CN209793460U - 一种用于靶材机械加工的工装 - Google Patents

一种用于靶材机械加工的工装 Download PDF

Info

Publication number
CN209793460U
CN209793460U CN201920373003.8U CN201920373003U CN209793460U CN 209793460 U CN209793460 U CN 209793460U CN 201920373003 U CN201920373003 U CN 201920373003U CN 209793460 U CN209793460 U CN 209793460U
Authority
CN
China
Prior art keywords
target
ring
fixed plate
machining
arc section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201920373003.8U
Other languages
English (en)
Inventor
唐智勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhuzhou Torch Antai New Materials Co Ltd
Original Assignee
Zhuzhou Torch Antai New Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhuzhou Torch Antai New Materials Co Ltd filed Critical Zhuzhou Torch Antai New Materials Co Ltd
Priority to CN201920373003.8U priority Critical patent/CN209793460U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN209793460U publication Critical patent/CN209793460U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型公开了一种用于靶材机械加工的工装,该工装包括底座所述底座上设有固定板和支撑架,所述固定板和支撑架相对设置,所述固定板上安装有夹持圈,所述夹持圈包括尺寸相同的第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段,所述固定板上设有三条卡槽,卡槽内安装有弹簧,所述弹簧分别与圆弧段连接,圆弧段可以沿着卡槽滑动;所述支撑架上安装有定位环。本实用新型可以对不同尺寸的ITO靶材进行加工,通过在ITO圆筒靶材一端设置夹持圈,另一端设置定位环,从两端固定ITO圆筒靶材,保证了加工过程中靶材的平稳。

Description

一种用于靶材机械加工的工装
技术领域
本实用新型涉及靶材加工技术领域,更具体地,涉及一种用于靶材机械加工的工装。
背景技术
ITO靶材呈圆柱空心状,在对ITO靶材进行加工时,需要保证ITO靶材内圆和外圆的平行度。所以除了将靶材外圆表面打磨规则后,还需要对靶材内圆进行加工,使用砂轮将靶材内圆打磨平整。由于ITO靶材脆性高,材质易碎,在加工时对工装要求较高,除了贴合性好之外,还需要在加工时保持平稳,防止打磨过程中旋转的砂轮碰裂靶材。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术中的不足,提供一种用于靶材机械加工的工装,通过夹持圈和固定环配合,能有效保证打磨过程中ITO靶材的平稳。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现:
一种用于靶材机械加工的工装,包括底座,所述底座上设有固定板和支撑架,所述固定板和支撑架相对设置,所述固定板上安装有夹持圈,所述夹持圈包括尺寸相同的第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段,所述固定板上设有三条卡槽,卡槽内安装有弹簧,所述弹簧分别与圆弧段连接,圆弧段可以沿着卡槽滑动;所述支撑架上安装有定位环。
进一步地,所述夹持圈和定位环同轴。
进一步地,所述固定板上以夹持圈圆心为中心,标有圆形刻度。
进一步地,所述三条卡槽相交于夹持圈的圆心处。
进一步地,所述夹持圈内表面设置有橡胶垫。
进一步地,所述定位环上设有定位块。
进一步地,所述定位环上设置至少3个定位块。
进一步地,所述定位块通过螺纹连接贯穿在定位环上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
本实用新型将三段圆弧与弹簧连接,通过弹簧的拉伸与收缩扩大了夹持圈的作用范围,在机械加工时,可以对不同尺寸的ITO靶材进行加工。同时在定位板上标有圆形刻度,工作时可以根据刻度调整圆弧段和靶材的位置,保证了位置的准确性。
本实用新型在ITO圆筒靶材一端设置夹持圈,另一端设置定位环,从两端固定ITO圆筒靶材,保证了加工过程中靶材的平稳。
本实用新型在夹持圈内表面设置了橡胶垫,与ITO靶材贴合性好,同时也不会对靶材造成过度挤压;在定位环上设置的定位块可以对ITO靶材精准定位。
附图说明
图1为用于靶材机械加工的工装的结构示意图。
其中,1为底座,2为支撑架,3为定位环,4为定位块,5为固定板,6为卡槽,7为圆弧段。
具体实施方式
附图仅用于示例性说明,不能理解为对本实用新型的限制;为了更好说明本实施例,附图某些部件会有省略、放大或缩小,并不代表实际产品的尺寸;对于本领域技术人员来说,附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。附图中描述位置关系仅用于示例性说明,不能理解为对本实用新型的限制。
实施例1
如图1所示,本实施例提供一种用于靶材机械加工的工装,包括底座1,在底座1分别设置有固定板5和支撑架2,两者相对设置。在固定板5上安装有夹持圈,夹持圈包括半径相同的第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段,固定板5上还设有三条卡槽6,卡槽6内安装有弹簧,弹簧分别与圆弧段7连接,圆弧段7可以沿着卡槽6滑动,三条卡槽及卡槽内的弹簧相交于夹持圈圆心处,当该工装不工作时,三个圆弧段7受弹簧作用,构成一个闭合的夹持圈,在夹持圈的内表面装有橡胶垫。以夹持圈圆心为中心,在定位板上标有圆形刻度。
本实施例中,在底座1上还设有支撑架2,支撑架2上设有定位环3,定位环3与夹持圈同轴。在定位环3上安装了三个定位块4,定位块4通过螺纹连接贯穿在定位环3上,可以通过旋转定位块4调整其在定位环3内的长度,定位环3与夹持圈同轴。
具体地,本实用新型提供的用于靶材机械加工的工装的工作过程如下:根据待处理的ITO靶材外圆尺寸,将三段圆弧移动至合适位置,然后沿着圆形刻度将靶材一端安装在夹持圈上。然后松开圆弧,在弹簧的作用下,第一圆弧段7、第二圆弧段7、第三圆弧段7与靶材外圆紧密贴合;然后旋转定位环3上的定位块4,通过定位块4将靶材的另一端固定在定位环3上,使其保持平稳;将靶材两端固定完毕后,再用砂轮对靶材内圆进行打磨加工。
显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于靶材机械加工的工装,其特征在于,包括底座,所述底座上设有固定板和支撑架,所述固定板和支撑架相对设置,所述固定板上安装有夹持圈,所述夹持圈包括尺寸相同的第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段,所述固定板上设有三条卡槽,卡槽内安装有弹簧,所述弹簧分别与圆弧段连接,圆弧段可以沿着卡槽滑动;所述支撑架上安装有定位环。
2.根据权利要求1所述的用于靶材机械加工的工装,其特征在于,所述夹持圈和定位环同轴。
3.根据权利要求1所述的用于靶材机械加工的工装,其特征在于,所述固定板上以夹持圈圆心为中心,标有圆形刻度。
4.根据权利要求1所述的用于靶材机械加工的工装,其特征在于,所述三条卡槽相交于夹持圈的圆心处。
5.根据权利要求1所述的用于靶材机械加工的工装,其特征在于,所述夹持圈内表面设置有橡胶垫。
6.根据权利要求1所述的用于靶材机械加工的工装,其特征在于,所述定位环上设有定位块。
7.根据权利要求6所述的用于靶材机械加工的工装,其特征在于,所述定位环上设置至少3个定位块。
8.根据权利要求6所述的用于靶材机械加工的工装,其特征在于,所述定位块通过螺纹连接贯穿在定位环上。
CN201920373003.8U 2019-03-22 2019-03-22 一种用于靶材机械加工的工装 Active CN209793460U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920373003.8U CN209793460U (zh) 2019-03-22 2019-03-22 一种用于靶材机械加工的工装

