CN209697579U - 一种自动化硅片清洗换液机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，尤其为一种自动化硅片清洗换液机，包括壳体和浸泡箱，其特征在于：所述壳体的内侧固定连接有浸泡箱，所述浸泡箱的内侧固定连接有固定板，所述固定板的右侧设有冲洗箱，且冲洗箱的外侧与壳体的内侧固定连接，所述壳体的顶端左右两侧均固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底端固定连接有齿板，所述齿板的顶端啮合有齿轮，所述齿轮的前后两端均转动连接有滑动架，所述滑动架的底端固定连接有电机，所述电机的底端固定连接有气缸，本实用新型中，通过设置的电动伸缩杆、连杆和夹持板实现自动将硅片置于浸泡箱内并自动捞出，避免清洗液腐蚀从业者的手部皮肤，有利于保护工作人员的工作安全。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种自动化硅片清洗换液机。
背景技术
硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度，清洗端刀换液的工艺已经跟不上线切产能，因此，对一种自动化硅片清洗换液机的需求日益增长。
目前市场上存在的大部分硅片清洗换液机需要手动将硅片置于浸泡箱内，清洗液容易腐蚀皮肤，不利于保护工作人员的工作安全，而且传统的硅片清洗换液机对硅片冲洗需要耗费大量水资源，不利于节约用水，同时增大排污负担，不利于环境保护，因此，针对上述问题提出一种自动化硅片清洗换液机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种自动化硅片清洗换液机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种自动化硅片清洗换液机，包括壳体和浸泡箱，其特征在于：所述壳体的内侧固定连接有浸泡箱，所述浸泡箱的内侧固定连接有固定板，所述固定板的右侧设有冲洗箱，且冲洗箱的外侧与壳体的内侧固定连接，所述壳体的顶端左右两侧均固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底端固定连接有齿板，所述齿板的顶端啮合有齿轮，所述齿轮的前后两端均转动连接有滑动架，所述滑动架的底端固定连接有电机，所述电机的底端固定连接有气缸，所述气缸的底端固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的左右两端均固定连接有压板，所述压板的一端固定连接有连杆，所述连杆的外侧滑动连接有限位架，所述限位架的底端固定连接有夹持板，所述冲洗箱的内侧底端固定连接有支撑伞，所述支撑伞的内侧固定连接有水泵，所述水泵的顶端连通有喷头，所述水泵的底端连通有导管，所述导管的后端连通有过滤筒，所述过滤筒的后端连通有回流管，且回流管的左端与冲洗箱的右端内侧连通，所述过滤筒的内侧固定连接有活性炭过滤网，所述壳体的外侧顶端固定连接有控制器。
优选的，所述固定板的数量为2个，且固定板的内侧开设有条形槽。
优选的，所述电机、气缸、电动伸缩杆和水泵均与控制器电性连接，且支撑伞的外侧呈圆锥面状设置。
优选的，所述夹持板由硅胶板制成，且限位架的左端面呈“回”型设置。
优选的，所述齿板位于固定板和冲洗箱的正上方，所述电动伸缩杆的轴线与齿板的底端面互相平行。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型中，通过设置的电动伸缩杆、连杆和夹持板实现自动将硅片置于浸泡箱内并自动捞出，避免清洗液腐蚀从业者的手部皮肤，有利于保护工作人员的工作安全。
2、本实用新型中，通过设置的过滤筒、回流管和活性炭过滤网实现了对冲洗用水的自动循环过滤再利用，减少冲洗用水，有利于节约用水，同时减轻排污负担，有利于环境保护。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型齿轮的安装结构示意图。
图中：1-壳体、2-浸泡箱、3-固定板、4-冲洗箱、5-支撑杆、6-齿板、7-齿轮、8-滑动架、9-电机、10-气缸、11-电动伸缩杆、12-压板、13-连杆、14-限位架、15-夹持板、16-支撑伞、17-水泵、18-喷头、19-导管、20-过滤筒、21-回流管、22-活性炭过滤网、23-控制器、a-条形槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：
一种自动化硅片清洗换液机，包括壳体1和浸泡箱2，所述壳体1的内侧固定连接有浸泡箱2，所述浸泡箱2的内侧固定连接有固定板3，所述固定板3的右侧设有冲洗箱4，且冲洗箱4的外侧与壳体1的内侧固定连接，所述壳体1的顶端左右两侧均固定连接有支撑杆5，所述支撑杆5的底端固定连接有齿板6，所述齿板6的顶端啮合有齿轮7，所述齿轮7的前后两端均转动连接有滑动架8，所述滑动架8的底端固定连接有电机9，所述电机9的底端固定连接有气缸10，所述气缸10的底端固定连接有电动伸缩杆11，所述电动伸缩杆11的左右两端均固定连接有压板12，所述压板12的一端固定连接有连杆13，所述连杆13的外侧滑动连接有限位架14，所述限位架14的底端固定连接有夹持板15，所述冲洗箱4的内侧底端固定连接有支撑伞16，所述支撑伞16的内侧固定连接有水泵17，所述水泵17的顶端连通有喷头18，所述水泵17的底端连通有导管19，所述导管19的后端连通有过滤筒20，所述过滤筒20的后端连通有回流管21，且回流管21的左端与冲洗箱4的右端内侧连通，所述过滤筒20的内侧固定连接有活性炭过滤网22，所述壳体1的外侧顶端固定连接有控制器23。
所述固定板3的数量为2个，且固定板3的内侧开设有条形槽a，这种设置有利于对硅片限位，防止倒伏，便于捞出，所述电机9、气缸10、电动伸缩杆11和水泵17均与控制器23电性连接，且支撑伞16的外侧呈圆锥面状设置，这种设置有利于自动控制硅片浸泡与冲洗，避免水泵17进水损坏，所述夹持板15由硅胶板制成，且限位架14的左端面呈“回”型设置，这种设置有利于夹持板15稳定夹持硅片，所述齿板6位于固定板3和冲洗箱4的正上方，所述电动伸缩杆11的轴线与齿板6的底端面互相平行，这种设置有利于精确控制硅片位置，便于浸泡和冲洗。
电机9的型号为GM12-N20电机，气缸10的型号为SDA40-50气缸，电动伸缩杆11的型号为XYDHA12-50电动伸缩杆，水泵17的型号为DCS-1200水泵，控制器23的型号为AQMD2410NS控制器。
工作流程：使用前装置接通电源，浸泡箱2注入清洗液，冲洗箱4，控制器23控制气缸10充气伸长，气缸10带动电动伸缩杆11下降，硅片通过条形槽a插入固定板3内侧，位于左右两侧的压板12互相分离，带动连杆13转动伸长，限位架14带动夹持板15释放硅片，硅片落入浸泡箱2内，硅片浸泡一段时间后，电动伸缩杆11缩短，位于左右两侧的压板12互相靠近，带动连杆13转动缩短，限位架14带动夹持板15夹紧硅片，将硅片置于浸泡箱2内并自动捞出气缸10排气缩短，实现自动将硅片置于浸泡箱2内并自动捞出，避免清洗液腐蚀从业者的手部皮肤，有利于保护工作人员的工作安全，电机9带动齿轮7转动，滑动架8右移，水泵17启动，冲洗箱4内侧的水经过回流管21进入过滤筒20，通过活性炭过滤网22过滤后进入导管19，喷头18喷出高压水雾清洗硅片，水滴沿支撑伞16外侧落入冲洗箱4内，避免水泵17进水损坏，实现了对冲洗用水的自动循环过滤再利用，减少冲洗用水，有利于节约用水，同时减轻排污负担，有利于环境保护。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种自动化硅片清洗换液机，包括壳体(1)和浸泡箱(2)，其特征在于：所述壳体(1)的内侧固定连接有浸泡箱(2)，所述浸泡箱(2)的内侧固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的右侧设有冲洗箱(4)，且冲洗箱(4)的外侧与壳体(1)的内侧固定连接，所述壳体(1)的顶端左右两侧均固定连接有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)的底端固定连接有齿板(6)，所述齿板(6)的顶端啮合有齿轮(7)，所述齿轮(7)的前后两端均转动连接有滑动架(8)，所述滑动架(8)的底端固定连接有电机(9)，所述电机(9)的底端固定连接有气缸(10)，所述气缸(10)的底端固定连接有电动伸缩杆(11)，所述电动伸缩杆(11)的左右两端均固定连接有压板(12)，所述压板(12)的一端固定连接有连杆(13)，所述连杆(13)的外侧滑动连接有限位架(14)，所述限位架(14)的底端固定连接有夹持板(15)，所述冲洗箱(4)的内侧底端固定连接有支撑伞(16)，所述支撑伞(16)的内侧固定连接有水泵(17)，所述水泵(17)的顶端连通有喷头(18)，所述水泵(17)的底端连通有导管(19)，所述导管(19)的后端连通有过滤筒(20)，所述过滤筒(20)的后端连通有回流管(21)，且回流管(21)的左端与冲洗箱(4)的右端内侧连通，所述过滤筒(20)的内侧固定连接有活性炭过滤网(22)，所述壳体(1)的外侧顶端固定连接有控制器(23)。
2.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗换液机，其特征在于：所述固定板(3)的数量为2个，且固定板(3)的内侧开设有条形槽(a)。
3.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗换液机，其特征在于：所述电机(9)、气缸(10)、电动伸缩杆(11)和水泵(17)均与控制器(23)电性连接，且支撑伞(16)的外侧呈圆锥面状设置。
4.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗换液机，其特征在于：所述夹持板(15)由硅胶板制成，且限位架(14)的左端面呈“回”型设置。
5.根据权利要求1所述的一种自动化硅片清洗换液机，其特征在于：所述齿板(6)位于固定板(3)和冲洗箱(4)的正上方，所述电动伸缩杆(11)的轴线与齿板(6)的底端面互相平行。
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| CN201920168289.6U CN209697579U (zh) | 2019-01-30 | 2019-01-30 | 一种自动化硅片清洗换液机 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115346900A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-11-15 | 常州银河电器有限公司 | 一种全自动硅片腐蚀清洗开槽机 |
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2019
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| CN115346900A (zh) * | 2022-09-22 | 2022-11-15 | 常州银河电器有限公司 | 一种全自动硅片腐蚀清洗开槽机 |
| CN115346900B (zh) * | 2022-09-22 | 2024-01-23 | 常州银河电器有限公司 | 一种全自动硅片腐蚀清洗开槽机 |
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