CN209903639U - 硅片切割生产线冷却液在线循环系统 - Google Patents
硅片切割生产线冷却液在线循环系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209903639U CN209903639U CN201920168325.9U CN201920168325U CN209903639U CN 209903639 U CN209903639 U CN 209903639U CN 201920168325 U CN201920168325 U CN 201920168325U CN 209903639 U CN209903639 U CN 209903639U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixedly connected
- top end
- shell
- cutting production
- production line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本实用新型涉及切割生产技术领域，尤其为硅片切割生产线冷却液在线循环系统，包括壳体和定位环，所述壳体的顶端右侧转动连接有挡板，所述挡板的左端面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的后端左侧固定连接有电机，所述电机的主轴末端固定连接有刀片，所述壳体的顶端内侧可拆卸连接有盖板，所述壳体的内侧固定连接有隔板，所述隔板的顶端固定连接有竖直设置的弹簧，所述弹簧的顶端固定连接有曲杆，所述隔板的顶端内侧固定连接有垫圈，所述定位环的顶端固定连接有连接环，本实用新型中，通过设置的水泵、喷头和冷却箱实现了减轻冷却液排污压力，对冷却液回收利用，减少冷却液使用量，减少加工成本，同时降低排污量，有利于保护环境。
Description
技术领域
本实用新型涉及切割生产技术领域，具体为硅片切割生产线冷却液在线循环系统。
背景技术
硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度，这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭，因此，对硅片切割生产线冷却液在线循环系统的需求日益增长。
目前硅片切割生产线冷却系统的冷却液排污压力大，未对冷却液回收利用就直接排污，需要使用大量冷却液，增加加工成本，同时增大排污量，不利于保护环境，而且传统的硅片切割生产线冷却系统缺少对滤网的压紧功能，部分冷却液会从隔板内侧和定位环外侧的缝隙流下，而直接固定定位环会使滤网的更换过程费时费力，因此，针对上述问题提出硅片切割生产线冷却液在线循环系统。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供硅片切割生产线冷却液在线循环系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
硅片切割生产线冷却液在线循环系统，包括壳体和定位环，所述壳体的顶端右侧转动连接有挡板，所述挡板的左端面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的后端左侧固定连接有电机，所述电机的主轴末端固定连接有刀片，所述壳体的顶端内侧可拆卸连接有盖板，所述壳体的内侧固定连接有隔板，所述隔板的顶端固定连接有竖直设置的弹簧，所述弹簧的顶端固定连接有曲杆，所述隔板的顶端内侧固定连接有垫圈，所述定位环的顶端固定连接有连接环，所述定位环的内侧固定连接有滤网，所述壳体的底端固定连接有垫块，所述壳体的右端连通有电磁阀，所述电磁阀的右端连通有冷却箱，所述冷却箱的右端内侧螺旋连接有塞盖，所述冷却箱的顶端内侧连通有导管，所述导管的顶端左侧连通有水泵，所述水泵的底端连通有喷头，所述电动伸缩杆的顶端固定连接有控制器。
优选的，所述电动伸缩杆、电机、电磁阀和水泵均与控制器电性连接，且喷头位于刀片的正上方。
优选的，所述盖板的内侧开设有条形槽，且壳体的外侧顶端面与隔板的顶端面均呈四棱台状设置。
优选的，位于左侧的所述曲杆的右侧底端与位于左侧的连接环的内侧滑动连接，且位于左侧的所述曲杆的左侧底端与隔板的顶端内侧滑动连接。
优选的，所述定位环的外侧与隔板的内侧滑动连接，且定位环的底端与垫圈的顶端相贴合。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型中，通过设置的水泵、喷头和冷却箱实现了减轻冷却液排污压力，对冷却液回收利用，减少冷却液使用量，减少加工成本，同时降低排污量，有利于保护环境。
2、本实用新型中，通过设置的弹簧、曲杆和垫圈实现了对滤网的压紧功能，防止部分冷却液从隔板内侧和定位环外侧的缝隙流下，同时便于更换定位环和滤网。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型俯视图；
图3为本实用新型图1的A处结构示意图。