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201920373003.8U CN209793460U (zh) 2019-03-22 2019-03-22 一种用于靶材机械加工的工装

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN209793460U true CN209793460U (zh) 2019-12-17

Family

ID=68825870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201920373003.8U Active CN209793460U (zh) 2019-03-22 2019-03-22 一种用于靶材机械加工的工装

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN209793460U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202079415U (zh) 一种加工壳体类零件的定位工装
CN102744622A (zh) 一种圆柱形零件快速装夹及定位夹具
CN204913358U (zh) 一种四面翻转组合夹具
CN203305001U (zh) 一种外圆磨床装夹机构
CN104043850A (zh) 一种浮动夹具
CN209793460U (zh) 一种用于靶材机械加工的工装
CN210082776U (zh) 一种精雕机用工件夹具
CN108436521A (zh) 一种五金配件多工位气动快速装夹工装
CN210818963U (zh) 一种多功能外圆磨床
CN103753288A (zh) 旋钮夹持装置
CN210650139U (zh) 一种锥孔研磨装置
CN207746765U (zh) 汽车转轴工装
CN206509766U (zh) 一种汽车电动真空泵壳体车加工夹具
CN104493567A (zh) 加工中心数控旋转夹持装置
CN204800400U (zh) 一种电主轴锥孔高精度加工装置
CN204976082U (zh) 一种快速装夹法兰盘分度孔加工夹具
CN205415300U (zh) 偏心轴磨削卡具
CN204565864U (zh) 一种上盘万向调心加载机构
CN203125156U (zh) 一种圆柱形零件快速装夹及定位夹具
CN210615164U (zh) 一种用于机体零件精加工的转动式夹紧机构
CN103144005A (zh) 一种球面及平面光学元件的面接触磨抛装置及方法
CN216000066U (zh) 一种轴体零件端面打磨辅助夹固工装
CN210879228U (zh) 一种机械零部件cnc精密打磨用定位辅助设备
CN216991387U (zh) 一种新型磁力研磨用磨针
CN210147860U (zh) 一种用于靶材定位的工装

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant