CN209664624U - 靶材刻字工装夹具 - Google Patents

Abstract

一种靶材刻字工装夹具，包括工装台，至少一个夹紧装置及旋转机构；其中，所述旋转机构固定安装于所述工装台侧面，所述夹紧装置固定设置在所述工装台侧面。使所述旋转机构与所述夹紧装置的配合，带动所述工装台旋转，以配合激光头的朝向进行刻字工作，当将所述靶材安装在所述工装台上之后，无需人工调节方向，免去多次拆卸，减小对靶材表面的破坏，并且所述旋转机构控制所述靶材的刻字角度，既快速又准确，很大程度上提高了靶材加工中刻字工艺的效率。

Description

靶材刻字工装夹具

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，特别设计一种靶材刻字工装夹具。

背景技术

半导体加工领域中，靶材制作好之后，往往要按照要求对所述靶材表面进行激光刻字工艺。

现有技术中，需要人工判定所述靶材刻字的位置及距离后，将所述靶材需刻字的面朝向激光头，当需要对所述靶材表面刻字时，也需要人工确认位置然后调整与激光头的距离，会造成误差；并且，当进一步需要对所述靶材的侧面进行刻字时，需要将安装好的靶材从夹具上取下进行从新固定，过程中的所述靶材容易受到划伤或造成报废，刻字效率也非常低。

因此，急需提供一种靶材刻字工装夹具，可以通过对所述靶材一次装夹后，可自动旋转以配合激光头对所述靶材刻字。

发明内容

本发明解决的问题是对靶材进行激光刻字过程中，为了在靶材不同角度上刻字，要对靶材进行多次拆卸和反复固定，所述靶材容易产生异常或报废，同时刻字效率非常低。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材刻字工装夹具，包括至少一个夹紧装置及旋转机构；其中，所述旋转机构固定安装于所述工装台侧面，所述夹紧装置固定设置在所述工装台侧面。

可选的，所述工装台表面呈圆形。

可选的，当所述夹紧装置为两个时，相对设置在所述工装台直径方向上两侧。

可选的，还包括限位柱，所述限位柱设置在所述工装台边缘。

可选的，所述工装台厚度方向上具有至少一个通孔。

可选的，所述旋转机构包括电机马达。

可选的，所述夹紧装置包括压紧夹具与气缸，所述压紧夹具固定在所述气缸上。

可选的，还包括：连接耳，固定连接于所述工装台侧面，所述夹紧装置设置在所述连接耳上。

可选的，所述气缸穿过所述连接耳与所述压紧夹具螺接。

可选的，所述压紧夹具为L形，具有压紧面，所述压紧面上设有保护层。

可选的，所述保护层为硅胶或纺布。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

通过所述旋转机构连接在工装台侧面，使所述旋转机构与所述夹紧装置的配合，带动所述工装台旋转，以配合激光头的朝向来进行刻字工作，当将所述靶材安装在所述工装台上之后，无需人工调节，所述工装夹具会通过软件控制所述靶材的刻字角度，既快速又准确，很大程度上提高了靶材加工中，刻字的效率；同时，减小拆卸次数，降低靶材的异常或报废的风险。

附图说明

图1是本实施例提供的工装台的平面示意图；

图2是图1中沿A-A方向的剖视图；

图3是本实施例提供的工装夹具安装靶材后垂直状态的示意图。

具体实施方式

现有技术中，对靶材刻字时，都是采用人工安装和拆卸靶材来调整所述靶材，以便激光头对所述靶材进行刻字。

经发明人分析研究，人工安装和拆卸所述靶材的过程中难以避免的会对所述靶材造成一定损伤甚至是导致所述靶材报废；并且装卸过程复杂，消耗时间，造成刻字工艺的效率低下。

经发明人分析研究，通过一种工装夹具使用夹紧装置将靶材固定在一个工装台上，然后利用旋转机构带动所述工装台的旋转，从而带动所述靶材进行旋转，可以使得所述靶材的表面以或侧面对准所述激光头，从而完成激光刻字工艺，所述工装夹具只需将所述靶材一次固定上，无需再次拆卸就可实现对其的正面反面以及侧面进行刻字，极大的提高了刻字工艺的效率，并且避免了所述靶材的划伤或报废。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图1是本实施例提供的工装台的平面示意图，图2是图1中沿A-A方向的剖视图。

参考图1，本发明提供一种靶材刻字工装夹具，包括工装台10，至少一个夹紧装置20及旋转机构(未图示)；其中，所述旋转机构固定安装于所述工装台10侧面，所述夹紧装置20固定设置在所述工装台侧面。

本实施例中，所述工装台10表面为圆形，具有相平行的表面、背面以及侧面，所述工装台10表面为圆形使得更好的与待安装的靶材的形状相配合，以增大所述工装台10材料的利用率。

本实施例中，所述工装台10厚度方向上具有至少一个通孔12。由于所述工装台10的主要作用是承载靶材，作为载体与所述靶材一起转动，所以所述工装台10的质量越小，越是有利于所述工装台10与所述靶材灵活的转动；并且，所述靶材放置在所述工装台10上时，所述靶材的表面与所述工装台10的表面相贴合，减少相贴合时的面积就会减少所述靶材表面被划伤的可能性；进一步，当需要给所述靶材背面刻字时，能够保障所述靶材的背面能够暴露出来，便于在所述靶材的背面刻字。

本实施例中，所述通孔12的数量为5个，具体的，每个通孔的形状为矩形，其中自圆心部位的所述通孔12尺寸较大，四边各围绕一个所述通孔12，使得所述工装台10成为一个圆形的支架台。

在其他实施例中，所述通孔12的数量为1个，形状为圆形，尺寸小于所述靶材的尺寸。需要说明的是，所述通孔12的形状与大小设计的目的是为了减小所述工装台10的质量，并且使所述靶材的背面减少遮挡面积，以便在所述靶材背面刻字；所述通孔位置和具体的尺寸可根据所述靶材的大小及形状设计。

本实施例中，所述工装台10边缘还设有限位柱13，所述限位柱13的数量至少是三个，目的是，避免所述靶材放置在所述工装台10表面后，由于所述工装台10的旋转，所述靶材会因没有支撑而掉离所述工装台10。

本实施例中，所述限位柱13的数量为三个，设置在所述工装台10的边缘，起到阻拦所述靶材掉落的作用。

在其他实施例中，所述限位柱13的数量为四个。

本实施例中，还包括夹紧装置20，具体的，所述夹具装置20包括压紧夹具21与气缸22，所述气缸22是将热能转化为机械能的圆筒形金属机件，从而控制活塞在缸内进行直线往复运动。当将所述靶材需放置在所述工装台10上时，所述气缸22控制所述压紧夹具21伸出，将所述靶材放置在所述工装台10之后，所述气缸22控制所述压紧夹具21缩回，所述压紧夹具21将卡住所述靶材，使得所述靶材被压紧在所述工装台10上。

本实施例中，所述工装夹具还包括连接耳11，所述连接耳11固定连接在所述工装台10的侧面；所述连接耳11的形状为矩形，厚度与所述工装台10的厚度相同，对称设置在所述工装台10的两边，所述连接耳11是为了将需要与所述工装台10连接的器件更好的连接在所述工装台10上，例如，将所述夹紧装置20通过所述连接耳11固定在所述工装台10上。

需要说明的是，所述连接耳11的个数不限定为对称设置的两个，在其他实施例中，所述连接耳11的个数为1个，将一个所述夹紧装置20固定在所述连接耳11上，保障所述夹紧装置20能够将所述靶材压紧在所述工装台10上。

在其他实施例中，所述连接耳11与所述工装台10一体成型。

所述气缸22穿过所述连接耳11，并且所述气缸22的顶部与所述压紧夹具21螺接，这样设置有利于所述气缸22控制所述压紧夹具21沿直线往复运动以控制所述压紧夹具21对厚度不同的靶材都可以压紧在所述工装台10上。

本实施例中，所述夹紧装置20设置在所述连接耳11上。当所述连接耳11对称设置时，所述夹紧装置20也对称的设置在所述工装台10的两端，更有利于平稳有利的将靶材压紧在所述工装台10上。

在其他实施例中，具有一个所述夹紧装置20，固定在所述工装台10的一个侧面上。

在其他实施例中，具有3个所述夹紧装置20，能够将靶材更稳固的固定在所述工装台10上。

本实施例中，所述压紧夹具21为L形，具有压紧面，所述压紧面也就是在压紧靶材时，与所述靶材接触的面，为防止所述压紧夹具21将所述靶材划伤或造成破坏，所述压紧面上设有保护层(未图示)。

所述保护层为纺布或者硅胶垫，通过胶水粘贴在所述压紧面的底部。

本实施例中，所述旋转机构是一种可以旋转的装置，将所述旋转机构与所述工装台10连接，通过所述旋转机构的带动所述工作台10旋转，以使得固定在所述工作台10表面的靶材可以旋转。

本实施例中，所述旋转机构包括电机马达，电机马达是一种将电能转化成机械能，并使用机械能驱动其他设备转动的电气设备。

图3为本实施例提供的工装夹具带动靶材垂直状态时的正面示意图。

参考图3，所述旋转机构还包括支架30，所述支架30用以支撑所述工装台10，所述支架30的高度大于所述工装台10的半径，以保障所述工装台10可以沿对称设置的所述连接耳11所在的直径方向自由旋转。

本发明所提供的所述工装夹具，是一种自动化设备，即通过引入所述旋转机构，使所述旋转机构与所述夹紧装置20的配合，带动所述靶材旋转，以配合激光刻字机的激光头进行刻字工作，将所述靶材安装在所述工装台10上之后，需要对靶材的表面进行刻字时，所述工装夹具调整旋转角度，使得靶材的表面对准激光头，配合其刻字；当需要对靶材的侧面进行刻字时，所述工装夹具使得所述工装台10顺时针旋转90度，将靶材的侧面对准激光头，配合其刻字；所述工装夹具会通过控制所述靶材的刻字角度，既快速又准确，很大程度上提高了靶材加工中，刻字的效率；同时，减小拆卸次数，降低靶材的异常或报废的风险。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (7)

1.一种靶材刻字工装夹具，其特征在于，包括：

工装台，限位柱，至少一个夹紧装置及旋转机构；

其中，所述旋转机构固定安装于所述工装台侧面，所述工装台表面呈圆形；

所述夹紧装置固定设置在所述工装台侧面，当所述夹紧装置为两个时，相对设置在所述工装台直径方向上两侧；

所述限位柱设置在所述工装台边缘；

所述工装台厚度方向上具有至少一个通孔。

2.如权利要求1所述靶材刻字工装夹具，其特征在于，所述旋转机构包括电机马达。

3.如权利要求1所述靶材刻字工装夹具，其特征在于，所述夹紧装置包括压紧夹具与气缸，所述压紧夹具固定在所述气缸上。

4.如权利要求3所述靶材刻字工装夹具，其特征在于，还包括：连接耳，固定连接于所述工装台侧面，所述夹紧装置设置在所述连接耳上。

5.如权利要求4所述靶材刻字工装夹具，其特征在于，所述气缸穿过所述连接耳与所述压紧夹具螺接。

6.如权利要求5所述靶材刻字工装夹具，其特征在于，所述压紧夹具为L形，具有压紧面，所述压紧面上设有保护层。

7.如权利要求6所述靶材刻字工装夹具，其特征在于，所述保护层为硅胶或纺布。