图中：1-壳体、2-挡板、3-电动伸缩杆、4-电机、5-刀片、6-盖板、7-隔板、8-弹簧、9-曲杆、10-垫圈、11-定位环、12-连接环、13-滤网、14-垫块、15-电磁阀、16-冷却箱、17-塞盖、18-导管、19-水泵、20-喷头、21-控制器、a-条形槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
硅片切割生产线冷却液在线循环系统，包括壳体1和定位环11，所述壳体1的顶端右侧转动连接有挡板2，所述挡板2的左端面固定连接有电动伸缩杆3，所述电动伸缩杆3的后端左侧固定连接有电机4，所述电机4的主轴末端固定连接有刀片5，所述壳体1的顶端内侧可拆卸连接有盖板6，所述壳体1的内侧固定连接有隔板7，所述隔板7的顶端固定连接有竖直设置的弹簧8，所述弹簧8的顶端固定连接有曲杆9，所述隔板7的顶端内侧固定连接有垫圈10，所述定位环11的顶端固定连接有连接环12，所述定位环11的内侧固定连接有滤网13，所述壳体1的底端固定连接有垫块14，所述壳体1的右端连通有电磁阀15，所述电磁阀15的右端连通有冷却箱16，所述冷却箱16的右端内侧螺旋连接有塞盖17，所述冷却箱16的顶端内侧连通有导管18，所述导管18的顶端左侧连通有水泵19，所述水泵19的底端连通有喷头20，所述电动伸缩杆3的顶端固定连接有控制器21。
所述电动伸缩杆3、电机4、电磁阀15和水泵19均与控制器21电性连接，且喷头20位于刀片5的正上方，这种设置有利于控制器21控制冷却液喷洒时间和控制刀片5位置，所述盖板6的内侧开设有条形槽a，且壳体1的外侧顶端面与隔板7的顶端面均呈四棱台状设置，这种设置有利于导流冷却液，位于左侧的所述曲杆9的右侧底端与位于左侧的连接环12的内侧滑动连接，且位于左侧的所述曲杆9的左侧底端与隔板7的顶端内侧滑动连接，这种设置有利于对曲杆9限位，所述定位环11的外侧与隔板7的内侧滑动连接，且定位环11的底端与垫圈10的顶端相贴合，这种设置有利于防止部分冷却液从隔板7内侧和定位环11外侧的缝隙流下。
电动伸缩杆3的型号为XYDHA12-50电动伸缩杆，电机4的型号为M560-502电机，电磁阀15的型号为2W-160-15电磁阀，水泵19的型号为DCS-1200水泵，控制器21的型号为AQMD2410NS控制器。
工作流程：使用前装置接通电源，对冷却液循环回收利用时，水泵19启动，冷却箱16内的水经过导管18和喷头20雾化喷出，切割时，将硅片置于壳体1顶端，控制器21控制电动伸缩杆3往复伸缩，电机4带动刀片5转动切割硅片，冷却液带动切割碎屑通过条形槽a进入，壳体1，壳体1的外侧顶端面与隔板7的顶端面均呈四棱台状设置，有利于导流冷却液，冷却液经过滤网13过滤，通过电磁阀15进入冷却箱16冷却，实现了减轻冷却液排污压力，对冷却液回收利用，减少冷却液使用量，减少加工成本，同时降低排污量，有利于保护环境，对滤网13更换时，拆下顶端内侧的盖板6，向上提拉曲杆9，弹簧8伸长，曲杆9的底端与连接环12的内侧滑动分离，取下定位环11并更换，弹簧8带动曲杆9下滑，曲杆9底端压紧定位环11顶端，定位环11底端压紧垫圈10顶端，隔板7顶端内侧与连接环12的内侧均与曲杆9的底端滑动连接，便于对曲杆9限位，实现了对滤网13的压紧功能，防止部分冷却液从隔板7内侧和定位环11外侧的缝隙流下，同时便于更换定位环11和滤网13，排污时，螺旋拧开塞盖17，电磁阀15打开，冷却箱16内侧的冷却液流出，壳体1内的冷却液排尽时，电磁阀15闭合，水泵19反转，加速冷却箱16排污，排污完毕后螺旋拧紧塞盖17。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.硅片切割生产线冷却液在线循环系统，包括壳体(1)和定位环(11)，其特征在于：所述壳体(1)的顶端右侧转动连接有挡板(2)，所述挡板(2)的左端面固定连接有电动伸缩杆(3)，所述电动伸缩杆(3)的后端左侧固定连接有电机(4)，所述电机(4)的主轴末端固定连接有刀片(5)，所述壳体(1)的顶端内侧可拆卸连接有盖板(6)，所述壳体(1)的内侧固定连接有隔板(7)，所述隔板(7)的顶端固定连接有竖直设置的弹簧(8)，所述弹簧(8)的顶端固定连接有曲杆(9)，所述隔板(7)的顶端内侧固定连接有垫圈(10)，所述定位环(11)的顶端固定连接有连接环(12)，所述定位环(11)的内侧固定连接有滤网(13)，所述壳体(1)的底端固定连接有垫块(14)，所述壳体(1)的右端连通有电磁阀(15)，所述电磁阀(15)的右端连通有冷却箱(16)，所述冷却箱(16)的右端内侧螺旋连接有塞盖(17)，所述冷却箱(16)的顶端内侧连通有导管(18)，所述导管(18)的顶端左侧连通有水泵(19)，所述水泵(19)的底端连通有喷头(20)，所述电动伸缩杆(3)的顶端固定连接有控制器(21)。
2.根据权利要求1所述的硅片切割生产线冷却液在线循环系统，其特征在于：所述电动伸缩杆(3)、电机(4)、电磁阀(15)和水泵(19)均与控制器(21)电性连接，且喷头(20)位于刀片(5)的正上方。
