CN209787566U - 柔性电子器件的制备装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种柔性电子器件的制备装置，包括：图形编辑设备，用于根据所要制备的柔性电子器件的功能结构进行图形编辑，将柔性电子器件功能结构的三维形貌转换成对应的光源图形；光源设备，用于提供照射光线并根据图形编辑设备提供的光源图形进行图形化的投影；光源控制设备，用于根据图形编辑设备提供的光源图形对光源设备进行控制，使光源设备能够以预设的光照强度、光照波长和光照时长照射并固化预聚物和光固化剂的混合溶液，使混合溶液固化后形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底，该表面凹凸部位或内部沟道的形状与所要制备的柔性电子器件的功能结构的形状相对应。本装置制备出的柔性衬底一次成型，加工方便，密封性好。

Description

柔性电子器件的制备装置

技术领域

本实用新型涉及柔性设备制造领域，特别是涉及一种柔性电子器件的制备装置。

背景技术

在传统的电子印刷领域，电子电路的制备需要十分繁复的程序，在制备的过程中还伴随着资源浪费和环境污染等诸多问题。在柔性电子领域，程序则更为复杂，需要通过刻蚀制备模具才能制备特定形状的电子器件。

目前的柔性器件衬底都是基于模具成型的，模具的制备过程复杂且无法重复使用，不具有可编辑性。对于复杂结构的衬底，制作工艺大多基于多部件组装拼接和三明治结构成型，无法做到一次成型。

前面的叙述在于提供一般的背景信息，并不一定构成现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种柔性电子器件的制备装置，该装置制备出的柔性电子器件的衬底一次成型，加工方便。

本实用新型提供的柔性电子器件的制备装置，包括：图形编辑设备，用于根据所要制备的柔性电子器件的功能结构进行图形编辑，将柔性电子器件功能结构的三维形貌转换成对应的光源图形；光源设备，与图形编辑设备信号连接，用于提供照射光线并根据图形编辑设备提供的光源图形进行图形化的投影；光源控制设备，与光源设备以及图形编辑设备信号连接，用于根据图形编辑设备提供的光源图形对光源设备进行控制，使所述光源设备能够以预设的光照强度、光照波长和光照时长照射并固化预聚物和光固化剂的混合溶液，使所述混合溶液固化后形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底，其中，所述表面凹凸部位或内部沟道的形状与所要制备的柔性电子器件的功能结构的形状相对应。

进一步地，所述光源设备包括阵列光源，所述光源控制设备根据光源所要呈现的光源图形控制点亮对应位置的光源形成所需的光源图形。

进一步地，所述光源设备提供单面光源。

进一步地，所述光源设备提供相对设置的双面光源。

进一步地，所述光源设备提供的光照波长根据光固化剂的种类确定。

进一步地，所述光源设备提供的光照强度根据柔性电子器件功能结构的三维形貌确定。

进一步地，所述光源设备提供的光照时长根据预聚物所需的固化时间确定。

进一步地，还包括材料填充设备，所述材料填充设备用于在所述柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内填充与所述柔性电子器件的功能对应的功能材料，或者清除所述柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内未固化的混合溶液。

进一步地，所述材料填充设备为注射器，用于在所述柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内填充功能材料。

进一步地，所述光源设备还包括光线平行透镜，所述光线平行透镜沿光线行进方向设于所述光源的前方，用于将传来的光线转换成平行光线，所述平行光线垂直于所述混合溶液的液面。

进一步地，所述光源设备还包括图案放大透镜，所述图案放大透镜设于所述光源与所述光线平行透镜之间，用于放大所述光源照射出的图案。

进一步地，还包括光照平台，所述光源设备设于所述光照平台上。

本实用新型至少具有如下有益效果其中之一：

1.本实用新型的柔性电子器件的制备装置采用光照固化的方式形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底，并在形成的柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内注入功能材料，得到所需的柔性电子器件，其制备的柔性衬底一次成型，加工方便，密封性好。

2.本实用新型的柔性电子器件的制备装置通过光源的图形化实现柔性衬底表面凹凸部位或内部沟道的图形化，加工方式灵活，无需成型模具即可形成具有不同结构的柔性衬底，尤其适用于加工具有复杂结构的柔性衬底。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的柔性电子器件的制备装置制备形成的柔性衬底的示意图。

图2为本实用新型第一实施例提供的柔性电子器件的制备装置的架构示意图。

图3为光源设备的示意图。

图4为单面照射固化方案的示意图。

图5为双面照射固化方案的示意图。

图6为光源图形的亮度与形成的柔性衬底中沟道深度的示意图。

图7为利用注射器向柔性衬底的内部沟道注射功能材料的示意图。

图8为利用本实用新型的柔性电子器件的制备装置制备柔性电子器件的制备流程示意图。

图9为本实用新型第二实施例制备的单向可拉抻耐冲击的柔性器件的外观示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

第一实施例

如图1所示，本实用新型实施例提供的柔性电子器件的制备装置制备出的柔性电子器件包括具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底1a、以及位于所述表面凹凸部位或内部沟道内的功能结构1b。

请参考图2，本实用新型实施例提供的柔性电子器件的制备装置包括图形编辑设备10、光源设备20、光源控制设备30、光照平台40以及材料填充设备50。

其中，图形编辑设备10用于根据所要制备的柔性电子器件的功能结构1b进行图形编辑，将柔性电子器件功能结构1b的三维形貌转换成对应的光源图形。光源设备20与图形编辑设备10信号连接，用于提供照射光线并根据图形编辑设备10提供的光源图形进行图形化的投影。光源控制设备30与光源设备20以及图形编辑设备10信号连接，用于根据图形编辑设备10提供的光源图形对光源设备20进行控制，使所述光源设备20能够以预设的光照强度、光照波长和光照时长照射并固化预聚物和光固化剂的混合溶液，使所述混合溶液固化后形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底1a，其中，所述表面凹凸部位或内部沟道的形状与所要制备的柔性电子器件的功能结构1b的形状相对应。

具体地，图形编辑设备10可以为计算机，其可以根据输入的所要制备的柔性电子器件的功能结构1b数据进行图形编辑，将柔性电子器件功能结构1b的三维形貌转换成对应的光源图形。图形编辑设备10提供的光源图形可以为线条、单点、电路、电器件、甚至一副图片。

本实用新型提供的光源设备20类似投影机的镜头，其可以在光源控制设备30的控制下，提供具有合适光照强度、光照波长和光照时长的照射光线，并可在光源控制设备30的控制下根据图形编辑设备10提供的光源图形进行图形化投影。如图3所示，光源设备20可以包括光源21、光线平行透镜23、以及图案放大透镜25。本实用新型实施例提供的光源21可以为阵列光源(例如LED阵列、激光阵列)、点光源(例如荧光灯、汞灯)和面光源(例如LCD)等，其提供的光线可以为白光、单色光、紫外光、红外光和激光，并且该光源21可以为单面光源(如图4所示)和双面光源(如图5所示)。若提供的光源21为单面光源，则该光源21位于光照平台40的上侧或下侧，用于对混合溶液进行单面照射；若提供的光源21为双面光源，则该光源21位于光照平台40的上下两侧，用于对混合溶液进行双面照射。在提供的光源为阵列光源的实施例中，光源控制设备30可以根据光源设备20所要呈现的光源图形控制点亮对应位置的光源21形成所需的光源图形。图案放大透镜25沿光线行进方向设于光源21的前方，用于放大光源21照射出的图案。光线平行透镜23沿光线行进方向设于图案放大透镜25的前方，用于将图案放大透镜25传过来的光线转换成平行光线，在本实施例中，这些平行光线垂直于混合溶液的液面，以便于在照射固化的过程中控制柔性衬底1a的表面凹凸部位和内部沟道的形成。在一具体实施例中，所述图案放大透镜25以及所述光线平行透镜23可以透过紫外光，所述透过的紫外光可以固化预聚物和光固化剂的混合溶液。

