件22滑动即可，在此不一一举例说明。

为了防止在检测过程中测量尺的位置移动，影响检测结果的精确度，在一些实施例中，如图2所示，检测组件2还包括锁紧固定件23，与滑块部222连接，用于将测量尺21固定在与待检测靶材背衬管200的表面相接触的位置上。可选地，本实施例的锁紧固定件23包括螺帽和活动螺栓，活动螺栓与滑块部222连接，活动螺栓可在开口槽上移动，螺帽旋拧在活动螺栓上，通过螺帽旋紧可使测量尺21位置固定。优选地，活动螺栓与滑动部222为一体结构。

优选地，本实施例的连接件22为U型连杆，连杆套设在横梁1113上，连杆的第一端部上设有螺纹结构，连杆的第一端部和第二端部均滑动连接于开口槽211上，连杆的第一端部穿出开口槽的螺纹部分与螺帽连接。

为了便于工人操作平行度检测工具，如图1所示，本实施例中平行度检测工具100的刀口尺1上还设有多个把手12，该把手均匀设置在刀口尺1上。可选地，把手12可以为U型，卡设在刀口尺主体13上。

参见图4，下面简单介绍一下本实用新型实施例平行度检测工具对待检测靶材背衬管的长度方向上平行度进行检测的具体工作流程：

1、将待检测靶材背衬管200水平放置于检测平台上。

2、将平行度检测工具100垂直放置于待检测靶材背衬管200上，此时刀口尺1垂直放在待检测靶材背衬管200上，保持刀口尺1的两端与待检测靶材背衬管200贴合，此时观察刀口尺1与待检测靶材背衬管200之间是否有间隙，确定间隙位置即待检测位置；

3、松开锁紧件23，先移动检测组件2使测量尺21沿X方向移动至待检测位置，之后移动测量尺21沿Y方向移动直至与待检测靶材背衬管200表面接触；

4、读取测量尺21上的数值，即为该检测位置的平行度误差；

5、重复3-4步骤，可以连续测量待检测靶材背衬管200长度方向上不同位置的平行度误差。

本实用新型实施例的平行度检测工具100包括刀口尺1和检测组件2，通过刀口尺1先测量出待检测靶材背衬管200的待检测位置，之后移动检测组件2使测量尺21移动至待检测位置，最后移动测量尺21至与待检测靶材背衬管200表面接触，读取测量尺21数值得到精确的平行度误差。本实用新型实施例的平行度检测工具能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。

虽然本实用新型所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本实用新型而采用的实施方式，并非用以限定本实用新型。任何本实用新型所属领域内的技术人员，在不脱离本实用新型所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本实用新型的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种平行度检测工具，用于检测靶材背衬管的平行度，其特征在于，包括：

刀口尺(1)，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管(200)上；

以及，检测组件(2)，所述检测组件(2)包括一测量尺(21)，用于测量所述待检测靶材背衬管(200)的平行度误差；

所述检测组件(2)可相对于所述刀口尺(1)移动，以在与所述待检测靶材背衬管(200)的长度方向平行的方向上调整所述测量尺(21)的位置，使所述测量尺(21)移动至便于测量所述待检测靶材背衬管(200)的平行度误差的位置。

2.根据权利要求1所述的平行度检测工具，其特征在于，所述检测组件(2)与所述刀口尺(1)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的平行度检测工具，其特征在于，所述刀口尺(1)上设有直线轨道(11)；

所述检测组件(2)还包括连接件(22)，设置于所述测量尺(21)上，所述连接件(22)滑动连接于所述直线轨道(11)上。

4.根据权利要求3所述的平行度检测工具，其特征在于，所述直线轨道(11)包括凸条，所述连接件(22)上设有与所述凸条滑动配合的凹槽；

或者，所述直线轨道(11)包括滑槽，所述连接件(22)上设有与所述滑槽滑动配合的滑块。

5.根据权利要求3所述的平行度检测工具，其特征在于，所述直线轨道(11)可拆卸地设置于所述刀口尺(1)上。

6.根据权利要求3-5任一所述的平行度检测工具，其特征在于，所述测量尺(21)可相对于所述连接件(22)移动，使所述测量尺(21)运动至与所述待检测靶材背衬管(200)的表面相接触的位置以进行平行度误差的测量。

7.根据权利要求6所述的平行度检测工具，其特征在于，所述测量尺(21)与所述连接件(22)滑动连接。

8.根据权利要求7所述的平行度检测工具，其特征在于，所述直线轨道(11)包括：基板(111)，所述基板(111)包括第一开口(1111)、第二开口(1112)以及位于所述第一开口(1111)和所述第二开口(1112)之间的横梁(1113)；以及，多个支撑柱(112)，设置于所述基板(111)的四周，所述多个支撑柱(112)连接于所述刀口尺(1)上；

所述连接件(22)包括U型槽部(221)，所述连接件(22)通过U型槽部(221)与所述横梁(1113)滑动配合。

9.根据权利要求8所述的平行度检测工具，其特征在于，所述测量尺(21)上设有开口槽(211)，所述连接件(22)包括与所述开口槽(211)滑动配合的滑块部(222)。

10.根据权利要求9所述的平行度检测工具，其特征在于，所述检测组件(2)还包括锁紧固定件(23)，与所述滑块部(222)连接，用于将所述测量尺(21)固定在与所述待检测靶材背衬管(200)的表面相接触的位置上。

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