CN210012897U - 一种真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及玻璃镀膜设备的技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜机。包括镀膜腔室，所述镀膜腔室包括真空罩、以及在真空罩底部一侧设置的真空系统、所述真空罩底部设置的蒸发源，以及位于所述蒸发源上方的装载架，镀膜腔室内一侧设有视镜腔，所述视镜腔内设有伸缩筒，所述伸缩筒两端同轴设有两个凸透镜。通过凸透镜的原理可以镀膜腔内更加清楚的观察，准确的获取到内部的信息。同时设置的装载板能够便于基片的安装，结构简单，操作方便。

Description

一种真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及玻璃镀膜设备的技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜机。

背景技术

目前，薄膜是一种物质形态，所使用的膜材料非常广泛。近些年功能材料薄膜和复合薄膜也有很大发展。镀膜技术及薄膜产品在工业上的应用非常广泛。真空镀膜指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。由于真空镀膜是可以对物体更均匀地镀膜的方式，因此其使用也越来越频繁。

如现有的公开号为CN203212638U的中国专利公开了一种真空镀膜室用的视镜机构，视镜腔内设有挡板组件，挡板组件包括挡板、挡板轴和挡板座，挡板轴通过挡板座固定于视镜腔内，挡板设于挡板轴的输出末端，挡板轴上还设有多个与挡板并列设置的隔热板，任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈，隔热板与挡板之间也设有陶瓷垫圈。使用时玻璃工件在真空镀膜室内进行镀膜时，挡板遮挡弧源的溅射，减少了弧源对视镜玻璃的污染，隔热板和陶瓷垫圈起到隔热的作用，减少真空镀膜室对视镜玻璃的热传递；视镜机构使用时，调整其调节轮，通过齿轮轴和锥齿轮的传动，可带动挡板轴转动，调整挡板和隔热板上通孔的位置，从而改变视镜玻璃上的观察位置，避免视镜玻璃大面积暴露于镀膜空间内。

上述中的现有技术方案通过在视镜机构内设有的挡板组件，在挡板轴上设置隔热板，相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈，隔热板与挡板之间也设有陶瓷垫圈，起到了隔热的效果。但是上述装置增设的挡板组件增加了视镜腔内工作区域的长度，使得观察距离增加，影响视觉效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机。通过在视镜舱内同轴设置有若干凸透镜，利用凸透镜的原理，将镀膜室的图像清晰的呈现出来。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：一种真空镀膜机，包括镀膜腔室，所述镀膜腔室包括真空罩、以及在真空罩底部一侧设置的真空系统、位于所述真空系统上方的蒸发源，以及位于所述蒸发源上方的装载架，其特征在于：镀膜腔室一侧设有视镜腔，所述视镜腔内设有伸缩筒，所述伸缩筒两端同轴设有两个凸透镜，所述凸透镜轴向方向与所述伸缩筒轴向方向平行，所述凸透镜与所述伸缩筒管壁内侧壁嵌合设置，靠近所述真空罩内部的凸透镜设有物镜，另一个所述凸透镜设为目镜。

通过采用上述技术方案，增设的视镜腔，在视镜腔增设的伸缩筒，伸缩筒两侧设置的凸透镜，凸透镜相较于平面镜能够将真空罩内的景象通过放大的呈现出来，能够清晰地观察到内部的工作过程，便于对工作过程出现的情况进行调节。

本实用新型进一步设置为：所述物镜远离所述目镜一侧，以所述物镜为中心，环状设置有隔热板。

通过采用上述技术方案，在物镜一侧设置环状的隔热板,可以防止物镜受热，产生裂纹或者融化。隔热板同时也可以对镀膜腔内起到隔热的效果。

本实用新型进一步设置为：另设有装载板，所述装载板与所述装载架下表面滑动连接，所述装载架一侧设有挡块，所述挡块与所述装载架一体设置，所述挡块与所述装载架中滑轨的延长线重合。

通过采用上述技术方案，另设有的装载板，装载板与装载架通过滑轨连接，将基片装在装载板上，在将装载板装上装载架上，装载架设置有若干个，在加工其中一个的时候，可以去装载另一个，不仅可以节省时间，简便操作，同时可以提高工作的效率，避免了需要在镀膜腔内进行装载基片。

本实用新型进一步设置为：所述装载板设有若干凹槽。

通过采用上述技术方案，在装载板内设置的凹槽，可以对需要镀膜的基片进行一个固定的作用，基片与凹槽采用胶合连接，在凹槽侧面以及底面设置有橡胶垫，可以防止在装填的时候，基片的侧壁与凹槽内壁造成划伤等。凹槽可设置有不同的形状，便于多种不同形状的基片进行镀膜，进一步节省时间，节省成本。

本实用新型进一步设置为：所述凹槽贯穿设有贯穿口。

通过采用上述技术方案，当采用胶合连接的时候，基片会出现不易拆下的情况，在凹槽内设置有贯穿孔，可以通过在贯穿孔内注射乙醇、丙酮等可以溶解胶水的有机溶剂对凹槽内的胶水进行溶解，便于拆卸基片。避免了拆卸过程对凹槽造成损坏。

本实用新型进一步设置为：所述真空罩侧壁空心设置，所述真空罩空心腔体内设有水冷装置。

通过采用上述技术方案，真空罩侧壁设置为空心，在内侧温度过高的时候，避免触碰到真空罩而烫伤，另外在真空罩侧壁设置的水冷机构，可以对真空罩内部进行降温，防止内部温度过高。

本实用新型进一步设置为：所述水冷装置包括水箱及水泵，所述水泵出水口连接有水管，所述水管环绕真空罩空心腔体内，所述水管远离所述水泵一端连接于所述水箱。

通过采用上述技术方案，设置有水箱，水箱一侧设置水泵，水泵出水口连接有水管，通过水管在真空罩空心腔体内的环绕，在通水的过程中对真空罩内侧壁的温度起到了降温的作用，水管出水口一端连接在水箱内，形成了一个水循环系统，也避免了水的浪费。

本实用新型进一步设置为：所述真空罩内侧壁上设有一侧耐高温材料。

通过采用上述技术方案，在真空罩内侧壁上设置有耐高温材料，可以防止内部温度过高，使真空罩内侧壁发生形变，同时也可以对镀膜腔内起到保温的作用。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.通过在镀膜腔室内一侧设置的视镜腔，视镜腔内设置的伸缩筒，伸缩筒两端同轴设有的两个凸透镜，利用凸透镜的原理，将镀膜腔室内的工作状况清晰的呈现出，该装置结构简单，操作方便。

2.另设置的装载板，可以先将基片固定于装载板的凹槽内，节省了在工作过程中进入镀膜腔室内进行装载，在凹槽设置的贯穿孔，可以方便拆卸，该装置节省了工作时间，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型示内部结构示意图。

图3是图1中沿A-A方向的剖视图。

图4示是本实用新型中装载板的结构示意图。

图中，1、镀膜腔室；2、真空罩；3、真空系统；4、蒸发源；5、装载架；6、支撑杆；7、固定杆；8、视镜腔；9、伸缩筒；10、凸透镜；11、隔热板；12、滑轨；13、装载板；131、凹槽；132、贯穿口；14、水冷装置；141、水箱；142、水泵；15、水管。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图1和图2所示，为本实用新型公开的一种真空镀膜机，包括镀膜腔室1，镀膜腔室1包括真空罩2、以及在真空罩2底部设置的真空系统3、位于真空系统3上方的蒸发源4，还包括位于蒸发源4上方的装载架5。蒸发源4通过支撑杆6固定在真空底座上端，装载架5通过固定杆7固定在真空罩2顶壁。

为了能够清晰地看到真空罩2内部的工作情况，如图1和图3所示，镀膜腔室1内一侧设置有视镜腔8，在视镜腔8内设置有伸缩筒9，伸缩筒9两端同轴设置有两个凸透镜10，凸透镜10轴向方向与伸缩筒9轴向方向平行，同时凸透镜10与伸缩筒9管壁内侧壁嵌合，靠近所述真空罩2内部的凸透镜10设有物镜，另一个所述凸透镜10设为目镜。为了防止凸透镜10受到过高的温度而出现裂痕或者融化的情况发生，在物镜远离目镜一侧，以物镜为中心，环状设置有隔热板11。

为了方便基片的固定，如图2和图4所示，另外设置有装载板13，装载板13与装载架5下表面滑动连接，具体表现形式为滑轨12连接。装载架5一侧设置有挡块（图中未示出），挡块与装载架5一体设置，挡块与装载架5中的滑轨12延长线重合，防止装载架5滑落。另外在装载板13上设置有凹槽131，凹槽131侧壁设置有橡胶垫，防止基片对凹槽131内壁造成划伤，基片与凹槽131采取的方式为胶合连接。由于采取了胶合连接，胶水难以清除，且基片难以取下，因此在凹槽131上设置有贯穿口132，在贯穿口132另一侧通过注射有机溶剂，例如乙醇、丙酮等，通过有机溶剂的侵泡，便于对凹槽131内部的胶水进行清除。

如图2和图3所示，真空罩2侧壁空心设置，真空罩2一侧连接有水冷装置14，水冷装置14包括水箱141和水泵142，水泵142出水口连接有水管，为了方便降温，水管在真空罩2空心腔体内环绕设置，为了节省水资源，将水管远离水泵142一端连接于水箱141，可以形成一个水循环系统。

为了防止镀膜腔室1内部温度过高，对真空罩2内侧壁造成影响，在真空罩2内侧壁刷涂一侧耐高温材料（图中未示出）。

工作原理（过程）：使用前，在装载板13上的凹槽131内刷涂胶水，将基片贴合于凹槽131内，将装载板13通过滑槽装在装载架5上，打开真空系统3，对真空罩2内部进行抽真空，再打开蒸发源4对基片进行镀膜，开启水泵142对真空罩2内侧壁进行降温。通过视镜腔8内设置的伸缩筒9，通过拉伸，调节到合适的长度，对真空罩2内侧壁进行观察。镀膜结束后，关闭真空系统3，排气等基片恢复常温时，取下装载板13，通过贯穿口132注入有机溶剂，将基片取下即可。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机，包括镀膜腔室（1），所述镀膜腔室（1）包括真空罩（2）、以及在真空罩（2）底部一侧设置的真空系统（3）、位于所述真空系统（3）上方的蒸发源（4），以及位于所述蒸发源（4）上方的装载架（5），其特征在于：镀膜腔室（1）一侧设有视镜腔（8），所述视镜腔（8）内设有伸缩筒（9），所述伸缩筒（9）两端同轴设有两个凸透镜（10），所述凸透镜（10）轴向方向与所述伸缩筒（9）轴向方向平行，所述凸透镜（10）与所述伸缩筒（9）管壁内侧壁嵌合设置，靠近所述真空罩（2）内部的凸透镜（10）设有物镜，另一个所述凸透镜（10）设为目镜。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述物镜远离所述目镜一侧，以所述物镜为中心，环状设置有隔热板（11）。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：另设有装载板（13），所述装载板（13）与所述装载架（5）下表面滑动连接，所述装载架（5）一侧设有挡块，所述挡块与所述装载架（5）一体设置，所述挡块与所述装载架（5）中滑轨（12）的延长线重合。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜机，其特征在于：所述装载板（13）设有若干凹槽（131）。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于：所述凹槽（131）贯穿设有贯穿口（132）。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述真空罩（2）侧壁空心设置，所述真空罩（2）连接设有水冷装置（14）。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜机，其特征在于：所述水冷装置（14）包括水箱（141）及水泵（142），所述水泵（142）出水口连接有水管（15），所述水管（15）环绕真空罩（2）空心腔体内，所述水管（15）远离所述水泵（142）一端连接于所述水箱（141）。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述真空罩（2）内侧壁上设有一侧耐高温材料。

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