CN209587019U - 一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，包括横向可移动配重块、纵向可移动配重块、底座、导向螺丝、气浮组件、气阀集成座；所述气浮组件嵌入到所述底座，横向可移动配重块和纵向可移动配重块通过导向螺丝导向移动、锁紧；气阀集成座分别接入各个气浮组件。在精密光学测量设备领域采用调设备重心位置，使各气浮受力均匀，使设备浮起时就达到水平状态；进气速度快、平稳、不震荡；设计双通道供气，解决了在有或无气源的情况下均可正常使用设备；可根据设备情况，把这种嵌入式隔震系统嵌入设备中，降低成本，使设备小型简单化，让设备更具整体感；从而做到隔震更简单，方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及精密光学测量领域，尤其涉及一种隔震系统。
背景技术
隔震系统普遍用于精密测量、光学等领域；目前应用在精密光学测量领域的隔震系统主要是气浮式隔震平台。
现有技术方案：
提供持续供气的气源，通过手动调节每个气缸进气气压，借助水平仪，调到隔震台水平；
采用复杂的电子传感器和结构自动调节隔震台水平；
隔震平台已标准化，体积较大、与设备融合度不高；
现有技术方案的缺点：
1、实践中发现，隔震平台浮起过程中，由于被承重物体重心与气浮隔震平台支撑中心点不重合，导致隔震平台处于倾斜状态，这时需要进气调节阀、借助水平仪调平隔震平台；
2、由于目前大多隔震平台气浮部分都有阻尼作用，导致气浮充气速度不均匀，容易造成隔震平台震荡；
3、需要提供持续供气气源，在没有气源的环境下，不能正常工作使用；
4、隔震平台自动调平功能结构复杂，成本高，需加控制系统；
5、目前应用的隔震平台都偏向标准化，体积大、笨重，很难嵌入到设备上，融合度不高。
实用新型目的：
1、简化水平调节方式，调节重心位置与被承重物体重心重合，使各个气浮受力均匀；
2、简化气浮隔震，使气浮进气速度均匀快速，预防隔震平台震荡；
3、在无持续供气气源装置情况下正常使用；
4、无需复杂的高度调平结构，只需调整重心位置，气浮受力一致，浮起高度一致；
5、器件简单，非常容易与需要隔震的精密设备融合一体，使设备整体化，小型化、简单化。
实用新型内容
本实用新型主要是解决以下几个问题：
可根据设备重心情况调整，使隔震、承重效果更佳；
解决目前在没有气源情况下，隔震系统仍然可以长时间使用；
结构简单、操作简单、成本很低。
为了解决上述技术中问题，本实用新型提供了一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，包括横向可移动配重块、纵向可移动配重块、底座、导向螺丝、气浮组件、气阀集成座；所述气浮组件嵌入到所述底座，横向可移动配重块和纵向可移动配重块通过导向螺丝导向移动、锁紧；气阀集成座分别接入各个气浮组件。
作为本实用新型的进一步改进，所述包括横向可移动配重块为两个，所述两个横向可移动配重块设置在所述纵向可移动配重块的左右两边。
作为本实用新型的进一步改进，所述气浮组件嵌入到所述底座时，通过螺丝锁紧，采用平面嵌入方式，或者采用挖槽嵌入方式。
作为本实用新型的进一步改进，所述的气浮组件包括气浮螺丝、气浮底座、第一气浮垫、连接螺丝、连接弹垫、连接平垫、第二气浮垫、气浮帽、气浮帽弹垫、气浮帽螺丝；所述第一气浮垫设有气嘴；连接螺丝、连接弹垫、连接平垫与第二气浮垫连接锁紧，气浮底座、第一气浮垫通过气浮螺丝连接锁紧，气浮帽通过气浮帽弹垫、气浮帽螺丝与气浮底座连接锁紧；所述第一气浮垫通过气嘴充气后，第一气浮垫膨胀，带动第二气浮垫一起上移，由气浮帽限制住第一气浮垫和第二气浮垫上移的空间，形成两个气浮垫气压过高机械限位结构。
作为本实用新型的进一步改进，所述气阀集成座包括单向阀气嘴、气路接头零件、气管接头、气管、气阀开关；直径大小一致的气管接到各气浮组件内；气阀集成座有两个进气口：一个进气口接单向阀气嘴，另一个进气口接气阀开关，单向阀气嘴用打气筒直接充气，气阀开关与接气源的进气口连接。
本实用新型的有益效果是：
与目前精密光学测量设备的隔震领域所属最好的技术相比：
在精密光学测量设备领域采用调设备重心位置，使各气浮受力均匀，使设备浮起时就达到水平状态；
进气速度快、平稳、不震荡；
设计双通道供气，解决了在有或无气源的情况下均可正常使用设备；
可根据设备情况，把这种嵌入式隔震系统嵌入设备中，降低成本，使设备小型简单化，让设备更具整体感；从而做到隔震更简单，方便。
采用本设计同样可用于一些工业检测仪器，比如说影像显微测量、超精密加工检测设备、纳米加工检测领域等。
附图说明
图1是本实用新型一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统的立体结构示意图；
图2是本实用新型一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统的另一角度立体图；
图3是本实用新型一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统平面嵌入方式示意图；
图4是本实用新型一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统挖槽嵌入方式示意图；
图5是本实用新型一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统分解结构示意图；
图6是本实用新型一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统剖面结构示意图；
图7是气阀集成座结构示意图。
横向可移动配重块1、纵向可移动配重块2、底座3、导向螺丝4、气浮组件5、气浮螺丝6、气浮底座7、第一气浮垫8、连接螺丝9、连接弹垫10、连接平垫11、第二气浮垫12、气浮帽13、气浮帽弹垫14、气浮帽螺丝15、单向阀气嘴16、气路接头零件17、气管接头18、气管19、气阀开关20、气阀集成座200、气嘴801。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
本实用新型的目的是，为解决目前需要隔震的精密光学测量仪器调节水平、震荡，需要持续供气、高成本、难嵌入仪器设备中等问题，实用新型提供了一种可调重心位置、有或无气源、可嵌入的隔震系统，其特点是随时调节仪器重心位置，气浮进气均匀快速，有或无气源都可正常使用；同时易于设计嵌入精密仪器内，结构简单，使仪器整体化，小型化，大幅降低成本。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
见图1至图4，一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，主要由横向可移动配重块1、纵向可移动配重块2、底座3、导向螺丝4、气浮组件5、气阀集成座200组成，(见图7)；
见图5，所述的气浮组件5包括气浮螺丝6、气浮底座7、第一气浮垫8、连接螺丝9、连接弹垫10、连接平垫11、第二气浮垫12、气浮帽13、气浮帽弹垫14、气浮帽螺丝15；所述第一气浮垫8设有气嘴801；所述第一气浮垫8优选采用工业气浮垫；
如图3和图4所示，所述气浮组件5嵌入到所述底座3，并通过螺丝锁紧，可以图3的采用平面嵌入方式，也可以采用图4的挖槽嵌入的方式。横向可移动配重块1和纵向可移动配重块2通过导向螺丝4导向移动、锁紧；气阀集成座200分别接入各个气浮组件5的气嘴801，第一气浮垫8通过气嘴801充气后，第一气浮垫8膨胀，带动第二气浮垫12一起上移，由气浮帽13限制住第一气浮垫8和第二气浮垫12上移的空间，形成两个气浮垫气压过高机械限位结构；
通过横向可移动配重块1、纵向可移动配重块2移动位置，达到调仪器重心效果，通过导向螺丝4将横向可移动配重块1和纵向可移动配重块2分别锁到底座底面，用手都可轻松推动横向可移动配重块1和纵向可移动配重块2；移到合适位置后，锁紧导向螺丝4即可。
所述的气浮组件5(见图5和图6)，先用连接螺丝9、连接弹垫10、连接平垫11与第二气浮垫12连接锁紧，再气浮底座7、第一气浮垫8通过气浮螺丝6连接锁紧，最后把气浮帽13通过气浮帽弹垫14、气浮帽螺丝15与气浮底座7连接锁紧。
所述的气阀集成座200包括单向阀气嘴16、气路接头零件17、气管接头18、气管19、气阀开关20；直径大小一致的气管19接到各气浮组件5内；气阀集成座200有两个进气口：一个进气口接单向阀气嘴16，另一个进气口接气阀开关20，单向阀气嘴16用打气筒可直接充气，气阀开关20与接气源的进气口连接；这样就可使设备在有气源和没有气源的情况下均可正常工作。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，其特征在于：包括横向可移动配重块（1）、纵向可移动配重块（2）、底座（3）、导向螺丝（4）、气浮组件（5）、气阀集成座（200）；所述气浮组件（5）嵌入到所述底座（3），横向可移动配重块（1）和纵向可移动配重块（2）通过导向螺丝（4）导向移动、锁紧；气阀集成座（200）分别接入各个气浮组件（5）。
2.根据权利要求1所述的一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，其特征在于：所述包括横向可移动配重块（1）为两个，所述两个横向可移动配重块（1）设置在所述纵向可移动配重块（2）的左右两边。
3.根据权利要求1所述的一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，其特征在于：所述气浮组件（5）嵌入到所述底座（3）时，通过螺丝锁紧，采用平面嵌入方式，或者采用挖槽嵌入方式。
4.根据权利要求1所述的一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，其特征在于：所述的气浮组件（5）包括气浮螺丝（6）、气浮底座（7）、第一气浮垫（8）、连接螺丝（9）、连接弹垫（10）、连接平垫（11）、第二气浮垫（12）、气浮帽（13）、气浮帽弹垫（14）、气浮帽螺丝（15）；所述第一气浮垫（8）设有气嘴（801）；连接螺丝（9）、连接弹垫（10）、连接平垫（11）与第二气浮垫（12）连接锁紧，气浮底座（7）、第一气浮垫（8）通过气浮螺丝（6）连接锁紧，气浮帽（13）通过气浮帽弹垫（14）、气浮帽螺丝（15）与气浮底座（7）连接锁紧；所述第一气浮垫（8）通过气嘴（801）充气后，第一气浮垫（8）膨胀，带动第二气浮垫（12）一起上移，由气浮帽（13）限制住第一气浮垫（8）和第二气浮垫（12）上移的空间，形成两个气浮垫气压过高机械限位结构。
5.根据权利要求1所述的一种嵌入式可调重心位置的双通道充气隔震系统，其特征在于：所述气阀集成座（200）包括单向阀气嘴（16）、气路接头零件（17）、气管接头（18）、气管（19）、气阀开关（20）；直径大小一致的气管（19）接到各气浮组件（5）内；气阀集成座（200）有两个进气口：一个进气口接单向阀气嘴（16），另一个进气口接气阀开关（20），单向阀气嘴（16）用打气筒直接充气，气阀开关（20）与接气源的进气口连接。
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| CN113884004A (zh) * | 2021-09-08 | 2022-01-04 | 长江存储科技有限责任公司 | 特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜 |
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- 2019-01-17 CN CN201920078332.XU patent/CN209587019U/zh active Active
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| CN113884004B (zh) * | 2021-09-08 | 2024-06-07 | 长江存储科技有限责任公司 | 特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜 |
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