3.根据权利要求1所述的硅片切割生产线冷却液在线循环系统，其特征在于：所述盖板(6)的内侧开设有条形槽(a)，且壳体(1)的外侧顶端面与隔板(7)的顶端面均呈四棱台状设置。
4.根据权利要求1所述的硅片切割生产线冷却液在线循环系统，其特征在于：位于左侧的所述曲杆(9)的右侧底端与位于左侧的连接环(12)的内侧滑动连接，且位于左侧的所述曲杆(9)的左侧底端与隔板(7)的顶端内侧滑动连接。
5.根据权利要求1所述的硅片切割生产线冷却液在线循环系统，其特征在于：所述定位环(11)的外侧与隔板(7)的内侧滑动连接，且定位环(11)的底端与垫圈(10)的顶端相贴合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920168325.9U CN209903639U (zh) | 2019-01-30 | 2019-01-30 | 硅片切割生产线冷却液在线循环系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920168325.9U CN209903639U (zh) | 2019-01-30 | 2019-01-30 | 硅片切割生产线冷却液在线循环系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209903639U true CN209903639U (zh) | 2020-01-07 |
Family
ID=69029826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920168325.9U Active CN209903639U (zh) | 2019-01-30 | 2019-01-30 | 硅片切割生产线冷却液在线循环系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209903639U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113172782A (zh) * | 2021-05-17 | 2021-07-27 | 伍路旺 | 一种单片机圆晶切片装置 |
-
2019
- 2019-01-30 CN CN201920168325.9U patent/CN209903639U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113172782A (zh) * | 2021-05-17 | 2021-07-27 | 伍路旺 | 一种单片机圆晶切片装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204148959U (zh) | 一种铣床自循环冷却系统 | |
| CN205111451U (zh) | 一种数控车床冷却装置 | |
| CN209903639U (zh) | 硅片切割生产线冷却液在线循环系统 | |
| CN206027856U (zh) | 厨房粉碎机清洗装置 | |
| CN212902705U (zh) | 一种氧化锌煅烧余热回收机构 | |
| CN102896552A (zh) | 机床主动冷却技术 | |
| CN209110708U (zh) | 一种数控车床刀具冷却装置 | |
| CN207388027U (zh) | 一种水循环砖块切割装置 | |
| CN205347244U (zh) | 一种节能高效氧化钙消化装置 | |
| CN203124861U (zh) | 节能金属切割机 | |
| CN203725151U (zh) | 一种节能环保的塑料化工生产设备 | |
| CN213102487U (zh) | 球磨机冷却水循环系统 | |
| CN202862006U (zh) | 一种加工研磨棒用无心磨床的循环降温装置 | |
| CN210569863U (zh) | 一种防护性能强的耐火砖烘干室 | |
| CN204356097U (zh) | 用于处理造纸制浆废水的系统 | |
| CN209978653U (zh) | 一种浆料冷却系统 | |
| CN209848569U (zh) | 一种处理化工铁泥和锌尾渣的烟气净化装置 | |
| CN208133351U (zh) | 用于单晶一体机加工过程的全自动硅水循环过滤装置 | |
| CN111976060A (zh) | 一种塑料粉碎装置 | |
| CN113137816A (zh) | 一种水产品加工冷却装置 | |
| CN205571610U (zh) | 一种高压水射流切割喷嘴 | |
| CN208496512U (zh) | 一种数控铣床碎屑清理装置 | |
| CN220061761U (zh) | 一种垃圾焚烧尾气降温装置 | |
| CN206326226U (zh) | 一种中走丝线切割机用工作液过滤装置 | |
| CN204932941U (zh) | 一种预冷型冷却分离结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |