CN209698277U - 一种芯片高效切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及芯片切割技术领域，尤其为一种芯片高效切割装置，包括底座，所述底座上固定连接有侧挡板，所述侧挡板上开设有第一滑槽，所述第一滑槽内部连接有滑板，所述滑板远离地面一侧开设有第一凹槽，所述第一滑槽内部且远离底座一侧开设有第一方槽，所述第一方槽内连接有隔板，所述隔板远离滑板一侧固定连接有固定杆，所述第一滑槽内靠近地面一侧且固定杆位置处对应开设有第二凹槽，所述侧挡板远离底座一侧连接有横板。本实用新型中，通过设置第一滑槽，滑板，第一凹槽，隔板，固定杆，不需要使用螺栓固定，减少了工作量，提高了工作效率，解决了目前切割机使用螺栓固定，工序过多，工作效率低的问题。

Description

一种芯片高效切割装置

技术领域

本实用新型涉及芯片切割技术领域，具体为一种芯片高效切割装置。

背景技术

在一个半导体晶圆上，通常有几百个至数千个芯片连在一起，它们之间一般留有间隙，此间隙被称之为切割道。将每一个具有独立电气性能的半导体芯片分隔或分离出来的过程叫做切割，在芯片制做过程中，切割是一个非常重要的环节，目前切割工艺有两种:锯片切割和激光切割。

目前市面上的切割方法以锯片切割为主，其需要将芯片固定在固定板上，再将固定板的长形孔对准工作台上的螺孔，依序将数个螺栓螺入固定，但在数个螺栓尚未完全螺入固定前，固定板会有偏移滑动现象，需经数次的对位方能将全部的螺栓螺入使固定板固定于本体上，使用上极为不便，芯片切割效率低下，因此需要一种高效的芯片切割装置来改善这一问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片高效切割装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种芯片高效切割装置，包括底座，所述底座上固定连接有侧挡板，所述侧挡板上开设有第一滑槽，所述第一滑槽内部连接有滑板，所述滑板远离地面一侧开设有第一凹槽，所述第一滑槽内部且远离底座一侧开设有第一方槽，所述第一方槽内连接有隔板，所述隔板远离滑板一侧固定连接有固定杆，所述第一滑槽内靠近地面一侧且固定杆位置处对应开设有第二凹槽，所述侧挡板远离底座一侧连接有横板，所述横板远离侧挡板一侧活动连接有滴电机固定架，所述第一电机固定架靠近横板的一侧固定连接有滑块，所述横板靠近第一电机固定架一侧且滑块位置处对应开设有第二滑槽，所述第一电机固定架内固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴上固定连接有第一齿轮，所述横板上且第一电机输出轴位置处对应开设有通槽，所述通槽内且第一齿轮位置处开设有第一齿槽，所述第一电机输出轴靠近底座的一端且位于通槽外活动连接有轴承，所述轴承上固定连接有固定块，所述固定块远离轴承一侧固定连接有激光切割器，所述横板靠近底座一侧且位于通槽两侧开设有圆槽，所述横板两侧且圆槽位置处对应固定连接有第二电机固定架，所述第二电机固定架内固定连接有第二电机且第二电机输出轴贯穿横板并延伸至圆槽内，所述第二电机输出轴上且位于圆槽内固定连接有第二齿轮，所述圆槽内且位于第二齿轮下方固定连接有横杆，所述横杆上转动连接有第三齿轮，所述第二齿轮与第三齿轮啮合，所述侧挡板靠近横板一侧且第三齿轮位置处对应开设有第二方槽，所述第二方槽内开设有第二齿槽。

优选的，所述第一电机和第二电机的型号均为RK-510。

优选的，所述激光切割器的型号为GJT0168。

优选的，所述第一凹槽内固定连接有一层具有一定粘性的蓝膜。

优选的，所述第一滑槽与滑板和第一方槽与隔板以及第一方槽与固定杆的连接方式均为滑动连接。

优选的，所述第一齿轮与第一齿槽和第二齿轮与第三齿轮以及第三齿轮与第二齿槽均啮合。

优选的，所述侧挡板的数量为二个且二个侧挡板以底座的中心线成轴对称分布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置第一滑槽，滑板，第一凹槽，隔板，固定杆，将需要切割的芯片放置在第一凹槽内，第一凹槽内的具有粘性的蓝膜将芯片黏在第一凹槽内，推动滑板沿第一滑槽运动，当滑板运动到第一滑槽尽头时，推动固定杆，固定杆带动隔板沿第一方槽向下运动至第二凹槽内，从而使隔板挡住滑板，滑板不会再发生移动，不需要使用螺栓固定，减少了工作量，提高了工作效率，解决了目前切割机使用螺栓固定，工序过多，工作效率低的问题。

2、本实用新型中，通过设置横板，第一电机，第二电机，激光切割器，避免锯片切割会产生的飞片，切割痕过大的问题，提高了芯片的成品率。

附图说明

图1为本实用新型正视图；

图2为本实用新型俯视图；

图3为本实用新型第二电机处正剖图；

图4为本实用新型侧挡板处正剖图；

图5为本实用新型横板处左剖图。

图中：1-底座、2-侧挡板、3-第一滑槽、4-滑板、5-第一凹槽、6-第一方槽、7-隔板、8-固定杆、9-横板、10-第一电机固定架、11-滑块、12-第二滑槽、 13-第一电机、14-第一齿轮、15-通槽、16-第一齿槽、17-轴承、18-固定块、 19-激光切割器、20-圆槽、21-第二电机固定架、22-第二电机、23-第二齿轮、 24-横杆、25-第三齿轮、26-第二方槽、27-第二齿槽、28-第二凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：

一种芯片高效切割装置，包括底座1，底座1上固定连接有侧挡板2，侧挡板2的数量为二个且二个侧挡板2以底座1的中心线成轴对称分布，侧挡板2 上开设有第一滑槽3，第一滑槽3内部连接有滑板4，滑板4远离地面一侧开设有第一凹槽5，第一凹槽5内固定连接有一层具有一定粘性的蓝膜，第一滑槽3 内部且远离底座1一侧开设有第一方槽6，第一方槽6内连接有隔板7，隔板7 远离滑板4一侧固定连接有固定杆8，第一滑槽3与滑板4和第一方槽6与隔板 7以及第一方槽6与固定杆8的连接方式均为滑动连接，第一滑槽3内靠近地面一侧且固定杆8位置处对应开设有第二凹槽28，侧挡板2远离底座1一侧连接有横板9，横板9远离侧挡板2一侧活动连接有滴电机固定架10，第一电机固定架10靠近横板9的一侧固定连接有滑块11，横板9靠近第一电机固定架10 一侧且滑块11位置处对应开设有第二滑槽12，第一电机固定架10内固定连接有第一电机13，第一电机13输出轴上固定连接有第一齿轮14，横板9上且第一电机13输出轴位置处对应开设有通槽15，通槽15内且第一齿轮14位置处开设有第一齿槽16，第一电机13输出轴靠近底座1的一端且位于通槽15外活动连接有轴承17，轴承17上固定连接有固定块18，固定块18远离轴承17一侧固定连接有激光切割器19，激光切割器19的型号为GJT0168，横板9靠近底座 1一侧且位于通槽15两侧开设有圆槽20，横板9两侧且圆槽20位置处对应固定连接有第二电机固定架21，第二电机固定架21内固定连接有第二电机22且第二电机22输出轴贯穿横板9并延伸至圆槽20内，第一电机13和第二电机22 的型号均为RK-510，第二电机22输出轴上且位于圆槽20内固定连接有第二齿轮23，所述圆槽20内且位于第二齿轮23下方固定连接有横杆24，横杆24上转动连接有第三齿轮25，第二齿轮23与第三齿轮25啮合，侧挡板2靠近横板 9一侧且第三齿轮25位置处对应开设有第二方槽26，第二方槽26内开设有第二齿槽27，第一齿轮14与第一齿槽16和第二齿轮23与第三齿轮25以及第三齿轮25与第二齿槽27均啮合。

本实用新型工作流程：使用时，将需要切割的芯片放置在第一凹槽5内，第一凹槽5内的具有粘性的蓝膜将芯片黏在第一凹槽5内，防止芯片在凹槽内移动，推动滑板4，滑板4沿第一滑槽3移动，当滑板4移动至第一滑槽3尽头时，推动固定杆8，固定杆8带动隔板7沿第一方槽6向下移动，使隔板7移动至第二凹槽28内，隔板7阻挡滑板4，从而使滑板4无法沿滑槽移动，芯片被固定住，将第一电机13，第二电机22与电源相连接，第二电机22输出轴通过第二齿轮23带动第三齿轮25转动，使第三齿轮25沿第二齿槽27移动，从而带动横板9沿侧挡板2移动，第一电机13输出轴带动第一齿轮14沿第一齿槽 16移动，使固定块18带动激光切割器19沿通槽15移动，通过第一电机13和第二电机22使激光切割器19移动至需要切割的位置，使激光切割器19与电源相连接，激光切割器19开始切割芯片，当芯片切割完成，反向推动固定杆8，固定杆8带动隔板7沿第一方槽6反向移动，隔板7被拉起，反向拉动滑板4，滑板4沿第一滑槽3反向移动，从而使切割好的芯片离开切割装置。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种芯片高效切割装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定连接有侧挡板(2)，所述侧挡板(2)上开设有第一滑槽(3)，所述第一滑槽(3)内部连接有滑板(4)，所述滑板(4)远离地面一侧开设有第一凹槽(5)，所述第一滑槽(3)内部且远离底座(1)一侧开设有第一方槽(6)，所述第一方槽(6)内连接有隔板(7)，所述隔板(7)远离滑板(4)一侧固定连接有固定杆(8)，所述第一滑槽(3)内靠近地面一侧且固定杆(8)位置处对应开设有第二凹槽(28)，所述侧挡板(2)远离底座(1)一侧连接有横板(9)，所述横板(9)远离侧挡板(2)一侧活动连接有第一电机固定架(10)，所述第一电机固定架(10)靠近横板(9)的一侧固定连接有滑块(11)，所述横板(9)靠近第一电机固定架(10)一侧且滑块(11)位置处对应开设有第二滑槽(12)，所述第一电机固定架(10)内固定连接有第一电机(13)，所述第一电机(13)输出轴上固定连接有第一齿轮(14)，所述横板(9)上且第一电机(13)输出轴位置处对应开设有通槽(15)，所述通槽(15)内且第一齿轮(14)位置处开设有第一齿槽(16)，所述第一电机(13)输出轴靠近底座(1)的一端且位于通槽(15)外活动连接有轴承(17)，所述轴承(17)上固定连接有固定块(18)，所述固定块(18)远离轴承(17)一侧固定连接有激光切割器(19)，所述横板(9)靠近底座(1)一侧且位于通槽(15)两侧开设有圆槽(20)，所述横板(9)两侧且圆槽(20)位置处对应固定连接有第二电机固定架(21)，所述第二电机固定架(21)内固定连接有第二电机(22)且第二电机(22)输出轴贯穿横板(9)并延伸至圆槽(20)内，所述第二电机(22)输出轴上且位于圆槽(20)内固定连接有第二齿轮(23)，所述圆槽(20)内且位于第二齿轮(23)下方固定连接有横杆(24)，所述横杆(24)上转动连接有第三齿轮(25)，所述侧挡板(2)靠近横板(9)一侧且第三齿轮(25)位置处对应开设有第二方槽(26)，所述第二方槽(26)内开设有第二齿槽(27)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片高效切割装置，其特征在于：所述第一电机(13)和第二电机(22)的型号均为RK-510。

3.根据权利要求1所述的一种芯片高效切割装置，其特征在于：所述激光切割器(19)的型号为GJT0168。

4.根据权利要求1所述的一种芯片高效切割装置，其特征在于：所述第一凹槽(5)内固定连接有一层具有一定粘性的蓝膜。

5.根据权利要求1所述的一种芯片高效切割装置，其特征在于：所述第一滑槽(3)与滑板(4)和第一方槽(6)与隔板(7)以及第一方槽(6)与固定杆(8)的连接方式均为滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片高效切割装置，其特征在于：所述第一齿轮(14)与第一齿槽(16)和第二齿轮(23)与第三齿轮(25)以及第三齿轮(25)与第二齿槽(27)均啮合。

7.根据权利要求1所述的一种芯片高效切割装置，其特征在于：所述侧挡板(2)的数量为二个且二个侧挡板(2)以底座(1)的中心线成轴对称分布。