CN209968726U - 一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，属于探针卡领域，一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，包括镀膜上壳体，所述镀膜上壳体的顶部嵌设有储料箱，所述储料箱的底部且位于镀膜上壳体的底部连通有出料管，所述出料管的左右两侧均连通有两个输料管。通过端子固定装置可在镀膜的过程中对垂直探针卡的接触端子进行固定，避免接触端子发生角度和位置的变化，使得镀膜效果好，镀膜结束后，通过调节定位装置、插杆和插槽的配合使用，再对镀膜上壳体施加提升的力，使得镀膜上壳体与镀膜下壳体分离，即可将镀膜槽从镀膜下壳体内取出，进行废液的收集和镀膜槽的清理，方便下次使用。

Description

一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具

技术领域

本实用新型涉及探针卡领域，更具体地说，涉及一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具。

背景技术

为了对形成于晶片的各半导体器件进行检查,使用探针作为检查装置。探针具备载置晶片的基台和能够与该基台相对的探针卡。探针卡具备板状的基座和在与基座的基台的相对面以与晶片的半导体器件的各电极焊盘相对的方式配置的多个柱状接触端子即探头。

为了让接触端子的表面不仅耐磨和防腐蚀性能强，在使用前需要将接触端子进行镀膜处理，现有的镀膜工具在对垂直探针卡端子点进行镀膜的过程中常常会由于镀膜喷枪的冲击而造成接触端子和镀膜槽发生位置和角度的变化，导致镀膜效果差，镀膜位置不准确的问题，且镀膜工具在镀膜结束后，需要及时将镀膜槽从镀膜设备内取出进行废液的收集和镀膜槽的清理，然而现有的镀膜设备取镀膜槽的过程非常麻烦，给使用者带来了极大的不便。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，具备可避免接触端子和镀膜槽发生角度变化和方便将镀膜槽从从镀膜设备内取出进行废液的收集和镀膜槽的清理的优点，解决了现有的镀膜工具在镀膜的过程中常常会由于镀膜喷枪的冲击而造成接触端子和镀膜槽发生位置和角度的变化，导致镀膜效果差，镀膜位置不准确的问题，且镀膜工具在镀膜结束后，需要及时将镀膜槽从镀膜设备内取出进行废液的收集和镀膜槽的清理，然而现有的镀膜设备取镀膜槽的过程非常麻烦，给使用者带来了极大的不便的问题。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，包括镀膜上壳体，所述镀膜上壳体的顶部嵌设有储料箱，所述储料箱的顶部设置有密封盖，所述储料箱的底部且位于镀膜上壳体的底部连通有出料管，所述出料管的左右两侧均连通有两个输料管，所述镀膜上壳体的内部设置有固定板，所述固定板的左右两侧分别有镀膜上壳体的内壁的左右两侧固定连接，所述固定板的顶部嵌设四个等距离从左至右排列的喷枪，四个所述输料管远离出料管的一端分别与四个喷枪连通，四个所述喷枪的底部均连通有喷头；

所述镀膜上壳体的底部设置有与其对应的镀膜下壳体，所述镀膜上壳体底部的左右两侧均固定连接有插杆，所述镀膜下壳体的顶部的左右两侧对应插杆开设有与其适配的插槽，两个所述插杆上均设置有定位装置，所述镀膜下壳体的内部设置有镀膜槽，所述镀膜槽的内部且位于喷头的正下方设置有端子固定装置。

优选的，所述定位装置包括卡槽，所述卡槽开设在插槽靠近镀膜上壳体内壁的一侧，所述卡槽的内部卡接有T形卡杆，所述T形卡杆远离卡槽的一端依次贯穿插杆和镀膜上壳体延伸至镀膜上壳体的外侧。

优选的，所述端子固定装置包括两个夹板，两个所述夹板的相背离的一侧均固定连接有等距离排列的固定弹簧，所述固定弹簧远离夹板的一端分别与镀膜槽内壁的正面和背面固定连接。

