CN209731879U - 一种腔体冷却液自动回收装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种腔体冷却液自动回收装置，包括：一回水管路，回水管路为三段式管路，分别由回水管一段、回水管二段、回水管三段组成，回水管一段与上段腔体连接，回水管三段与冷却装置连接，回水管二段的两端分别与回水管一段和回水管三段连接；一抽水泵，抽水泵通过管道分别与回水管一段和回水管三段连接。本实用新型的技术方案有益效果在于：通过改进回水管路，将上段腔体和冷却装置之间的回水管路采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵，连接于回水管一段和回水管三段之间，每次维护腔体之前，利用抽水泵将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置内，以免造成冷却液不必要的浪费。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备稳定控制器领域，尤其涉及一种腔体冷却液自动回收装置。
背景技术
在半导体设备温度控制器领域中，如图1所示，腔体部件需要使用冷却装置2进行控温，现有技术中，上段腔体1与冷却装置2之间通过一组进水管3和一组回水管4进行冷却液的交换，进水管3上设有进水阀30，当上段腔体1运行时，打开进水阀30让冷却装置2中的冷却液进入上段腔体1内，对上段腔体1进行冷却，进水管3和回水管4均采用快速接头与上段腔体1连接，每次维护腔体前都需要关闭进水管3和回水管4隔离上段腔体。由于上段腔体1内部构造原因，每次隔离上段腔体1后还有大量冷却液残留在上段腔体1内，无法回收至冷却装置2内，造成这部分冷却液不必要的浪费。
发明内容
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种腔体冷却液自动回收设计。
具体技术方案如下：
一种腔体冷却液自动回收装置，其中包括：
一回水管路，所述回水管路为三段式管路，分别由回水管一段、回水管二段、回水管三段组成，所述回水管一段与上段腔体连接，所述回水管三段与冷却装置连接，所述回水管二段的两端分别与所述回水管一段和所述回水管三段连接；
一抽水泵，所述抽水泵通过管道分别与所述回水管一段和所述回水管三段连接。
优选的，所述上段腔体与所述冷却装置之间连接有一进水管路，用于将所述冷却装置中的冷却液输送给所述上段腔体。
优选的，所述的冷却液为氟化离子冷却液ht-200。
优选的，所述进水管路上安装有一进水阀。
优选的，所述回水管二段采用快速接头与所述回水管一段和所述回水管三段连接。
优选的，所述回水管二段为可拆卸式。
优选的，所述抽水泵采用排量2L-4L、功率200W左右、最大流量达到1m3/h的水泵。
优选的，所述回水管路采用PVC管，外层包有保温棉和塑料保护层。
本实用新型的技术方案有益效果在于：通过改进回水管路，将上段腔体和冷却装置之间的回水管路采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵，连接于回水管一段和回水管三段之间，每次维护腔体之前，利用抽水泵将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置内，以免造成冷却液不必要的浪费。
附图说明
图1为现有技术中腔体冷却液回收装置结构图；
图2为本实用新型实施例的腔体冷却液自动回收装置结构图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
本实用新型包括一种腔体冷却液自动回收装置，如图2所示，其中包括：
一回水管路，回水管路为三段式管路，分别由回水管一段41、回水管二段42、回水管三段43组成，回水管一段41与上段腔体1连接，回水管三段与冷却装置2连接，回水管二段42的两端分别与回水管一段41和回水管三段43连接；
一抽水泵5，抽水泵5通过管道分别与回水管一段41和回水管三段43连接。
通过上述腔体冷却液自动回收装置的技术方案，如图2所示，上段腔体1和冷却装置2之间接有一回水管路4，回水管路4分为三段，由回水管一段41、回水管二段42和回水管三段43组成，回水管一段41与上段腔体1连接，回水管三段43与冷却装置2连接，回水管二段42的两端分别与回水管一段41和回水管三段43连接；回水管一段41和回水管三段43之间设有一抽水泵5，在维护上段腔体1前，可以用抽水泵5将残留在上段腔体1内的冷却液抽到冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费。
进一步地，通过重新设计回收管路，将上段腔体1和冷却装置2之间的回水管路4采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵5，接在回水管一段41和回水管三段43之间，每次维护上段腔体1之前，可以利用抽水泵5将残留在上段腔体1内的冷却液回收至冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费。
在一种较优的实施例中，上段腔体1与冷却装置2之间连接有一进水管路3，用于将冷却装置2中的冷却液输送给上段腔体1。
具体地，如图2所示，上段腔体1与冷却装置2之间连接有一进水管路3，用于将冷却装置2中的冷却液输送给上段腔体1，该进水管路的两端各采用一快速接头分别与上段腔体1和冷却装置2连接。
进一步地，通过重新设计回收管路，将上段腔体1和冷却装置2之间的回水管路4采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵5，接在回水管一段41和回水管三段43之间，每次维护上段腔体1之前，可以利用抽水泵5将残留在上段腔体1内的冷却液回收至冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费。
在一种较优的实施例中，冷却液为氟化离子冷却液ht-200。
具体地，如图2所示，上段腔体1和冷却装置2连接在一起，上段腔体1利用冷却装置2中的冷却液进行控温，该冷却液采用的是氟化离子冷却液ht-200。
进一步地，通过重新设计回收管路，将上段腔体1和冷却装置2之间的回水管路4采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵5，接在回水管一段41和回水管三段43之间，每次维护上段腔体1之前，可以利用抽水泵5将残留在上段腔体1内的冷却液回收至冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费。
在一种较优的实施例中，进水管路3上安装有一进水阀30。
具体地，如图2所示，上段腔体1与冷却装置2之间连接有一进水管路3，用于将冷却装置2中的冷却液输送给上段腔体1，该进水管路3的两端各采用一快速接头分别与上段腔体1和冷却装置2连接；该进水管路3上安装有一进水阀30，用于控制冷却液进入上段腔体1，对上段腔体1进行维护前，应先将进水管路3上的进水阀关闭，然后利用抽水泵5将上段腔体1内的冷却液抽至冷却装置2内。
进一步地，通过重新设计回收管路，将上段腔体1和冷却装置2之间的回水管路4采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵5，接在回水管一段1和回水管三段3之间，每次维护上段腔体1之前，可以利用抽水泵5将残留在上段腔体1内的冷却液回收至冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费。
在一种较优的实施例中，回水管二段42采用快速接头与回水管一段41和回水管三段43连接。
具体地，快速接头具有如下优点：安装简单、节省时间和人力；快速接头可通过螺纹连接与阀门配套使用，当快速接头折断和连接时，通过阀门调节关闭油不会洒漏，比较环保；方便拆卸，便于工作人员维护保养设备。
具体地，如图2所示，上段腔体1和冷却装置2之间接有一回水管路4，回水管路4分为三段，由回水管一段41、回水管二段42和回水管三段43组成，回水管一段41与上段腔体1连接，回水管三段43与冷却装置2连接，回水管二段42的两端分别与回水管一段41和回水管三段43连接，为了回水管二段42方便拆卸，回水管二段42采用快速接头与回水管一段41和回水管三段43连接，操作人员在给上段腔体1检修维护时可以将回水管二段42拆卸，以便于腾出空间给操作人员进行检修维护工作。
进一步地，通过重新设计回水管路4，将上段腔体1和冷却装置2之间的回水管路4采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵5，接在回水管一段41和回水管三段43之间，每次维护上段腔体1之前，可以利用抽水泵5将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置内，以免造成冷却液不必要的浪费。
在一种较优的实施例中，回水管二段42可以拆卸。
具体地，如图2所示，上段腔体1和冷却装置2之间接有一回水管路4，回水管路4分为三段，由回水管一段41、回水管二段42和回水管三段43组成，回水管一段41与上段腔体1连接，回水管三段43与冷却装置2连接，回水管二段42的两端分别与回水管一段41和回水管三段43连接，为了回水管二段42方便拆卸，回水管二段42采用快速接头与回水管一段41和回水管三段43连接，操作人员在给上段腔体1检修维护时可以将回水管二段42拆卸，以便于腾出空间给操作人员进行检修维护工作。
进一步地，通过重新设计回收管路，将上段腔体1和冷却装置2之间的回水管路4采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵5，接在回水管一段41和回水管三段43之间，每次维护上段腔体1之前，可以利用抽水泵5将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费。
在一种较优的实施例中，抽水泵5采用排量2L-4L、功率200W左右、最大流量达到1m3/h的水泵。
具体地，如图2所示，回水管一段41和回水管三段43之间设有一抽水泵5，在维护上段腔体1前，可以用抽水泵5将残留在上段腔体1内的冷却液抽到冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费；该抽水泵5可采用排量2L-4L、功率200W左右、最大流量达到1m3/h的水泵。
进一步地，通过重新设计回水管路4，将上段腔体1和冷却装置2之间的回水管路4采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵5，接在回水管一段41和回水管三段43之间，每次维护上段腔体1之前，可以利用抽水泵5将残留在上段腔体1内的冷却液回收至冷却装置2内，以免造成冷却液不必要的浪费。
在一种较优的实施例中，回水管路4采用PVC管，外层包有保温棉和塑料保护层。
具体地，如图2所示，上段腔体1和冷却装置2之间接有一回水管路4，回水管路4分为三段，由回水管一段41、回水管二段42和回水管三段43组成，回水管一段41与上段腔体1连接，回水管三段43与冷却装置2连接，回水管路4采用PVC管，PVC管主要成份为聚氯乙烯，加入其他成分来增强其耐热性、韧性、延展性的一种材料，PVC管外层包有保温棉和塑料保护层。
本实用新型的技术方案有益效果在于：通过改进回水管路，将上段腔体和冷却装置之间的回水管路采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵，连接于回水管一段和回水管三段之间，每次维护腔体之前，利用抽水泵将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置内，以免造成冷却液不必要的浪费。
以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (9)
1.一种腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，包括：
一回水管路，所述回水管路包括回水管一段、回水管二段、回水管三段；所述回水管一段与一上段腔体连接；所述回水管三段与一冷却装置连接；所述回水管二段连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间；
一抽水泵，所述抽水泵连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间。
2.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述上段腔体与所述冷却装置通过一进水管路连接。
3.根据权利要求2所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述进水管路将冷却装置内的冷却液输送给所述上段腔体。
4.根据权利要求3所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述冷却液为氟化离子冷却液。
5.根据权利要求3所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述进水管路上设有一进水阀。
6.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述回水管二段通过两个快速接头连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间。
7.根据权利要求6所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述回水管二段为可拆卸式。
8.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述抽水泵采用排量2L-4L、功率200W、最大流量达到1m3/h的水泵。
9.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述回水管路采用PVC管，外层包有保温棉和塑料保护层。
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