CN209979217U - 机械手臂测试平台 - Google Patents

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Inventor
张兆伟
夏俊东
何蓬勃
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Jimsi Semiconductor Technology Wuxi Co ltd
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Gmc Semiconductor Technology (wuxi) Co Ltd
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Abstract

本实用新型是机械手臂测试平台,其结构包括机架、被测机械手臂、第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组,其中机架为长方体形,机架其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组,机架内中心设被测机械手臂。本实用新型的优点:1)可自动抓取被测机械手臂运行位置差异,实现有效测试维修后的机械手臂是否存在潜在故障,保证生产的稳定进行;2)可设定循环运行次数,方便做马拉松测试,测试方式有效灵活、效率高。

Description

机械手臂测试平台
技术领域
本实用新型涉及的是机械手臂测试平台。
背景技术
机械手臂是机械人技术领域中得到最广泛实际应用的自动化机械装置,在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能见到。尽管形态各有不同,但都有一个共同的特点,就是能够接受指令精确地定位到三维(或二维)空间上的某一点进行作业。
机械手臂也是晶圆研磨设备上用于传送晶圆的重要结构,在生产过程中时常需要对其进行维修来保证生产的稳定进行。
现有技术中,机械手臂在维修后仅进行简单传片测试,无法测试出是否存在潜在故障,导致后续生产的稳定性无法得到保证。
实用新型内容
本实用新型提出的是机械手臂测试平台,其目的旨在克服现有技术存在的上述不足,实现全面有效测试维修后的机械手臂是否存在潜在故障,保证生产稳定进行。
本实用新型的技术解决方案:机械手臂测试平台,其结构包括机架、被测机械手臂、第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组,其中机架为长方体形,机架其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组,机架内中心设被测机械手臂。
优选的,所述的第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组分别由三组每组三个激光距离传感器组成,每组三个激光距离传感器构成XYZ三坐标测试机构,每组激光距离传感器汇总与曲线收集模块信号连接,曲线收集模块与主控模块信号连接,主控模块与手臂控制单元通过网络信号连接,手臂控制单元与被测机械手臂信号连接;
所述的激光距离传感器用于收集被测机械手臂的距离信息并传输给曲线收集模块;
所述的曲线收集模块用于接收激光距离传感器传输来的距离信息并传输给主控模块;
所述的主控模块用于接收曲线收集模块传输来的距离信息进行分析,和向手臂控制单元传输手臂运行指令;
所述的手臂控制单元用于接收主控模块传输来的手臂运行指令并传输给被测机械手臂;
所述的被测机械手臂用于接收手臂控制单元传输来的手臂运行指令并进行运行。
优选的,所述的激光距离传感器通过0-10V模拟量信号连接曲线收集模块。
优选的,所述的曲线收集模块通过RS232信号连接主控模块。
优选的,所述的主控模块通过网络信号连接手臂控制单元。
优选的,所述的第一传感器组、第二传感器组和第三传感器组都分别设有传感器组支架,每组三个激光距离传感器都锁固在传感器组支架上,传感器组支架与机架抱锁连接。
本实用新型的优点:1)可自动抓取被测机械手臂运行位置差异,实现有效测试维修后的机械手臂是否存在潜在故障,保证生产的稳定进行;2)可设定循环运行次数,方便做马拉松测试,测试方式有效灵活、效率高。
附图说明
图1是本实用新型机械手臂测试平台的结构示意图。
图2是本实用新型机械手臂测试平台的结构框图。
图中的1是第一传感器组、2是第二传感器组、3是第三传感器组、4是激光距离传感器、5是被测机械手臂、6是机架。
具体实施方式