优选的，所述镀膜上壳体的左右两侧均固定连接有真空泵，两个所述真空泵的底部均连通有导气管，两个所述导气管远离真空泵的一端分别贯穿并与镀膜上壳体的内部连通。

优选的，所述镀膜槽的左右两侧均固定连接有限位块，所述镀膜下壳体的内壁的左右两侧均固定连接有固定块，两个所述固定块相对的一侧均开设有凹槽，两个所述限位块相背的一侧均延伸至凹槽的内部，两个所述凹槽的内底壁均开设有螺纹槽，两个所述固定块的顶部均设置有螺栓，两个所述螺栓的底端均依次贯穿限位块和固定块延伸至螺纹槽的内部与螺纹槽螺纹连接。

优选的，所述镀膜上壳体的底部固定连接有密封垫，所述密封垫的底部与镀膜下壳体的顶部接触。

优选的，所述镀膜上壳体的顶部且位于储料箱的左右两侧均固定连接有把手。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)本方案通过端子固定装置可在镀膜的过程中对垂直探针卡的接触端子进行固定，避免接触端子发生角度和位置的变化，使得镀膜效果好，再通过储料箱、出料管、输料管、喷枪和喷头的相互配合，可对垂直探针卡的接触端子进行快速准确的镀膜，通过固定板可对喷枪进行固定限位，避免在使用时受到喷射的冲击力而晃动摇摆，影响镀膜效果，镀膜结束后，通过调节定位装置、插杆和插槽的配合使用，再对镀膜上壳体施加提升的力，使得镀膜上壳体与镀膜下壳体分离，即可将镀膜槽从镀膜下壳体内取出，进行废液的收集和镀膜槽的清理，方便下次使用。

(2)通过对T形卡杆施加向外拉动的力，使得T形卡杆与卡槽分离后，即可将插杆与插槽分离，通过采用T形卡杆和卡槽卡接，可在镀膜的过程中将镀膜上壳体和镀膜下壳体紧密连接且此连接方式方便了镀膜上壳体的拆装。

(3)通过固定弹簧弹性的力和夹板的配合，可将接触端子固定在镀膜槽内，方便镀膜工作，通过真空泵和导气管的配合可降低镀膜设备内部的气体密度，避免空气对镀膜的质量造成影响，通过设置密封垫可进一步保证在进行镀膜工作时，镀膜设备的密封性。

(4)通过限位块、固定块、凹槽、螺纹槽和螺栓的相互配合，可对镀膜槽进行固定限位，避免在镀膜的过程中受到喷头喷射的冲击力而发生角度的变化，导致镀膜位置不准，影响镀膜质量，通过转动螺栓使其与螺纹槽分离并从固定块上取下后，对镀膜槽稍微施加旋转的力，使得限位块与凹槽分离，即可将镀膜槽从镀膜下壳体内取出，进行废液的收集和镀膜槽的清理。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型镀膜槽的俯视图；

图3为本实用新型图1中A处放大图；

图4为本实用新型图1中B处放大图

图5为本实用新型图2中C处放大图。

图中标号说明：

1、镀膜上壳体；2、储料箱；3、密封盖；4、出料管；5、输料管；6、固定板；7、喷枪；8、喷头；9、镀膜下壳体；10、插杆；11、插槽；12、定位装置；121、卡槽；122、T形卡杆；13、镀膜槽；14、端子固定装置；141、夹板；142、固定弹簧；15、真空泵；16、导气管；17、限位块；18、固定块；19、凹槽；20、螺纹槽；21、螺栓；22、密封垫；23、把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1：

请参阅图1-5，一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，包括镀膜上壳体1，镀膜上壳体1的顶部嵌设有储料箱2，通过储料箱2可储存镀膜液，储料箱2的顶部设置有密封盖3，通过密封盖3可有效保证储料箱2内的密封性，储料箱2的底部且位于镀膜上壳体1的底部连通有出料管4，出料管4的左右两侧均连通有两个输料管5，镀膜上壳体1的内部设置有固定板6，固定板6的左右两侧分别有镀膜上壳体1的内壁的左右两侧固定连接，固定板6的顶部嵌设四个等距离从左至右排列的喷枪7，四个输料管5远离出料管4的一端分别与四个喷枪7连通，四个喷枪7的底部均连通有喷头8，通过储料箱2、出料管4、输料管5、喷枪7和喷头8的相互配合，可对垂直探针卡的接触端子进行快速准确的镀膜，通过固定板6可对喷枪7进行固定限位，避免在使用时受到喷射的冲击力而晃动摇摆，影响镀膜效果。

镀膜上壳体1的底部设置有与其对应的镀膜下壳体9，镀膜上壳体1底部的左右两侧均固定连接有插杆10，镀膜下壳体9的顶部的左右两侧对应插杆10开设有与其适配的插槽11，两个插杆10上均设置有定位装置12，镀膜下壳体9的内部设置有镀膜槽13，镀膜槽13的内部且位于喷头8的正下方设置有端子固定装置14，镀膜结束后，通过调节定位装置12、插杆10和插槽11的配合使用，再对镀膜上壳体1施加提升的力，使得镀膜上壳体1与镀膜下壳体9分离，即可将镀膜槽13从镀膜下壳体9内取出，进行废液的收集和镀膜槽13的清理，方便下次使用，通过端子固定装置14可在镀膜的过程中对垂直探针卡的接触端子进行固定，使得镀膜效果更好。

进一步的，定位装置12包括卡槽121，卡槽121开设在插槽11靠近镀膜上壳体1内壁的一侧，卡槽121的内部卡接有T形卡杆122，T形卡杆122远离卡槽121的一端依次贯穿插杆10和镀膜上壳体1延伸至镀膜上壳体1的外侧，通过对T形卡杆122施加向外拉动的力，使得T形卡杆122与卡槽121分离后，即可将插杆10与插槽11分离，通过采用T形卡杆122和卡槽121卡接，可在镀膜的过程中将镀膜上壳体1和镀膜下壳体9紧密连接且此连接方式方便了镀膜上壳体1的拆装。

进一步的，端子固定装置14包括两个夹板141，两个夹板141的相背离的一侧均固定连接有等距离排列的固定弹簧142，固定弹簧142远离夹板141的一端分别与镀膜槽13内壁的正面和背面固定连接，通过固定弹簧142弹性的力和夹板141的配合，可将接触端子固定在镀膜槽13内，方便镀膜工作。

进一步的，镀膜上壳体1的左右两侧均固定连接有真空泵15，两个真空泵15的底部均连通有导气管16，两个导气管16远离真空泵的一端分别贯穿并与镀膜上壳体1的内部连通，通过真空泵15和导气管16的配合可降低镀膜设备内部的气体密度，避免空气对镀膜的质量造成影响。

进一步的，镀膜槽13的左右两侧均固定连接有限位块17，镀膜下壳体9的内壁的左右两侧均固定连接有固定块18，两个固定块18相对的一侧均开设有凹槽19，两个限位块17相背的一侧均延伸至凹槽19的内部，两个凹槽19的内底壁均开设有螺纹槽20，两个固定块18的顶部均设置有螺栓21，两个螺栓21的底端均依次贯穿限位块17和固定块18延伸至螺纹槽20的内部与螺纹槽20螺纹连接，通过限位块17、固定块18、凹槽19、螺纹槽20和螺栓21的相互配合，可对镀膜槽13进行固定限位，避免在镀膜的过程中受到喷头8喷射的冲击力而发生角度的变化，导致镀膜位置不准，影响镀膜质量，通过转动螺栓21使其与螺纹槽20分离并从固定块18上取下后，对镀膜槽13稍微施加旋转的力，使得限位块17与凹槽19分离，即可将镀膜槽13从镀膜下壳体9内取出，进行废液的收集和镀膜槽13的清理。

进一步的，镀膜上壳体1的底部固定连接有密封垫22，密封垫22的底部与镀膜下壳体9的顶部接触，通过设置密封垫22可进一步保证在进行镀膜工作时，镀膜设备的密封性。

进一步的，镀膜上壳体1的顶部且位于储料箱2的左右两侧均固定连接有把手23，通过设置把手23方便使用者搬运镀膜上壳体1。

工作原理：当需要对垂直探针卡的接触端子的表面进行镀膜时，通过将接触端子放置在镀膜槽13内，通过端子固定装置14中固定弹簧142弹性的力和夹板141的配合，将接触端子固定，接着通过真空泵15和导气管16的配合可降低镀膜设备内部的气体密度，避免空气对镀膜的质量造成影响，再通过储料箱2、出料管4、输料管5、喷枪7和喷头8的相互配合，可对垂直探针卡的接触端子进行快速准确的镀膜，与此同时，通过限位块17、固定块18、凹槽19、螺纹槽20和螺栓21的相互配合，可对镀膜槽13进行固定限位，避免在镀膜的过程中受到喷头8喷射的冲击力而发生角度的变化，导致镀膜位置不准，影响镀膜质量；

当镀膜结束后，通过调节定位装置12、插杆10和插槽11的配合使用，再对镀膜上壳体1施加提升的力，使得镀膜上壳体1与镀膜下壳体9分离，接着通过转动螺栓21使其与螺纹槽20分离并从固定块18上取下后，对镀膜槽13稍微施加旋转的力，使得限位块17与凹槽19分离，即可将镀膜槽13从镀膜下壳体9内取出，进行废液的收集和镀膜槽13的清理，方便下次使用。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，包括镀膜上壳体(1)，其特征在于：所述镀膜上壳体(1)的顶部嵌设有储料箱(2)，所述储料箱(2)的顶部设置有密封盖(3)，所述储料箱(2)的底部且位于镀膜上壳体(1)的底部连通有出料管(4)，所述出料管(4)的左右两侧均连通有两个输料管(5)，所述镀膜上壳体(1)的内部设置有固定板(6)，所述固定板(6)的左右两侧分别有镀膜上壳体(1)的内壁的左右两侧固定连接，所述固定板(6)的顶部嵌设四个等距离从左至右排列的喷枪(7)，四个所述输料管(5)远离出料管(4)的一端分别与四个喷枪(7)连通，四个所述喷枪(7)的底部均连通有喷头(8)；

所述镀膜上壳体(1)的底部设置有与其对应的镀膜下壳体(9)，所述镀膜上壳体(1)底部的左右两侧均固定连接有插杆(10)，所述镀膜下壳体(9)的顶部的左右两侧对应插杆(10)开设有与其适配的插槽(11)，两个所述插杆(10)上均设置有定位装置(12)，所述镀膜下壳体(9)的内部设置有镀膜槽(13)，所述镀膜槽(13)的内部且位于喷头(8)的正下方设置有端子固定装置(14)。

2.根据权利要求1所述的一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，其特征在于：所述定位装置(12)包括卡槽(121)，所述卡槽(121)开设在插槽(11)靠近镀膜上壳体(1)内壁的一侧，所述卡槽(121)的内部卡接有T形卡杆(122)，所述T形卡杆(122)远离卡槽(121)的一端依次贯穿插杆(10)和镀膜上壳体(1)延伸至镀膜上壳体(1)的外侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，其特征在于：所述端子固定装置(14)包括两个夹板(141)，两个所述夹板(141)的相背离的一侧均固定连接有等距离排列的固定弹簧(142)，所述固定弹簧(142)远离夹板(141)的一端分别与镀膜槽(13)内壁的正面和背面固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，其特征在于：所述镀膜上壳体(1)的左右两侧均固定连接有真空泵(15)，两个所述真空泵(15)的底部均连通有导气管(16)，两个所述导气管(16)远离真空泵的一端分别贯穿并与镀膜上壳体(1)的内部连通。

5.根据权利要求1所述的一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，其特征在于：所述镀膜槽(13)的左右两侧均固定连接有限位块(17)，所述镀膜下壳体(9)的内壁的左右两侧均固定连接有固定块(18)，两个所述固定块(18)相对的一侧均开设有凹槽(19)，两个所述限位块(17)相背的一侧均延伸至凹槽(19)的内部，两个所述凹槽(19)的内底壁均开设有螺纹槽(20)，两个所述固定块(18)的顶部均设置有螺栓(21)，两个所述螺栓(21)的底端均依次贯穿限位块(17)和固定块(18)延伸至螺纹槽(20)的内部与螺纹槽(20)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，其特征在于：所述镀膜上壳体(1)的底部固定连接有密封垫(22)，所述密封垫(22)的底部与镀膜下壳体(9)的顶部接触。

7.根据权利要求1所述的一种用于垂直探针卡端子点镀膜工具，其特征在于：所述镀膜上壳体(1)的顶部且位于储料箱(2)的左右两侧均固定连接有把手(23)。

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