CN209715984U - 一种多孔坩埚清理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多孔坩埚清理装置，包括工作台、电机和通孔棒，工作台底部四角处连接有竖直向下的支腿，工作台中部开设有圆形孔，电机固定在工作台底部，电机的输出轴伸入圆形孔内，输出轴顶端与通孔棒可拆卸连接，通孔棒竖直向上伸出圆形孔。与现有技术相比，本实用新型结构简单，成本低，清理效果好，效率高，且可根据坩埚上的孔的大小来选择适合型号的通孔棒，适用于多种多孔坩埚。

Description

一种多孔坩埚清理装置

技术领域

本实用新型涉及坩埚清理设备，具体涉及一种多孔坩埚清理装置。

背景技术

多孔坩埚采用石墨材质制成，底部或表面开设有多个孔，多孔坩埚(多孔的石墨坩埚)可以配合高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅晶体；物理气相沉积法生长碳化硅晶体过程中，装有碳化硅原料的坩埚被加热后，碳化硅原料在高温下升华，并在坩埚内沉积。在多孔坩埚使用完后，孔内壁上往往会粘结有晶体很难去除，现有技术通过人工进行清理，劳动强度大，费时费力，效率极低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的问题，提供一种多孔坩埚清理装置，其结构简单，成本低，清理效果好，效率高，且可根据坩埚上的孔的大小来选择适合型号的通孔棒，适用于多种多孔坩埚。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：

一种多孔坩埚清理装置，包括工作台、电机和通孔棒，所述工作台底部四角处连接有竖直向下的支腿，所述工作台中部开设有圆形孔，所述电机固定在工作台底部，所述电机的输出轴伸入圆形孔内，所述输出轴顶端与通孔棒可拆卸连接，所述通孔棒竖直向上伸出圆形孔。将需要清理的孔套在通孔棒上，通过电机带动通孔棒转动，使通孔棒与孔内壁的晶体接触，从而将其去除。

进一步的，所述输出轴顶端设置有螺纹孔，所述通孔棒底端设置有圆柱状突起，所述突起上设有与螺纹孔相适配的外螺纹。可根据不同型号的孔选择对应直径的通孔棒，适用于多种型号的多孔坩埚。

进一步的，所述圆形孔两侧各径向设置有一个滑槽，且滑槽上滑动连接有夹块，所述夹块靠近圆形孔的端面呈弧形面，所述夹块前后侧面底部均水平固定有固定片，所述工作台上设置有两排螺栓孔，且螺栓孔位于滑槽的前后两侧，所述固定片与螺栓孔间通过螺栓连接。通过夹块对多孔坩埚进行固定，进一步降低人工劳动成本。

进一步的，所述通孔棒采用金刚砂制成，且其表面呈颗粒状。保证通孔棒的耐磨性，表面成颗粒状增加摩擦力，增高清理效率。

本实用新型还包括能够使该装置正常使用的其它组件，均属于本领域的常规选择。另外，本实用新型中未加限定的装置或组件均采用本领域中的常规手段。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，成本低，清理效果好，效率高，且可根据坩埚上的孔的大小来选择适合型号的通孔棒，适用于多种多孔坩埚。

附图说明

图1为本实用新型的正面剖视结构示意图；

图2为图1中A处放大图；

图3为本实用新型的俯面结构示意图；

图中：1工作台，2电机，3通孔棒，4支腿，5圆形孔，6输出轴，7突起，8 滑槽，9夹块，10固定片，11螺栓孔，12螺栓。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图3所示的一种多孔坩埚清理装置，包括工作台1、电机2和通孔棒3，工作台1底部四角处连接有竖直向下的支腿4，工作台1中部开设有圆形孔5，电机2固定在工作台1底部，电机2的输出轴6伸入圆形孔5内，输出轴6顶端与通孔棒3可拆卸连接，通孔棒3竖直向上伸出圆形孔5。将坩埚上需要清理的孔套在通孔棒3上，通过电机2带动通孔棒3转动，使通孔棒3与坩埚孔内壁的晶体接触，从而将其去除。

输出轴6顶端设置有螺纹孔，通孔棒3底端设置有圆柱状突起7，突起7上设有与螺纹孔相适配的外螺纹。可根据坩埚孔的大小选择对应直径的通孔棒3，适用于多种型号的多孔坩埚。

圆形孔5两侧各径向设置有一个滑槽8，且滑槽8上滑动连接有夹块9，夹块9 靠近圆形孔5的端面呈弧形面，夹块9前后侧面底部均水平固定有固定片10，工作台上设置有两排螺栓孔11，且螺栓孔11位于滑槽8的前后两侧，固定片10与螺栓孔11间通过螺栓12连接。通过夹块9对多孔坩埚进行固定，进一步降低人工劳动成本。

通孔棒3采用金刚砂制成，且其表面呈颗粒状。保证通孔棒3的耐磨性，表面成颗粒状增加摩擦力，增高清理效率。

在使用时，首先根据坩埚上孔的大小选取对应直径的通孔棒3，将通孔棒3 底端的突起7与输出轴6顶端螺纹孔螺纹连接起来，将坩埚上需要清理的孔套在通孔棒3上，取下固定片10上的螺栓12，移动夹块9使其夹住多孔坩埚，将螺栓 12拧上使坩埚固定，打开电机2，电机2带动通孔棒3转动，通孔棒3表面与坩埚上的孔内壁接触，起到清理作用。

本实用新型的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本实用新型的技术方案做出的技术变形，均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种多孔坩埚清理装置，其特征在于，包括工作台、电机和通孔棒，所述工作台底部四角处连接有竖直向下的支腿，所述工作台中部开设有圆形孔，所述电机固定在工作台底部，所述电机的输出轴伸入圆形孔内，所述输出轴顶端与通孔棒可拆卸连接，所述通孔棒竖直向上伸出圆形孔。

2.根据权利要求1所述的一种多孔坩埚清理装置，其特征在于，所述输出轴顶端设置有螺纹孔，所述通孔棒底端设置有圆柱状突起，所述突起上设有与螺纹孔相适配的外螺纹。

3.根据权利要求1所述的一种多孔坩埚清理装置，其特征在于，所述圆形孔两侧各径向设置有一个滑槽，且滑槽上滑动连接有夹块，所述夹块靠近圆形孔的端面呈弧形面，所述夹块前后侧面底部均水平固定有固定片，所述工作台上设置有两排螺栓孔，且螺栓孔位于滑槽的前后两侧，所述固定片与螺栓孔间通过螺栓连接。

4.根据权利要求1所述的一种多孔坩埚清理装置，其特征在于，所述通孔棒采用金刚砂制成，且其表面呈颗粒状。