下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1、2所示,机械手臂测试平台,其结构包括机架6、被测机械手臂5、第一传感器组1、第二传感器组2和第三传感器组3,其中机架6为长方体形,机架6其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组1、第二传感器组2和第三传感器组3,机架6内中心设被测机械手臂5。
所述的第一传感器组1、第二传感器组2和第三传感器组3分别由三组每组三个激光距离传感器4组成,每组三个激光距离传感器4构成XYZ三坐标测试机构,每组激光距离传感器4汇总与曲线收集模块信号连接,曲线收集模块与主控模块信号连接,主控模块与手臂控制单元通过网络信号连接,手臂控制单元与被测机械手臂5信号连接;
所述的激光距离传感器4用于收集被测机械手臂5的距离信息并传输给曲线收集模块;
所述的曲线收集模块用于接收激光距离传感器4传输来的距离信息并传输给主控模块;
所述的主控模块用于接收曲线收集模块传输来的距离信息进行分析,和向手臂控制单元传输手臂运行指令;
所述的手臂控制单元用于接收主控模块传输来的手臂运行指令并传输给被测机械手臂5;
所述的被测机械手臂5用于接收手臂控制单元传输来的手臂运行指令并进行运行。
所述的激光距离传感器4通过0-10V模拟量信号连接曲线收集模块。
所述的曲线收集模块通过RS232信号连接主控模块。
所述的主控模块通过网络信号连接手臂控制单元。
所述的第一传感器组1、第二传感器组2和第三传感器组3都分别设有传感器组支架,每组三个激光距离传感器4都锁固在传感器组支架上,传感器组支架与机架6抱锁连接。
根据以上结构,工作时,首先主控模块向手臂控制单元发送手臂运行指令,被测机械手臂5到达指定的测量组(即其中一个传感器组处)后,传感器组通过曲线收集模块把距离信息传到主控模块;具体的,被测机械手臂5由主控模块设定好运行路径后,在手臂控制单元的控制下,分别运行到第一传感器组1、第二传感器组2和第三传感器组3处,所在激光距离传感器4测得XYZ 3个数据通过,通过曲线收集模块传输给主控模块记录下数值;系统循环进行测试,得到设定循环测试次数后,主控模块分析测试值差异,判定手臂运行位置差异是不是在设备范围之内。
以上所述各部件均为现有技术,本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.机械手臂测试平台,其特征包括机架(6)、被测机械手臂(5)、第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3),其中机架(6)为长方体形,机架(6)其中三个垂直于水平面的内侧面中部分别设第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3),机架(6)内中心设被测机械手臂(5)。
2.如权利要求1所述的机械手臂测试平台,其特征是所述的第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3)分别由三组每组三个激光距离传感器(4)组成,每组三个激光距离传感器(4)构成XYZ三坐标测试机构,每组激光距离传感器(4)汇总与曲线收集模块信号连接,曲线收集模块与主控模块信号连接,主控模块与手臂控制单元通过网络信号连接,手臂控制单元与被测机械手臂(5)信号连接;
所述的激光距离传感器(4)用于收集被测机械手臂(5)的距离信息并传输给曲线收集模块;
所述的曲线收集模块用于接收激光距离传感器(4)传输来的距离信息并传输给主控模块;
所述的主控模块用于接收曲线收集模块传输来的距离信息进行分析,和向手臂控制单元传输手臂运行指令;
所述的手臂控制单元用于接收主控模块传输来的手臂运行指令并传输给被测机械手臂(5);
所述的被测机械手臂(5)用于接收手臂控制单元传输来的手臂运行指令并进行运行。
3.如权利要求2所述的机械手臂测试平台,其特征是所述的激光距离传感器(4)通过0-10V模拟量信号连接曲线收集模块。
4.如权利要求2所述的机械手臂测试平台,其特征是所述的曲线收集模块通过RS232信号连接主控模块。
5.如权利要求2所述的机械手臂测试平台,其特征是所述的主控模块通过网络信号连接手臂控制单元。
6.如权利要求1-5任一项所述的机械手臂测试平台,其特征是所述的第一传感器组(1)、第二传感器组(2)和第三传感器组(3)都分别设有传感器组支架,每组三个激光距离传感器(4)都锁固在传感器组支架上,传感器组支架与机架(6)抱锁连接。
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CN115773867A (zh) * 2022-10-31 2023-03-10 北京建筑大学 一种机械手抓持性能测试装置及方法

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