CN209729865U - 一种真空腔体结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空腔体结构，其包括腔体侧壁和腔门结构，腔体侧壁围成的进出口边缘设有密封圈，腔门结构包括固定在进出口外侧的滑轨、滑动安装在滑轨上的安装架、安装在安装架中部的竖向旋转轴、安装在安装架内部并与竖向旋转轴连接的腔门、驱动竖向旋转轴旋转的驱动机构A以及驱动安装架滑动的驱动机构B，滑轨与进出口所在平面垂直，安装架与进出口所在平面平行，腔门的形状与进出口相匹配，腔门两侧分别固定有料架托盘，腔门在驱动机构A驱动作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转。本实用新型通过设置旋转真空腔门即可调换其两侧料架托盘的位置，进而实现快速更换进出材料的目的。

Description

一种真空腔体结构

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，尤其涉及一种真空腔体结构。

背景技术

等离子处理设备中必不可少的一部分是真空腔体，真空腔门一侧铰接在真空腔体的侧壁上，在更换进出材料时，打开真空腔门，一般是先将真空腔室内的材料取出后，再将待处理的材料放入真空腔室内，整个生产过程的效率低下，不能满足日益需求的生产要求。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种真空腔体结构，该真空腔体的真空腔门设计成旋转结构，在真空腔门的两侧均设置料架托盘，通过旋转真空腔门即可调换料架托盘的位置，进而实现快速更换进出材料的目的。

本实用新型的上述目的可采用下列技术方案来实现：本实用新型提供一种真空腔体结构，其包括腔体侧壁和腔门结构，腔体侧壁围成的进出口边缘设有密封圈，腔门结构包括固定在进出口外侧的滑轨、滑动安装在滑轨上的安装架、安装在安装架中部的竖向旋转轴、安装在安装架内部并与竖向旋转轴连接的腔门、驱动竖向旋转轴旋转的驱动机构A以及驱动安装架滑动的驱动机构B，滑轨与进出口所在平面垂直，安装架与进出口所在平面平行，腔门的形状与进出口相匹配，腔门两侧分别固定有料架托盘，腔门在驱动机构A驱动作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转。

在上述技术方案中，驱动机构B可以驱动安装架沿着滑轨滑动，靠近或远离进出口，驱动机构A驱动竖向旋转轴旋转，进而带动腔门旋转，当腔门旋转一定角度后，腔门两侧料架托盘的的位置进行了调换，从而快速实现更换进出材料的目的；进出口边缘设置的密封圈可以保证腔门滑动到进出口后与进出口保持密封，从而保持真空腔体的真空环境。

作为本实用新型的一个优选实施方式，进一步地，安装架为矩形框架结构，安装架内部空间在水平方向的长度及导轨的长度均不小于腔门的宽度及两个料架托盘最外侧间的距离，保证腔门可以顺利地在安装架内翻转，并且保证安装架在滑动过程中的稳定性。

作为本实用新型的一个优选实施方式，进一步地，腔门两侧均固定有L型支架，料架托盘底部转动连接在L型支架端部,料架托盘由底部的驱动机构C驱动，通过旋转料架托盘，即可快速将其内部的物料倒出，提高生产效率；料架托盘包括2-10层的托盘平台以及固定连接托盘平台的背板，多层托盘平台可以提高料架托盘整体的装载量，并且使物料充分与真空腔室内的离子等物质接触。

作为本实用新型的一个优选实施方式，进一步地，为了保证安装架滑动过程中的稳定性，安装架为矩形框架结构，其至少一侧设有肋板，肋板底部设有与安装架底部固定连接的水平支撑板，水平支撑板底部设置滑块，滑块滑动安装在滑轨上。

作为本实用新型的一个优选实施方式，进一步地，驱动机构A为旋转电机，水平安装在安装架顶部，竖向旋转轴通过旋转轴承穿装在安装架顶部，竖向旋转轴上端穿出安装架顶部与旋转电机的输出轴通过锥形齿轮连接。

更进一步地，安装架顶部设有固定架，固定架为开口朝下的U型结构，其上开设有供竖向旋转轴上端穿出的通孔，驱动机构A安装在固定架上方。

再进一步地，固定架上方设有罩盖，用于覆盖锥形齿轮，罩盖一侧开设用于穿装驱动机构A输出轴的通孔，罩盖可以有效防止外部杂物对锥形齿轮造成干扰而引起的故障。

作为本实用新型的一个优选实施方式，进一步地，驱动机构B安装在腔体侧壁顶部或底部，驱动机构B为气缸，气缸的气缸轴与安装架顶端或底端连接。

作为本实用新型的一个优选实施方式，进一步地，所述真空腔体结构的底部设有输送带，方便经真空腔体处理的物料输出。

作为本实用新型的一个优选实施方式，进一步地，腔门上设有观察窗，便于操作者观察真空腔体内的情况。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为腔门一侧料架托盘翻转时的结构示意图。

图中，1、腔体侧壁；11、进出口；12、密封圈；2、腔门结构；21、滑轨；22、安装架；221、肋板；222、水平支撑板；223、滑块；224、固定架；225、罩盖；231、竖向旋转轴；232、旋转轴承；24、腔门；241、观察窗；25、驱动机构A；26、驱动机构B；27、L型支架；28、驱动机构C；3、料架托盘；31、托盘平台；32、背板；4、输送带；5、接料装置；6、驱动机构D。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

本实用新型提供的真空腔体结构，如图1-3所示，包括腔体侧壁1和腔门结构2，腔体侧壁围成的进出口11边缘设有密封圈12，腔门结构2包括固定在进出口11外侧的滑轨21、滑动安装在滑轨21上的安装架22、安装在安装架中部的竖向旋转轴231、安装在安装架22内部并与竖向旋转轴231连接的腔门24、驱动竖向旋转轴231旋转的驱动机构A25以及驱动安装架22滑动的驱动机构B26，滑轨21与进出口11所在平面垂直，安装架22与进出口11所在平面平行，腔门24的形状与进出口11相匹配，腔门24两侧分别固定有料架托盘3，优选地，安装架22内部空间在水平方向的长度及导轨21的长度均不小于腔门24的宽度及两个料架托盘3最外侧间的距离，从而可以保证腔门可以在安装架内沿着竖向旋转轴360°旋转，使2个料架托盘的位置实现调换。

为了便于料架托盘卸料，优选地，料架托盘3设置成可翻转形式，具体地，腔门24两侧均固定有L型支架27，如图3所示，料架托盘3端部通过旋转轴转动连接在L型支架端部，料架托盘的底部设有驱动机构C28，如图2所示，用于向上推动料架托盘3，使料架托盘绕着L型支架端部向外翻转，从而向外倾倒出物料，驱动机构C还可以起到支撑作用；L型支架可以是平行分布的两个或两个以上。

为了提高料架托盘的运载能力，料架托盘3包括多层托盘平台31以及固定连接托盘平台的背板32，托盘平台31可以选择2-10层，例如3、4、5、6层等，优选地，为了保证料架托盘3处于水平状态时的稳定性，背板32可以靠近腔门，借助腔门的力量保持稳定。

优选地，安装架的至少一侧设有肋板221，从而保证安装架滑动过程中的稳定性，肋板底部设有与安装架底部水平固定连接的水平支撑板222，水平支撑板底部设置滑块223，滑块滑动安装在滑轨上。

优选地，驱动机构A为旋转电机，水平安装在安装架顶部，竖向旋转轴231通过旋转轴承232穿装在安装架顶部，竖向旋转轴231上端穿出安装架顶部与旋转电机的输出轴通过锥形齿轮连接；安装架顶部设有固定架224，固定架为开口朝下的U型结构，其上开设有供竖向旋转轴上端穿出的通孔，驱动机构A安装在固定架上方。固定架上方设有罩盖225，用于覆盖锥形齿轮，防止外部杂物对锥形齿轮造成干扰引起故障，罩盖一侧开设用于穿装驱动机构A输出轴的通孔。

优选地，驱动机构B安装在腔体侧壁顶部或底部，具体地，驱动机构B为气缸，气缸的气缸轴与安装架顶端或底端连接，便于驱动安装架滑动。

为了便于经真空腔体处理后的物料输出，所述真空腔体结构的底部设有输送带4。为了节省整套设备在水平方向的占用空间，充分利用竖直空间，输送带可以倾斜设置，具体地，输送带在真空腔体进出口方向倾斜向下设置，为了防止物料在下落过程中由于高度差造成损伤，并防止物料下落过程中溅出，优选地，在腔体本体进出口下方设置一个与输送带交叉设置的接料装置5，接料装置5的进口与料架托盘3相对应，出口位于输送带上方，具体地，接料装置的进口可位于固定位置，料架托盘达到与其进口相对应的位置处时，翻转倾倒物料；进一步优选地，接料装置为弧形结构，可以减缓物料的下落速度；优选地，接料装置为由若干块U型板活动拼接而成的可伸缩结构，其开口斜向上，其下方设有驱动机构D6，具体地，驱动机构D为气缸，当料架托盘需要倾倒物料时，驱动接料装置向上伸展靠近料架托盘，使物料沿着接料装置落入输送带中，降低物料下落过程中的碰撞程度并防止从输送带溅出。

为了便于操作员观察真空腔体内的情况，腔门上开设有观察窗241。

在具体使用时，将待处理的物料放置在内侧的料架托盘中，通过驱动机构B驱动安装架沿着滑轨滑动，靠近进出口，使进出口与腔门形成密封环境，当真空腔体内的物料已处理完毕，需要处理新的物料时，通过驱动机构B驱动安装架沿着滑轨滑动，远离进出口，将新物料放置在腔门外侧的料架托盘中，通过驱动机构A驱动竖向旋转轴旋转，当腔门旋转180°时，腔门两侧料架托盘的的位置进行了调换，即可快速实现更换进出材料的目的；启动驱动机构C，向上推动料架托盘，使其上的物料掉落至下方的输送带上，最后运出；以上过程重复操作。

以上所述实施方式仅表达了本实用新型的多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种真空腔体结构，其特征在于，包括腔体侧壁(1)和腔门结构(2)，腔体侧壁围成的进出口(11)边缘设有密封圈(12)，腔门结构包括固定在进出口(11)外侧的滑轨(21)、滑动安装在滑轨上的安装架(22)、安装在安装架中部的竖向旋转轴(231)、安装在安装架内部并与竖向旋转轴连接的腔门(24)、驱动竖向旋转轴旋转的驱动机构A(25)以及驱动安装架滑动的驱动机构B(26)，滑轨与进出口所在平面垂直，安装架与进出口所在平面平行，腔门的形状与进出口相匹配，腔门两侧分别固定有料架托盘(3)，腔门在驱动机构A驱动作用下绕着竖向旋转轴在安装架内部旋转。

2.根据权利要求1所述的真空腔体结构，其特征在于，安装架为矩形框架结构，安装架内部空间在水平方向的长度及导轨的长度均不小于腔门的宽度及两个料架托盘最外侧间的距离。

3.根据权利要求1所述的真空腔体结构，其特征在于，腔门两侧均固定有L型支架(27)，料架托盘底部转动连接在L型支架端部，料架托盘由底部的驱动机构C(28)驱动；料架托盘包括2-10层的托盘平台(31)以及固定连接托盘平台的背板(32)。

4.根据权利要求1所述的真空腔体结构，其特征在于，安装架为矩形框架结构，其至少一侧设有肋板(221)，肋板底部设有与安装架底部固定连接的水平支撑板(222)，水平支撑板底部设置滑块(223)，滑块滑动安装在滑轨上。

5.根据权利要求1所述的真空腔体结构，其特征在于，驱动机构A为旋转电机，水平安装在安装架顶部，竖向旋转轴通过旋转轴承(232)穿装在安装架顶部，竖向旋转轴上端穿出安装架顶部与旋转电机的输出轴通过锥形齿轮连接。

6.根据权利要求5所述的真空腔体结构，其特征在于，安装架顶部设有固定架(224)，固定架为开口朝下的U型结构，其上开设有供竖向旋转轴上端穿出的通孔，驱动机构A安装在固定架上方。

7.根据权利要求6所述的真空腔体结构，其特征在于，固定架上方设有罩盖(225)，用于覆盖锥形齿轮，罩盖一侧开设用于穿装驱动机构A输出轴的通孔。

8.根据权利要求1所述的真空腔体结构，其特征在于，驱动机构B安装在腔体侧壁顶部或底部，驱动机构B为气缸，气缸的气缸轴与安装架顶端或底端连接。

9.根据权利要求1所述的真空腔体结构，其特征在于，所述真空腔体结构的底部设有输送带(4)。

10.根据权利要求1所述的真空腔体结构，其特征在于，腔门上开设有观察窗(241)。