在本实用新型中，光源21的光照波长的覆盖范围可以根据光固化剂的种类进行选择，使光源21的光照波长覆盖光固化剂的光固化波长，例如Irgacure819光固化剂需要的光照波长应覆盖405nm，Irgacure 250需要的光照波长应覆盖365nm。具体地，可以由光源控制设备30根据输入的光固化剂的种类控制光源设备20输出合适覆盖范围的光照波长，也可以由光源控制设备30根据输入的光照波长的覆盖范围控制光源设备20输出覆盖对应范围的光照波长。在输入光照波长覆盖范围的实施例中，光照波长的覆盖范围由操作者根据光固化剂的种类人工确定。

在本实用新型中，光源21具有光照强度可调(即亮度可调)的特点，光源21的对应部分的光照强度根据所要制备的柔性电子器件功能结构1b的三维形貌选取，并且，光源21的光照强度可以利用光源控制设备30，通过控制光源21的发光强度来控制，在本实用新型的其它实施例中，光源21的光照强度也可以通过形成的光源图形的灰度来控制，如图6所示，编程形成的图案灰度越大(即光源21亮度和光强越小)的地方，对应的固化深度越浅，图案灰度越小(即光源21亮度和光强越大)的地方，对应的固化深度越深。其中，所述光源控制设备30可以是与光源设备为一体的装置，所述光源控制设备30也可以是与图形编辑设备10为一体的装置。

在本实用新型中，光源21的光照时长根据预聚物所需的固化时间确定，预聚物所需的固化时间可以借助光源控制设备30根据相关参数来确定。确定预聚物所需固化时间的相关参数包括光源21的光照波长、光照强度、混合溶液中的光固化剂材料和光固化剂质量百分比、以及所需的固化深度等。光源21提供的光照波长越靠近光固化剂的光固化波长，预聚物的固化速度越快，需要的光照时长越短。光源21的光照越强，预聚物的固化速度越快，需要的光照时长越短。光固化剂越多，预聚物的固化速度越快，需要的光照时长越短。固化深度越浅，预聚物需要的光照时长越短。

在本实用新型中，光照平台40用于承载光源设备20和混合溶液，为了便于承载混合溶液，光照平台40还包括盛载器皿。本实施例中的盛载器皿可以为现成的广口容器(例如矩形或圆形的烧杯、培养皿等)，也可以为薄片状盛载器皿，例如载玻片、塑料薄片等，当盛载器皿为薄片状盛载器皿时，可在盛载器皿的四周点注粘性较高的液体作为拦截壁，以防止盛载器皿内较低粘性的液体四处流动，当然，若盛载器皿内的液体粘性较大，也可以不用点注拦截壁。可以理解的，为了便于光线透过，盛载器皿优选为透明容器，并且，盛载器皿的材料可以根据需要进行选择，例如可以为玻璃、PU(聚氨酯)、PDMS(聚二甲基硅氧烷)等。盛载器皿内混合溶液的高度可根据所要制备的柔性衬底1a的厚度进行设计。

在本实用新型中，材料填充设备50用于在柔性衬底1a的表面凹凸部位或内部沟道内填充与柔性电子器件的功能对应的功能材料，或者清除柔性衬底1a的表面凹凸部位或内部沟道内未固化的混合溶液。本实施例的材料填充设备50为注射器，其可以在柔性衬底1a制备形成后，先吸出柔性衬底1a的表面凹凸部位或内部沟道内未固化的混合溶液，之后如图7所示，向柔性衬底1a的表面凹凸部位或内部沟道内填充与柔性电子器件的功能对应的功能材料。

如图8所示，本实用新型提供的柔性电子器件的制备装置可用于利用如下方法制备柔性电子器件衬底，所述方法包括：

步骤S10：提供预聚物和光固化剂的混合溶液；

步骤S20：提供可图形化编程的光源设备20；

步骤S30：使光源设备20形成与柔性电子器件的功能结构1b相关的光源图形；

步骤S40：利用光源设备20照射固化预聚物和光固化剂混合溶液，形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底1a，形成的表面凹凸部位或内部沟道的形状与所要制备的柔性电子器件的功能结构1b的形状相对应；

该方法在制备形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底1a后，还包括：

步骤S50：在所述柔性衬底1a的表面凹凸部位或内部沟道内填充与柔性电子器件的功能对应的功能材料；

步骤S60：得到所需的柔性电子器件。

需要说明的是，在步骤S10中，提供的预聚物和光固化剂的混合溶液置于盛载器皿内，并放置于光照平台40上。

在步骤S10中，柔性电子器件制备领域的预聚物主要为光敏树脂材料，其可以为某种光敏树脂的液态单体或液态低聚物，当受到光线照射时可与光固化剂反应生成该光敏树脂的高聚物，完成从液态至固态的变化。本实用新型的预聚物可以包括环氧树脂类、丙烯酸酯类、聚酯树脂、酚醛树脂等。环氧树脂类材料包括双酚A型环氧树脂(DGEBA树脂)、双酚S型环氧树脂(DGEBS树脂)等，丙烯酸酯类材料包括聚甲基丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯等。

在步骤S10中，提供的光固化剂又称光引发剂，光固化剂分子对特定波长的光线，例如紫外光(波长为250～400nm)、可见光(波长为400～800nm)、红外光、激光、或化学荧光，具有一定的吸光能力，在直接或间接吸收光能后，光固化剂分子能够从基态跃迁到激发单线态，经系间窜跃至激发三线态；在激发单线态或三线态经单分子或双分子化学作用后，产生能够引发单体聚合的活性碎片，这些活性碎片可以是自由基、阳离子、阴离子等。按照引发机理的不同，光固化剂可分为自由基聚合光固化剂与阳离子光固化剂。按照结构特点，光固化剂可以包括如下几类：1、苯偶姻及其衍生物(包括安息香、安息香双甲醚、安息香乙醚、安息香异丙醚、安息香丁醚等)；2、苯偶酰类(包括二苯基乙酮、α，α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮)；3、烷基苯酮类(包括α，α-二乙氧基苯乙酮、α-羟烷基苯酮、α-胺烷基苯酮)；4、酰基磷氧化物(包括芳酰基膦氧化物、双苯甲酰基苯基氧化膦)；5、二苯甲酮类(包括二苯甲酮、2,4-二羟基二苯甲酮、米蚩酮)；6、硫杂蒽酮类(包括硫代丙氧基硫杂蒽酮、异丙基硫杂蒽酮)。

在步骤S10中，提供的预聚物和光固化剂的材料根据所要制备的柔性电子器件的衬底材料进行选择，预聚物和光固化剂的质量百分比(wt％)可根据所要制备的柔性电子器件衬底的弹性模量(即可拉伸程度或可弯曲程度)来决定，在本实施例中，预聚物与光固化剂的质量百分比为94:6～99:1，例如，聚丙烯酸酯与Ingacure 819光固化剂的质量百分比为95：5～99：1，聚丙烯酸酯与Irgacure 250的质量百分比为94：6～98：2。若加入较多的光固化剂，形成的柔性衬底1a较硬，不易被拉伸或发生弯曲，若加入的光固化剂较少，在形成的柔性衬底1a较软，比较容易被拉伸或发生弯曲。

在步骤S10中，可以先将预聚物与光固化剂混合均匀，再将其倒至盛载器皿上，也可以先将预聚物与光固化剂放入盛载器皿，再将其混合均匀。

在步骤S10中，由于白光的波长覆盖范围较宽，包含可使预聚物和光固化剂混合溶液发生固化的波段，因此，为了保证混合过程中混合溶液不发生固化，该方法优选采用在黄光间内制备混合溶液。

在步骤S20中，若所要制备的柔性电子器件的功能结构1b形成于衬底表面，则提供的光源设备20包括单面光源，利用光源21照射混合溶液的单个表面，通过控制混合溶液不同部分的固化速度使混合溶液固化时形成具有表面凹凸部位的柔性衬底1a，例如图1(a)至图1(c)所示的柔性衬底1a。若所要制备的柔性电子器件的功能结构1b形成于衬底内部，则提供的光源设备20包括双面光源，利用光源21照射混合溶液的两个表面，通过控制混合溶液不同部分的固化深度形成具有内部沟道的柔性衬底1a，例如图1(d)所示的插指电容的柔性衬底1a。

在本实用新型中，光源21能够提供的光照波长的覆盖范围根据光固化剂的种类进行选择，使光源21的光照波长覆盖光固化剂的光固化波长。光源21的对应部分的光照强度根据所要制备的柔性电子器件功能结构1b的三维形貌选取。光源21的光照时长根据预聚物所需的固化时间确定。

在步骤S40中，形成的柔性衬底1a具有表面凸凹部位或者内部沟道，形成的表面凹凸部位例如包括图1(a)中柔性衬底1a表面的凸点(柔性衬底1a中的各凸点采用中间亮两边暗的光源21照射形成)、图1(b)中柔性衬底1a表面的凹点(柔性衬底1a中的各凹点采用中间暗两边亮的光源21照射形成)、以及图1(c)中柔性衬底1a表面的流道，形成的表面凹凸部位与所要制备的柔性电子器件的功能结构1b相对应，形成的内部沟道例如包括图7中柔性衬底1a内部的沟道，形成的内部沟道也与所要制备的柔性电子器件的功能结构1b相对应。

该方法在步骤S40(形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底1a)之后还可以包括：将柔性衬底1a由盛载器皿上剥离。在将柔性衬底1a由盛载器皿上剥离时可采用激光切割、铲刀刮离、手动剥离、或者在盛载器皿上预先涂抹油脂(便于固化后剥离)等方式。

进一步地，该方法在步骤S40之后还可以包括：清除表面凹凸部位或内部沟道内未固化的混合溶液。在清除表面凹凸部位或内部沟道内未固化的混合溶液时可以采用注射器或吸液纸吸取的方式，也可以采用吹干或蒸发的方式，若采用蒸发的方式，加热温度不能太高，以免影响到柔性衬底1a的外形。

在步骤S50中，注入的功能材料为功能材料，该功能材料可以为液态金属、非牛顿流体(例如人体血液、淋巴液、囊液等)、导电金属浆料、碳纳米浆料、有机导电液体等，具体需要根据待加工的柔性电子器件来选择，例如，若需要加工柔性电路板，可以注入液态金属，若需要加工耐冲击的柔性器件，可以注入橡胶溶液等。

第二实施例

目标：制备一种单向可拉抻耐冲击的柔性衬底及柔性器件，柔性电子器件的制备装置的图形编辑设备提供的光源图形如图9所示。

制备流程：在黄光间内，将双酚A环氧丙烯酸酯与光固化剂Irgacure819(CAS：162881-26-7)按照95:5～99:1的质量百分比(优选为98:2)混合，将混合溶液放置在培养皿内(培养皿内溶液高度为700微米)，并将培养皿放置在光照平台上；

以汞灯作为光源(光源覆盖405nm的光固化波长，汞灯功率为100W)，对光源进行编辑，形成的光源图形包含沿单一方向的蛇形曲线；

利用光源双面照射混合溶液，光照时长为1分钟；

1分钟后关闭光源，得到内部具有蛇形沟道的柔性衬底；

将固化的柔性衬底由培养皿中取出；

通过注射器吸出沟道内的未固化溶液，将液态橡胶溶液注入至内部沟道内，并进行封口处理；

形成具有单向拉伸性能的抗冲击并具有记忆功能的柔性器件。

第三实施例

目标：制备一种插指电极柔性衬底及具有其的液态金属插指电容，柔性电子器件的制备装置的图形编辑设备提供的光源图形如图1(d)所示。

制备流程：在黄光间内，将双酚A型环氧树脂与光固化剂Irgacure 250按照94:6～98:2的质量百分比(优选为96:4)混合，将混合溶液放置在培养皿内(培养皿内溶液高度为500微米)，并将培养皿放置在光照平台上；

以UVA紫外灯作为光源(光源覆盖365nm的光固化波长，紫外灯功率为10W)，对光源进行编辑，形成的光源图形包含两排梳状的插指电极；

利用光源双面照射混合溶液，光照时长为30秒；

30秒后关闭光源，得到插指电极的柔性衬底；

将固化的柔性衬底由培养皿中取出；

通过注射器吸出沟道内的未固化溶液，将液态镓铟锡液态金属合金注入至沟道内，并进行封口处理；

形成具有液态金属插指电极的插指电容。

第四实施例

目标：制备一种微流控检测芯片及其柔性衬底，柔性电子器件的制备装置的图形编辑设备提供的光源图形如图1(c)所示。

制备流程：在黄光间内，将双酚A型环氧树脂与光固化剂Irgacure 250按照94:6～98:2的质量百分比(优选为96:4)混合，混合溶液放置在培养皿内(培养皿内溶液高度为800微米)，并将培养皿放置在光照平台上；

以UVA紫外灯作为光源(光源覆盖365nm的光固化波长，紫外灯功率为10W)，对光源进行编辑，形成的光源图形包含图1(c)所示的图形。

利用光源从底部单面照射混合溶液，光照时长为30秒；

30秒后关闭光源，得到具有图1(c)所示形状的柔性衬底；

将固化的柔性衬底由培养皿中取出；

通过注射器在柔性衬底的表面凹陷部位注入载有肝癌细胞抗体的金纳米颗粒，并使其附着在沟道内；

形成具有肝癌细胞筛选功能的柔性微流控芯片。

综上所述，本实用新型的柔性电子器件的制备方法具有下述优点的至少其中之一：

1.本实用新型的柔性电子器件的制备装置采用光照固化的方式形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底，并在形成的柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内注入功能材料，得到所需的柔性电子器件，其制备的柔性衬底一次成型，加工方便，密封性好。

2.本实用新型的柔性电子器件的制备装置通过光源的图形化实现柔性衬底表面凹凸部位或内部沟道的图形化，加工方式灵活，无需成型模具即可形成具有不同结构的柔性衬底，尤其适用于加工具有复杂结构的柔性衬底。

3.本实用新型柔性电子器件的制备装置通过光源设备提供的光照强度变化、光照波长和光照时长的变化，控制混合溶液的固化速度和固化深度，从而控制形成的沟道的截面形状。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (12)

1.一种柔性电子器件的制备装置，其特征在于：其包括：

图形编辑设备，用于根据所要制备的柔性电子器件的功能结构进行图形编辑，将柔性电子器件功能结构的三维形貌转换成对应的光源图形；

光源设备，与图形编辑设备信号连接，用于提供照射光线并根据图形编辑设备提供的光源图形进行图形化的投影；

光源控制设备，与光源设备以及图形编辑设备信号连接，用于根据图形编辑设备提供的光源图形对光源设备进行控制，使所述光源设备能够以预设的光照强度、光照波长和光照时长照射并固化预聚物和光固化剂的混合溶液，使所述混合溶液固化后形成具有表面凹凸部位或内部沟道的柔性衬底，

其中，所述表面凹凸部位或内部沟道的形状与所要制备的柔性电子器件的功能结构的形状相对应。

2.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备包括阵列光源，所述光源控制设备根据光源所要呈现的光源图形控制点亮对应位置的光源形成所需的光源图形。

3.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备提供单面光源。

4.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备提供相对设置的双面光源。

5.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备提供的光照波长根据光固化剂的种类确定。

6.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备提供的光照强度根据柔性电子器件功能结构的三维形貌确定。

7.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备提供的光照时长根据预聚物所需的固化时间确定。

8.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，还包括材料填充设备，所述材料填充设备用于在所述柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内填充与所述柔性电子器件的功能对应的功能材料，或者清除所述柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内未固化的混合溶液。

9.如权利要求8所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述材料填充设备为注射器，用于在所述柔性衬底的表面凹凸部位或内部沟道内填充功能材料。

10.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备还包括光线平行透镜，所述光线平行透镜沿光线行进方向设于所述光源的前方，用于将传来的光线转换成平行光线，所述平行光线垂直于所述混合溶液的液面。

11.如权利要求10所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，所述光源设备还包括图案放大透镜，所述图案放大透镜设于所述光源与所述光线平行透镜之间，用于放大所述光源照射出的图案。

12.如权利要求1所述的柔性电子器件的制备装置，其特征在于，还包括光照平台，所述光源设备设于所述光照平台上。